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31. 发明授权

KR100996895B1 복수의 대면적 패널에 대한 균일한 ＵＶ 조사가 가능한 ＵＶ 조사 장치 및 이를 이용한 ＵＶ 조사 방법 有权
标题翻译：放射性超紫外线的装置可以在大尺寸面板上放大超紫外线，以及使用该方法辐射超紫外线的方法
公开(公告)号：KR100996895B1
公开(公告)日：2010-11-26
申请号：KR1020100030459
申请日：2010-04-02
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 전정우 , 조일희 , 류용덕
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： G02F1/1303 , B65G49/061 , B65G49/068
摘要： PURPOSE: An apparatus of radiating an ultra violet ray onto a plurality of large-sized panel, and a method of radiating an ultra violet ray by using the same are provided to efficiently prevent the concentration of stress resulting from a certain portion of a large-sized panel by moving the panel through a shuttle with the panel. CONSTITUTION: Plural UV(Ultra Violet) radiating modules include plural UV lamps therein, and a large-sized panel(300) is mounted at the upper plane of a shuttle(200). A shuttle lifting unit transfers the shuttle in a vertical direction, and an end portion transfer unit(160) puts the end portion of the shuttle into the UV radiating modules. A reciprocating transfer unit(140) puts the shuttle into the inside of the UV irradiating module, and reciprocates the shuttle in the UV irradiating module.
摘要翻译：目的：提供将紫外线照射到多个大尺寸面板上的装置，以及通过使用紫外线照射紫外线的方法，以有效地防止由大尺寸面板的某一部分产生的应力集中，通过面板上的梭子移动面板。构成：多个UV（紫外线）辐射模块包括多个UV灯，并且大尺寸面板（300）安装在梭子（200）的上平面上。梭子提升单元沿垂直方向传送梭子，并且端部传送单元（160）将梭子的端部放入UV辐射模块中。往复式传送单元（140）将梭子放入UV照射模块的内部，并使梭子在UV照射模块中往复移动。

32. 发明公开

KR1020090124008A 롱 아크 유브이 램프를 이용한 노광 및 경화 장치 有权
标题翻译：使用长弧紫外线灯的曝光装置
公开(公告)号：KR1020090124008A
公开(公告)日：2009-12-03
申请号：KR1020080049990
申请日：2008-05-29
申请人： 유니램 주식회사 , 디아이티 주식회사
发明人： 하영덕 , 윤영일 , 황지성
IPC分类号： H01J9/227 , H01J9/20 , G03F7/20 , H01J11/44
摘要： PURPOSE: An exposure apparatus using long arc UV lamp is provided to increase the uniformity of illuminance and minimize failure rate by arranging at least more than two UV lamps longitudinal direction in series. CONSTITUTION: In a device, at least more one long arc UV lamp(16) is provided. The long arc UV lamp is installed in lamp housing(12), and a conveying axis(10) transfers the lamp housing to left / right. A reflector(14) and filter(18) are installed at the lamp housing. The fixture(22) is installed in the lower of the lamp housing and a flat panel display is placed on a fixture. The lamp housing is installed to keep a central part inclined by a constant angle.
摘要翻译：目的：提供使用长弧紫外灯的曝光装置，以通过至少布置两个以上UV灯纵向方向串联来增加照度的均匀性并最小化故障率。构成：在一个装置中，提供至少一个长弧紫外灯（16）。长弧UV灯安装在灯壳体（12）中，输送轴（10）将灯壳体向左/右转移。反射器（14）和过滤器（18）安装在灯壳体处。灯具（22）安装在灯壳的下部，平板显示器放置在灯具上。安装灯壳以保持中心部分倾斜一定角度。

