专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR20180007313A 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 审中-公开
标题翻译：印制设备和制造制品的方法
公开(公告)号：KR20180007313A
公开(公告)日：2018-01-22
申请号：KR20170084715
申请日：2017-07-04
申请人： CANON KK
发明人： SAKAI KATSUTOSHI , HATTORI TADASHI
IPC分类号： G03F7/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/0002 , B29C33/424 , B29C43/58 , B29C59/02 , B29L2007/002 , H01L21/027
摘要： 본발명은몰드를사용하여기판상에임프린트재의패턴을형성하는임프린트장치를제공하며, 상기장치는몰드를보유지지하도록구성되는몰드보유지지유닛과, 기판을보유지지하도록구성되는기판보유지지유닛과, 촬상유닛의시야가몰드보유지지유닛에보유지지된몰드의패턴영역을포함하도록구성되는촬상유닛과, 기판상의경화된임프린트재로부터몰드를분리하기위한이형동작후에촬상유닛에의해몰드및 기판중 적어도하나를촬상하여취득한화상에기초하여, 이형동작에이상이발생하고있는지의여부를판정하도록구성되는제어유닛을포함한다.
摘要翻译：本发明提供一种压印装置，其通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，该装置包括：模具保持单元，被构造为保持模具;基板保持单元，被构造为保持基板;图像捕获单元所述图像捕获单元的视场包括由所述模制单元保持的所述模具的图案区域，以及控制单元，所述控制单元被配置为基于通过以下方式确定：在模具分离操作之后的图像捕获单元用于将模具与基板上的固化压印材料分离，以确定在模具分离操作中是否产生异常。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式