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1. 发明公开

KR1020200130993A 반도체 표면처리 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR1020200130993A
公开(公告)日：2020-11-23
申请号：KR1020190055641
申请日：2019-05-13
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 김종배 , 최부연 , 신익태
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/67
摘要： 본발명은반도체표면처리시스템및 방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른반도체표면처리시스템은다수의반도체소자를구비한웨이퍼에대해한 라인씩레이저스캔을통해각 반도체소자를표면처리하는시스템으로서, 레이저를출력하는광원부; 웨이퍼로레이저를가이드하는광학계; 및레이저에대한빔 관통면및 빔차단면을가지되, 빔관통면의크기조절을통해웨이퍼에조사되는레이저의빔 단면형상의크기및 모양을조절하는가변마스크;를포함하는것을특징으로한다.

2. 发明公开

KR1020170121373A 유리 적층체의 홀 가공방법 및 가공장치 有权
标题翻译：用于玻璃层压板的孔加工方法和加工设备
公开(公告)号：KR1020170121373A
公开(公告)日：2017-11-02
申请号：KR1020160049380
申请日：2016-04-22
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 김기훈 , 조범철 , 정현우 , 최성진
IPC分类号： B32B38/04 , B32B3/26 , B32B17/06 , B32B38/00
CPC分类号： B32B38/04 , B32B3/266 , B32B17/06 , B32B2038/0064 , B32B2038/047
摘要： 유리적층체의홀 가공방법및 가공장치를제공한다. 본발명은상부유리기판과하부유리기판이적층된유리적층체를준비하는단계 ; 상기상부유리기판에대하여승하강되는제1연마휠의회전력에의해서상기상부유리기판에일정깊이의제1홈을형성하는단계 ; 상기제1홈에대하여승하강되는제2연마휠의회전력에의해서상기제1홈의바닥면으로부터일정깊이연장되어상기상부유리기판과하부유리기판사이의경계영역에인접하는제2홈을형성하는단계 ; 상기하부유리기판이외부노출되는장착홀을형성하도록상기제2홈내에잔류하는상부유리기판의코어체를분리제거하는단계 ; 를포함한다.
摘要翻译：提供了一种用于玻璃层压板的孔加工方法和加工设备。本发明提供一种玻璃层叠体的制造方法，其特征在于，准备层叠了上部玻璃基板和下部玻璃基板的玻璃层叠体，通过相对于上玻璃基板上下移动的第一磨轮的旋转力在上玻璃基板上形成具有预定深度的第一凹槽; 由于第二抛光轮相对于第一凹槽升高和降低的旋转力，与上部玻璃基板和下部玻璃基板之间的边界区域相邻的第二凹槽从第一凹槽的底部表面形成一定深度步骤; 分离并去除留在第二凹槽中的上玻璃基板的芯体以形成下玻璃基板暴露的安装孔; 它包括。

3. 发明授权

KR101744606B1 필름의 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 이형 필름 有权
标题翻译：薄膜缺陷检查装置，缺陷检查方法和脱模薄膜
公开(公告)号：KR101744606B1
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：KR1020127027351
申请日：2011-05-12
申请人： 도레이 카부시키가이샤 , 디아이티 주식회사
发明人： 우에키카츠유키 , 미야하라카즈히사
IPC分类号： G01N21/89 , G01N21/958
CPC分类号： G01N21/8901 , G01N21/8903 , G01N21/896 , G01N2021/8908
摘要： 장척물의필름의결함을검출하는검사장치로서, 상기필름의한쪽면측에상기필름을조명하는조명수단과, 상기조명수단과상기필름사이에설치된제 1 편광판과, 상기필름의다른쪽면측에설치된제 2 편광판과, 상기필름의다른쪽면측에설치되고상기조명수단으로부터조명되어상기제 1 편광판, 상기필름및 상기제 2 편광판을투과해온투과광을수광하는수광수단을갖고, 상기제 1 편광판의각도를상기제 1 편광판의면 내에서, 상기제 2 편광판의각도를상기제 2 편광판의면 내에서각각독자적으로조정하는각도조정수단을갖는것을특징으로하는필름의결함검사장치로한다.
摘要翻译：用于检测长水膜的缺陷的检查装置，用于对所述膜的一个表面侧上，以及设置在所述照明装置和所述膜之间的第一偏振照射薄膜的照明装置，设置在所述膜的另一表面侧被设置在所述第二偏振器，并且该膜的另一面侧，从所述照明装置照射具有光接收装置，用于接收已经通过第一偏振板，所述薄膜和第二偏振板，所述第一偏振片的角度的透射光以及角度调节装置，用于分别在第二偏振片的平面内独立地调节第一偏振片的平面中的第二偏振片的角度。