33. 发明授权

KR100759426B1 평판 디스플레이 얼룩 검출 장치 失效
标题翻译：用于检测平板显示器的毛皮的装置
公开(公告)号：KR100759426B1
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：KR1020060051317
申请日：2006-06-08
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 박종철
IPC分类号： G01N21/896 , G01N21/88
摘要： An apparatus for detecting spots on an FPD(Flat Panel Display) is provided to effectively and regularly detect the spots on the FPD by testing the FPD without adjusting the illumination property and an angle of the FPD. An apparatus for detecting spots on an FPD includes an illumination optical system(100), an image forming optical system(200), and a high sensitivity camera(300). The illumination optical system comprises a light source, a light pipe, and a lens system where various lenses are mixed to treat uniform light with the high light after uniformizing the emitted light to irradiate light to a detecting surface of the FPD. The image forming optical system forms an image by receiving the light with linearity among the light irradiated to the detecting surface of the FPD through the illumination optical system. The high sensitivity camera obtains the image of the detecting surface of the FPD treated through the image forming optical system as a high performance camera which is able to distinguish minute brightness data.
摘要翻译：提供了一种用于检测FPD（平板显示器）上的斑点的装置，用于通过在不调节FPD的照明特性和角度的情况下测试FPD来有效且定期地检测FPD上的斑点。用于检测FPD上的斑点的装置包括照明光学系统（100），成像光学系统（200）和高灵敏度相机（300）。照明光学系统包括光源，光管和透镜系统，其中混合各种透镜以在均匀化发射的光以将光照射到FPD的检测表面之后，利用高光对待均匀的光。图像形成光学系统通过照射光学系统在照射到FPD的检测表面的光中接收线性的线性来形成图像。高灵敏度相机获得通过图像形成光学系统处理的FPD的检测表面的图像作为能够区分亮度数据的高性能相机。

34. 发明授权

KR101801727B1 기판 검사 장치 有权
公开(公告)号：KR101801727B1
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：KR1020160148324
申请日：2016-11-08
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 전영준 , 류용덕
IPC分类号： G02F1/13 , B65G49/06 , B65D85/48 , H04N5/225 , G06T1/00
摘要： 본발명은기판을검사하는장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른기판검사장치는내부공간을가지는챔버와상기내부공간에위치하며, 외부로부터반입된상기기판을지지하는지지유닛과갠트리와상기갠트리에결합되며수평방향으로이동가능하고, 상기지지유닛에지지된상기기판의표면을촬상하는촬상부및 상기촬상부에서촬상된이미지를기초로상기기판의표면을검사하는검사부를포함하는검사유닛과그리고상기기판의표면을검사시 상기검사유닛을상하방향또는수평방향으로이동시키는이송유닛을포함한다.

35. 发明授权

KR101801550B1 유리 적층체의 홀 가공방법 및 가공장치 有权
公开(公告)号：KR101801550B1
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：KR1020160049380
申请日：2016-04-22
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 김기훈 , 조범철 , 정현우 , 최성진
IPC分类号： B32B38/04 , B32B3/26 , B32B17/06 , B32B38/00
摘要： 유리적층체의홀 가공방법및 가공장치를제공한다. 본발명은상부유리기판과하부유리기판이적층된유리적층체를준비하는단계 ; 상기상부유리기판에대하여승하강되는제1연마휠의회전력에의해서상기상부유리기판에일정깊이의제1홈을형성하는단계 ; 상기제1홈에대하여승하강되는제2연마휠의회전력에의해서상기제1홈의바닥면으로부터일정깊이연장되어상기상부유리기판과하부유리기판사이의경계영역에인접하는제2홈을형성하는단계 ; 상기하부유리기판이외부노출되는장착홀을형성하도록상기제2홈내에잔류하는상부유리기판의코어체를분리제거하는단계 ; 를포함한다.

36. 发明公开

KR1020170104712A 스프레이 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：喷雾系统和方法
公开(公告)号：KR1020170104712A
公开(公告)日：2017-09-18
申请号：KR1020160027213
申请日：2016-03-07
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 주일양
IPC分类号： B05B12/12 , B05B12/08 , B05B13/04 , B05B3/02 , B05D1/02 , B25J11/00 , A43D95/14
摘要： 본기재의스프레이시스템은스프레이에사용될수 있는기준선이형성된대상물을스캔하여상기대상물의스캔데이터를획득하는스캐너, 상기대상물의도면데이터가저장된저장부, 상기스캔데이터와상기도면데이터를비교하여상기도면데이터의기준선으로상기스캔데이터의끊긴기준선을보간하는처리부및 상기스캔데이터의기준선을따라스프레이작업을수행하는스프레이로봇을포함한다.
摘要翻译：本发明的喷雾系统包括：扫描仪，其扫描其上可形成用于喷射的参考线的对象并获取对象的扫描数据;存储单元，其存储对象的绘制数据; 处理单元，用于利用参考数据线来插入扫描数据的虚线参考线;喷射机器人，用于沿着扫描数据的参考线进行喷射操作。

