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热词
    • 37. 发明公开
    • 노광 장치 및 물품 제조 방법
    • 曝光装置和制造物品的方法
    • KR20180030431A
    • 2018-03-23
    • KR20170113618
    • 2017-09-06
    • CANON KK
    • SATO TAKANORI
    • G03F7/20
    • G03F7/70775G01B11/26G03F7/70258G03F7/70383G03F7/70725G03F7/7085
    • 본발명은마스크와기판을주사하면서기판을노광함으로써마스크의패턴을기판에전사하는노광장치를제공하며, 상기노광장치는기판을보유지지하여이동하도록구성되는스테이지와, 상기스테이지의이동을제어하도록구성되는제어유닛과, 상기스테이지에보유지지된상기기판의샷 영역이상기샷 영역에대한노광이행하여지는노광영역에도달하기전에상기샷 영역의높이방향의위치를계측하도록구성되는제1 계측유닛과, 상기제1 계측유닛에앞서상기샷 영역의높이방향의위치를계측하도록구성되는제2 계측유닛을포함한다.
    • 本发明提供一种曝光装置,其通过在扫描掩模和基板的同时对基板进行曝光而将掩模的图案转印到基板上,该装置包括被构造成保持基板并移动的台,控制单元, 第一测量单元,被配置为测量在由拍摄区域到达暴露曝光区域的曝光区域之前由基板保持的基板的曝光区域在高度方向上的位置;以及第二测量单元,被配置为 以在第一测量单元之前测量高度方向上的拍摄区域的位置。
    • 39. 发明公开
    • 분리 장치
    • 分离装置
    • KR20180008739A
    • 2018-01-24
    • KR20177036377
    • 2016-05-27
    • CANON KK
    • TORIKATA KOTARONAGATA TEPPEI
    • G03G15/08G03G15/10G03G15/16
    • G03G15/104G03G9/12G03G15/0815G03G15/10G03G15/1605
    • 분리장치는전극롤러, 전극부재, 액체현상제공급부, 캐리어액 회수부, 회수롤러및 블레이드부재를포함한다. 중력방향에관하여전극롤러의최상부및 중심을통과하는선이 0°일때, 전극롤러와전극부재사이의간극의상류단부가전극롤러회전방향에관하여 0° 이상 180° 미만의범위에위치설정된다. 중력방향에관하여회수롤러의최상부및 중심을통과하는선이 0°일때, 블레이드부재의회수롤러와의접촉위치는회수롤러회전방향에관하여회수롤러와전극롤러사이의접촉위치의상류측의 35°이상의범위에있다.
    • 分离装置包括电极辊,电极部件,液体显影提供部分,载液回收部分,收集辊和叶片部件。 通过电极辊0°时的顶部和中心通过相对于重力的方向上的线,被定位在低于0°超过180°的范围内相对于所述电极辊和电极构件之间的上游端部电极辊转动的间隙方向。 通过顶部和多个辊子的中心0°传递相对于重力的方向,当叶片bujaeui回收辊回收辊之间超过35°范围上的电极辊之间的接触位置的上游侧的接触位置相对于滚筒的旋转方向的数量的线 它是。
    • 40. 发明公开
    • 임프린트 장치 및 물품 제조 방법
    • 印制设备和制造制品的方法
    • KR20180007313A
    • 2018-01-22
    • KR20170084715
    • 2017-07-04
    • CANON KK
    • SAKAI KATSUTOSHIHATTORI TADASHI
    • G03F7/00G03F7/20
    • G03F7/0002B29C33/424B29C43/58B29C59/02B29L2007/002H01L21/027
    • 본발명은몰드를사용하여기판상에임프린트재의패턴을형성하는임프린트장치를제공하며, 상기장치는몰드를보유지지하도록구성되는몰드보유지지유닛과, 기판을보유지지하도록구성되는기판보유지지유닛과, 촬상유닛의시야가몰드보유지지유닛에보유지지된몰드의패턴영역을포함하도록구성되는촬상유닛과, 기판상의경화된임프린트재로부터몰드를분리하기위한이형동작후에촬상유닛에의해몰드및 기판중 적어도하나를촬상하여취득한화상에기초하여, 이형동작에이상이발생하고있는지의여부를판정하도록구성되는제어유닛을포함한다.
    • 本发明提供一种压印装置,其通过使用模具在基板上形成压印材料的图案,该装置包括:模具保持单元,被构造为保持模具;基板保持单元,被构造为保持基板;图像捕获单元 所述图像捕获单元的视场包括由所述模制单元保持的所述模具的图案区域,以及控制单元,所述控制单元被配置为基于通过以下方式确定: 在模具分离操作之后的图像捕获单元用于将模具与基板上的固化压印材料分离,以确定在模具分离操作中是否产生异常。