4. 发明授权

KR101688458B1 깊은 신경망 학습 방법을 이용한 제조품용 영상 검사 장치 및 이를 이용한 제조품용 영상 검사 방법 有权
标题翻译：因此，使用深层神经网络训练法制造的制品图像检查装置和制品的图像检查方法
公开(公告)号：KR101688458B1
公开(公告)日：2016-12-23
申请号：KR1020160051808
申请日：2016-04-27
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 곽동민 , 전정우
IPC分类号： G06N3/08 , G06N99/00 , G06F15/18 , G01N21/88 , H05K1/02
CPC分类号： G06N3/08 , G01N21/88 , G06F15/18 , G06N99/005 , H05K1/0266
摘要： 자동결함분류를위한깊은신경망학습장치및 방법이제공된다. 본발명의실시예에따른자동결함분류를위한깊은신경망학습장치는, 데이터학습을통해결함분류를수행하는결함분류시스템에있어서, 입력된결함후보영상을분산하여학습데이터로저장하는학습데이터저장부; 상기학습데이터를이용하여과적합이발생하지않는양의지능적결함영상을더 생성하는지능적데이터증가부; 및상기학습데이터를이용하여입력된제품의영상을분석하고, 상기제품의분류결과를출력하는인공신경망;을포함하며, 상기지능적데이터증가부는, 상기지능적결함영상을생성하는방법으로, 영상처리변환기술을비 지도학습기반신경망학습에적용하여학습한영상생성과정및 데이터분포방법을이용한다.

5. 发明公开

KR1020160033864A 광배향 노광기의 편광자 및 그 제조방법 无效
标题翻译：用于光学对准的偏振器及其制备方法
公开(公告)号：KR1020160033864A
公开(公告)日：2016-03-29
申请号：KR1020140124462
申请日：2014-09-18
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 조일희 , 김형언
IPC分类号： G02B5/30
CPC分类号： G02B5/3058 , G02B1/08 , G02B5/3083 , G02F1/133528 , G02F1/13363 , G02F2001/133548
摘要： 광배향노광기의편광자및 그제조방법이개시된다. 본발명은복수개의편광소자를얼라인한다음접착제를사용하여프레임에장착함으로써어셈블리와하여세팅시간을절감할수 있는광배향노광기의편광자및 그제조방법에관한것이다. 본발명에의한광배향노광기의편광자제조방법은편광소자를프레임에배치하고얼라인상태를검사하는얼라인검사단계; 상기얼라인검사단계에서틀어진각도에따라상기편광소자의위치를보정하는보정단계; 및상기보정단계에의해정확하게위치된편광소자를프레임에접착하는접착단계;를포함하고, 상기접착단계에서의해접착된편광소자와인접하는새로운편광소자를상기프레임에배치하여접착하는것을반복함으로써복수개의편광소자를상기프레임에일렬로접착한다.
摘要翻译：公开了一种用于光学对准的偏振器及其制造方法，其能够通过使制造工艺作为使多个偏振装置对准的组件，然后通过使用粘合剂将框架安装在装置上来缩短凝固时间。该制造方法包括：对准检查步骤，将偏振装置放置在框架中并检查取向状态; 校正步骤，根据在对准检查步骤中倾斜的角度校正偏振装置的位置; 以及将在校正步骤中精确地放置的偏振装置粘附到框架上的粘合步骤。将多个偏振装置通过重复放置并粘附在粘合步骤附着的偏振装置附近的新的偏振装置，将其附着在框架上。