37. 发明授权

KR101577767B1 인라인 무빙 스테이지 장치 有权
标题翻译：在线移动装置
公开(公告)号：KR101577767B1
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：KR1020150116688
申请日：2015-08-19
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 류용덕 , 김일남 , 오세훈 , 한지민
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/677
摘要： 본발명은이송대상물의이송방향으로일정간격을두고나란하게배치되는복수개의롤축마다일정간격을두고복수개의이송롤을갖추고, 상기복수개의롤축을일방향으로회전구동시키는동력을제공하는제1구동부를갖추고, 상기복수개의이송롤의상하위치이동이가능하도록상기복수개의롤축을회전가능하게지지하는롤프레임부를상하이동시키는동력을제공하는제2구동부를갖추고, 상기제2구동부를매개로하여상기롤프레임부를지지하는지지프레임부를갖추어상기복수개의이송롤에올려진이송대상물을일방향으로이송하는제1이송부 ; 상기이송대상물의이송방향으로배열되면서서로인접하는이송롤들사이에간섭되지않도록배치되고, 상기이송대상물이올려지는복수개의이송판을갖추고, 상기서로인접하는이송롤과간섭되지않도록배치된복수개의이송판을지지하는판프레임부를갖추고, 상기지지프레임부의하부단이고정설치되는상부면에상기판프레임부의하단에구비된복수개의가이더가활주이동가능하게조립되는복수개의레일을구비하는베이스를갖추고, 상기판프레임부를상기레일을따라왕복활주이동시키는동력을제공하는제3구동부를갖추어상기제1이송부의하강작동시이송롤로부터이격되어이송판에올려진이송대상물을왕복이송하는제2이송부를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种在线移动台装置，包括：第一传送单元，包括多个传送辊，每个传送辊以规则的间隔由传送对象物的传送方向上的规则间隔平行设置的每个辊轴设置，包括第一驱动单元，其提供沿一个方向旋转辊轴的动力，所述第一驱动单元包括第二驱动单元，所述第二驱动单元提供垂直移动支撑要旋转的辊轴以垂直移动转印辊的辊框单元的功率，并且包括支撑框架单元，用于经由第二驱动单元支撑滚动框架单元，以便在一个方向上传送放置在转印辊上的转印目标对象; 以及第二传送单元，其设置在所述转印对象物的传送方向上并且被布置在彼此相邻的所述传送辊之间，以便不被干扰，所述第二传送单元包括其上放置有所述转印目标对象的多个传送板，包括板框架用于支撑设置成不被彼此相邻的转印辊干涉的转印板的单元，包括具有多个轨道的基座，所述基座具有多个轨道，所述多个轨道组装在具有安装和固定的支撑框架单元的下端的上表面中，以可滑动地移动多个引导装置，其设置在所述板框单元的下端，并且包括第三驱动单元，用于提供沿所述轨道滑动地使所述板框单元滑动地往复运动的功率，以使放置在所述板框单元上的所述转印对象物往复运动; 当第一转印单元下降时与转印辊间隔开。

38. 发明公开

KR1020150114079A 비주기 패턴 검사를 위한 설계 데이터의 디지털 영상 변환 시스템 无效
标题翻译：将非定期图案设计数据转换为数字图像数据的系统
公开(公告)号：KR1020150114079A
公开(公告)日：2015-10-12
申请号：KR1020140037769
申请日：2014-03-31
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 안태완
IPC分类号： G06T1/00
CPC分类号： G06T1/00 , G01N21/956 , G06T7/00
摘要： 비주기패턴을갖는설계데이터에의해제작된제품과설계데이터사이의차이를검사하기위해검사용카메라가스캔한제품의영상과비교할수 있도록설계데이터를디지털영상데이터로변환하는비주기패턴검사를위한설계데이터의디지털영상변환시스템이개시된다. 상기비주기패턴검사를위한설계데이터의디지털영상변환시스템은, CAD/CAM 소프트웨어를이용하여제작된비주기패턴을포함하는설계데이터를디지털영상데이터로변환하는시스템으로서, 상기설계데이터를읽어들이는설계데이터로딩모듈; 상기로딩모듈에서읽어들인설계데이터를영상데이터로변환하는데적용되는정보를설정하는설정모듈; 및상기설정모듈에서설정된정보에따라상기로딩모듈에서읽어들인설계데이터를디지털영상데이터로변환하는설계데이터변환모듈을포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于非周期性模式测试的设计数据的数字图像转换系统，其将设计数据转换为数字图像数据，以将其与由测试相机扫描的产品的图像进行比较，以测试由具有非周期性图案的设计数据制造的产品和设计数据。根据本发明，将包括通过使用CAD / CAM软件制造的非周期性图案的设计数据转换为数字图像数据的数字图像转换系统包括：用于读取设计数据的设计数据加载模块; 用于设置用于将从加载模块读取的设计数据转换为图像数据的信息的设置模块; 以及设计数据转换模块，用于根据设置模块中设置的信息将从加载模块读取的设计数据转换为数字图像数据。