6. 发明授权

KR101141067B1 기판 코팅장치 失效
标题翻译：用于涂覆基材的设备
公开(公告)号：KR101141067B1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：KR1020100024216
申请日：2010-03-18
申请人： 디아이티 주식회사 , 에코페라 주식회사
发明人： 권혁훈
IPC分类号： B05B15/04 , B05B13/00 , B05B7/02
摘要： 기판 코팅장치를 제공한다.
본 발명은 기판의 표면에 코팅액을 일정두께로 균일하게 코팅하는 코팅장치에 있어서, 상기 기판을 일방향으로 이동시키는 이동부를 구비하고, 상기 이동부가 배치되는 내부공간을 갖는 챔버를 구비하는 본체부; 상기 이동부를 따라 기판이 이동하는 동안 상기 기판의 표면상으로 무화된 코팅액을 분사하도록 코팅액이 분사되는 초음파노즐과 에어가 분사되는 에어노즐을 구비하는 노즐부 ; 상기 초음파노즐과 코팅액공급라인을 매개로 연결되어 코팅액을 공급하는 코팅액공급부 ; 상기 에어노즐과 에어공급라인을 매개로 연결되어 에어를 공급하는 에어공급부 ; 및 상기 기판과 노즐부사이에 상기 기판과 일정간격을 두고 이격되는 차단판을 갖추어 상기 노즐부로부터 무화되어 상기 기판의 진행방향으로 분사되는 분무입자 중 상기 기판의 진행반대방향으로 흐르는 분무입자가 기판의 표면에 낙하되지 않도록 차단하는 미스트 차단부를 포함한다.

7. 发明授权

KR101801549B1 라인 선택장치 및 선택방법과, 이를 이용한 시스템 有权
公开(公告)号：KR101801549B1
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：KR1020160101958
申请日：2016-08-10
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 남상준 , 주일양
IPC分类号： G06T7/00
摘要： 본발명은라인선택장치에관한것으로서, 표면에다수의마크라인을구비한대상물의도면데이터를저장한저장부; 대상물을스캔하여스캔데이터를획득하는스캔부; 도면데이터를변형하여스캔데이터에매칭시키고, 변형된도면데이터의다수마크라인중에특정라인을스캔데이터의다수마크라인과비교하여스캔데이터의다수마크라인중에기준라인을선택하는처리부;를포함하는것을특징으로한다.

8. 发明授权

KR101801546B1 좌표계 매칭 방법 및 시스템, 이에 이용되는 시편, 이를 이용한 스프레이 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101801546B1
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：KR1020150160591
申请日：2015-11-16
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 주일양
IPC分类号： B25J9/16 , B25J19/02 , G01B11/24 , B05B13/04 , B05B13/02 , B05B12/08 , B05D1/02
摘要： 좌표계매칭시스템및 방법, 이에사용되는시편, 이를이용한스프레이시스템및 방법이제공된다. 본발명의예시적인실시예에따른좌표계매칭시스템은작업대상물이이송되는경로상에서이송가능한타겟; 경로의제 1 위치에서타겟을스캔할수 있는스캐너; 경로의제 2 위치에서타겟의좌표를추출할수 있는제 1 로봇; 스캐너에의하여스캔된타겟의스캔좌표와제 1 로봇에의하여추출된타겟의로봇좌표를매칭하는계산부를포함한다.

9. 发明公开

KR1020170057514A 좌표계 매칭 방법 및 시스템, 이에 이용되는 시편, 이를 이용한 스프레이 시스템 및 방법 有权
标题翻译：坐标系匹配方法和系统，为此使用的样本，喷雾系统和使用它的方法
公开(公告)号：KR1020170057514A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：KR1020150160591
申请日：2015-11-16
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 주일양
IPC分类号： B25J9/16 , B25J19/02 , G01B11/24 , B05B13/04 , B05B13/02 , B05B12/08 , B05D1/02
摘要： 좌표계매칭시스템및 방법, 이에사용되는시편, 이를이용한스프레이시스템및 방법이제공된다. 본발명의예시적인실시예에따른좌표계매칭시스템은작업대상물이이송되는경로상에서이송가능한타겟; 경로의제 1 위치에서타겟을스캔할수 있는스캐너; 경로의제 2 위치에서타겟의좌표를추출할수 있는제 1 로봇; 스캐너에의하여스캔된타겟의스캔좌표와제 1 로봇에의하여추출된타겟의로봇좌표를매칭하는계산부를포함한다.
摘要翻译：提供了坐标系匹配系统和方法，其中使用的样本，喷雾系统和使用该系统和方法的方法。根据本发明的示例性实施例的坐标系匹配系统包括能够在输送工件的路径上移动的目标; 扫描器，其能够扫描路径中的第一位置处的目标; 第一机器人，能够在路径的第二位置处提取目标的坐标; 以及计算单元，用于使由扫描仪扫描的目标的扫描坐标与由第一机器人提取的目标的机器人坐标匹配。

10. 发明授权

KR101733434B1 구면수차를 이용한 기판절단방법 有权
标题翻译：使用球面像差切割衬底的方法
公开(公告)号：KR101733434B1
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020150170585
申请日：2015-12-02
申请人： 디아이티 주식회사
发明人： 유승협 , 최세규 , 신익태
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/08 , B23K26/064 , B23K26/06 , B23K103/00
摘要： 본발명은구면수차를이용한기판절단방법에관한것으로서, 광확산단계와, 레이저빔성형단계와, 조사단계와, 이동단계를포함한다. 광확산단계는레이저출력부에서출력된레이저빔의직경을확대하기위하여레이저빔을광확산렌즈를통과시켜광축으로부터멀어지는방향으로확산시킨다. 레이저빔성형단계는확산된레이저빔을광확산렌즈의후방에배치된단일의볼록렌즈를통과시켜구면수차가발생되도록하며, 구면수차에의해볼록렌즈의출사면으로부터이격된위치에서레이저빔의광강도가균일하게유지되는광강도균일구간이형성되도록레이저빔을성형한다. 조사단계는레이저빔의광강도균일구간내에기판이위치하도록, 기판에레이저빔을조사한다. 이동단계는기판의절단예정선을따라기판또는레이저빔을이동시킨다. 레이저빔성형단계는입사면의곡률반경이출사면의곡률반경보다큰 볼록렌즈를이용하며, 광강도균일구간은볼록렌즈의출사면으로부터이격된위치에서광축방향을따라일정길이내에형성된다.
摘要翻译：本发明包括光扩散步骤，和激光束整形和照射步骤，移动步骤涉及使用该球面像差的基片切割方法。光扩散步骤通过光漫射透镜通过了的激光束，以使从激光输出单元输出的激光束的直径的方向上从光轴远离扩散。的激光光束整形的步骤是在一个位置间隔开的漫射激光束的激光束的光，并且使得所产生的差异可以球体通过球面像差穿过设置在所述光漫射透镜的后部的单个凸透镜，从正透镜的出射面并使得光强度均匀的间隔，以形成强度均匀地保持整形的激光束。照射工序照射的激光束到衬底上，使得所述衬底定位在所述激光束均匀的间隔的光强度。移动步骤沿着待切割衬底的线移动衬底或激光束。的激光束整形内形成，并用于正透镜，入射面的出射表面的曲率半径的曲率半径，光强度均匀的间隔沿着在从正透镜的出射表面间隔开的位置处的光轴方向上预先确定的方式。

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