39. 发明授权

KR101141071B1 공기 부상 유리기판 이송 장치에 있어 유리 기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러 장치 有权
标题翻译：用于改善玻璃基板边缘平坦度的空心滚子装置
公开(公告)号：KR101141071B1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：KR1020110127713
申请日：2011-12-01
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 전정우 , 김기훈 , 김아론
IPC分类号： G01B11/30 , G01N21/88 , H01L21/66
摘要： PURPOSE: An idle roller device for improving an outer portion shape of a glass substrate of an air flotation glass substrate transferring device is provided to correct both outer portion shapes of a glass substrate within an inspecting focus range of a camera while the both outer portions of the glass substrate are passed through between a plurality of upper and lower rollers respectively mounted on both edges of an upper plate. CONSTITUTION: An idle roller device(100) for improving an outer portion shape of a glass substrate of an air flotation glass substrate transferring device comprises an upper plate(10), a camera(30), and a correcting unit(130). The upper plate moves a glass substrate(G) through lifting up by an air floating force from an inlet side to an outlet side. The camera inspects faults of the glass substrate on the upper plate. Upper and lower rollers are respectively mounted on both edges(12a,12b) of a longitudinal direction of the upper plate. The correcting unit corrects a plate-like shape to be flattened.
摘要翻译：目的：提供一种用于改善空气浮选玻璃基板转印装置的玻璃基板的外部形状的空转辊装置，以在相机的检测对焦范围内校正玻璃基板的外部部分形状，同时，玻璃基板通过分别安装在上板的两个边缘上的多个上下辊之间。构成：用于改善空气浮选玻璃基板传送装置的玻璃基板的外部形状的空转辊装置（100）包括上板（10），照相机（30）和校正单元（130）。上板通过从入口侧到出口侧的空气浮动力提升而移动玻璃基板（G）。相机检查上板玻璃基板的故障。上辊和下辊分别安装在上板的纵向的两个边缘（12a，12b）上。校正单元校正平板状的板状。

40. 发明公开

KR1020110127538A 기판 코팅장치 失效
标题翻译：涂装基材的装置
公开(公告)号：KR1020110127538A
公开(公告)日：2011-11-25
申请号：KR1020100047097
申请日：2010-05-19
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 권혁훈 , 전정우
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/08 , H01L21/302
CPC分类号： H01L21/67248 , B05B1/005 , B05B17/06 , H01L21/67098
摘要： PURPOSE: An apparatus for coating a substrate is provided to prevent coating failure due to irregular temperature by heating a coating layer to maintain the temperature of a coating layer to become higher or the same as the temperature of a substrate after a coating process. CONSTITUTION: A nozzle part(120) includes an ultrasonic nozzle in which a coating solution is sprayed and an air nozzle in which air is sprayed. A coating solution supply part is connected to the ultrasonic nozzle by a coating solution supply line and supplies a coating solution. An air supply part is connected to the air nozzle by an air supply line and supplies the air. A first heating part(150) heats a substrate to maintain the temperature of the substrate to become relatively higher than the inner atmosphere temperature of a chamber. A second heating part(160) heats the coating layer so the temperature of the coating layer becomes higher or the same as the temperature of the substrate.
摘要翻译：目的：提供一种用于涂覆基材的装置，以防止涂层在加热涂层后由于不规则的温度而导致的涂层故障，从而使涂层的温度保持与涂布过程之后的基板的温度更高或相同。构成：喷嘴部分（120）包括其中喷涂有涂布溶液的超声波喷嘴和喷射空气的空气喷嘴。涂布液供给部通过涂布液供给线与超声波喷嘴连接，供给涂布液。空气供给部通过供气管线与空气喷嘴连接，供给空气。第一加热部件（150）加热基板以保持基板的温度变得相对高于室的内部气氛温度。第二加热部（160）加热涂层，使得涂层的温度变得更高或者与基板的温度相同。

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