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21. 发明授权

KR101936308B1 박막증착장치 有权
公开(公告)号：KR101936308B1
公开(公告)日：2019-04-03
申请号：KR1020120155650
申请日：2012-12-28
申请人： 주식회사 원익아이피에스
发明人： 강현
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26

22. 发明授权

KR101888268B1 가열 어셈블리 有权
公开(公告)号：KR101888268B1
公开(公告)日：2018-09-06
申请号：KR1020160163082
申请日：2016-12-01
申请人： 주식회사 파인에바
发明人： 김정형
IPC分类号： C23C14/26 , C23C14/24 , C23C14/54
摘要： 본발명은가열어셈블리에관한것으로, 본발명의일 양상에따른증착물질이놓이는공간이내부에형성된크루시블;상기크루시블의외측에배치되는코일; 및크루시블의외측에배치되는자기장집속구조물;을포함하되상기코일에는고 주파수전원이인가되어상기고주파수전원에대응하는코일전류가흐르고, 상기코일전류에대응하여상기코일주변에다이나믹한자기장이 1차유도되고, 상기다이나믹한자기장에대응하여상기크루시블에유도전류가 2차유도되고, 상기유도전류에따라상기크루시블에열이발생하며상기크루시블이가열되고, 상기크루시블의외벽의면적은상기자기장집속구조물의상기크루시블의외벽과대향하는면의면적보다큰 것을특징으로하는증착장비용가열어셈블리가제공된다.

23. 发明公开

KR20180051204A 박막 증착장비의 도가니 유도가열 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20180051204A
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：KR20160148226
申请日：2016-11-08
申请人： SUNIC SYSTEM LTD
发明人： SEO TAE WON , KIM HYUNG MOK
IPC分类号： C23C14/26 , C23C14/24 , H01L21/203 , H01L21/67 , H01L51/00 , H01L51/56
摘要： 본발명은박막증착장비의도가니유도가열장치에관한것으로서, 증발물질을저장하는용기형상의도가니와; 상기도가니내부에저장된증발물질의상부에배치되어증발물질을가열하는가열망체와; 상기도가니의외부에배치되어고주파유도가열로상기가열망체를가열하는유도가열부를포함하고, 상기가열망체는복수의선체가그물망형태로배열되어구성되고, 상기선체의둘레에는보호부재가설치됨으로써, 증발물질전체가가열되는것을방지함과아울러, 가열망체표면에증발물질이직접접촉하지않도록하여증발물질이열화되는것을최소화할수 있고, 이에따라증발물질의공급효율을상승시킬수 있는효과가있다.

24. 发明公开

KR1020170141486A 박막증착장치 및 그 제어방법 审中-实审
标题翻译：薄膜沉积装置及其控制方法
公开(公告)号：KR1020170141486A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：KR1020160074597
申请日：2016-06-15
申请人： 주식회사 원익아이피에스
发明人： 김정훈
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , C23C14/26 , H01L21/02 , H01L21/203 , H01L21/66 , H01L21/67 , H01L21/324
摘要： 본발명은박막증착장치에관한것으로서, 보다상세하게는증착물질을증발시켜기판에박막을형성하는박막증착장치및 그제어방법에관한것이다. 본발명은, 밀폐된처리공간(S)을형성하는공정챔버(100)와; 상기처리공간(S)의상측에위치된기판(10)에박막을형성하도록상기처리공간(S)의하측에설치되며, 길이방향을따라서 2개이상의가열영역(500)들이설정된도가니부(210)와, 상기가열영역(500)들각각에대응되어설치된 2개이상의히터부(220)를포함리니어소스(200)와; 상기리니어소스(200)의증발률을측정하기위한하나이상의증발률센서(400)와; 상기증발률센서(400)를통하여측정된측정증발률을기준으로상기히터부(220)의발열량을제어하여상기리니어소스(200)의증발률을제어하기위한제어부를포함하는것을특징으로하는박막증착장치를개시한다.
摘要翻译：本发明涉及，并且更具体地，膜沉积装置中，通过蒸发蒸发材料在基板上形成的薄膜的控制方法涉及的成膜装置。本发明包括形成封闭处理空间（S）的处理室（100）; 的过程中在位于设置在所述侧（S）服装侧空间（S）乌伊哈岛处理空间基板10形成薄膜，沿至少两个加热区500的纵向方向设置在坩埚部分（210 包括对应于加热区域500设置的至少两个加热器单元220的线性源200; 至少一个蒸发速率传感器（400），用于测量线性源（200）的侵蚀速率; 以及控制单元，用于基于通过蒸发率传感器400测量的测量的蒸发率来控制加热器单元220的加热速率，以控制线性源200的侵蚀速率。它公开了一种装置。

25. 发明授权

KR101797736B1 하향식 선형 증발 증착 장치 有权
公开(公告)号：KR101797736B1
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：KR1020160050578
申请日：2016-04-26
申请人： 주식회사 파인에바
发明人： 김정형
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/50 , C23C14/12
摘要： 본발명은선형증발증착장치를제공한다. 이선형증발증착장치는진공용기의내부에배치되고도전체로형성되고제1 방향으로연장되고그 하부면에상기제1 방향으로연장되고내부에증발물질을수납하고속이빈 증발용기; 도전체로형성되고상기제1 방향및 상기제1 방향에수직한제2 방향에의하여정의되는배치평면에배치되고상기제1 방향으로배열된복수의노즐을포함하고그 일부가상기증발용기의하부면에서돌출되고상기제1 방향으로연장되는노즐블록; 도전체로형성되고일단은상기노즐에각각연결되고상기배치평면에수직한제3 방향으로연장되는연결파이프들; 도전체로형성되고상기증발물질이가열되어생성된증기를통과시키는적어도하나의증기통로, 상기연결파이프들의타단에각각결합하기위한관통홀들을포함하고상기증발용기의내부에서상기노즐블록과일정한간격을가지도록배치되는분리판; 및도전체로형성되고상기증발용기의상부면을덮는증발용기뚜껑을포함한다.

26. 发明授权

KR101782144B1 선택적인 작업이 가능한 사출품의 알루미늄박막 진공증착장치 有权
公开(公告)号：KR101782144B1
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：KR1020150177422
申请日：2015-12-11
申请人： 주식회사 제로벡
发明人： 손근호
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/50 , C23C14/54 , C23C14/58 , C23C14/14 , C23C14/20 , B29C71/02
摘要： 본발명의선택적인작업이가능한사출품의알루미늄박막진공증착장치에관한것으로, 더욱자세하게는사출품의표면에금속박막을증착하는증착장치에있어서, 내부에진공공간(101)을가지며, 전면에상기진공공간과연결되는진공부(150)가구성되고, 내부양측에수직방향으로제1레일(110)이구성되고, 상기제1레일(110)이구성되는타측에수평방향으로제2, 3레일(120, 130)이일정간격이격되게구성되는본체부(100); 상기본체부(100)의상부에구성되되상기제1레일(110)에안착되어상하부로유동하며흡착부(500)의상부에안착되는사출품(p)을흡착하여이송시키는이송부(200); 상기본체부(100)의내부에구성되되상기이송부(200)의하부에위치되어상기제2레일(120)을타며사출품(p)의표면을세정하는세정부(300); 상기본체부(100)의내부에구성되되세정부(300)의하부에위치되어, 상기제3레일(130)을타며사출품(p)의표면에열을발산하여알루미늄박막을증착하는열증착부(400); 상기본체부(100)의내부에구성되되하부에위치되어상하부로유동하며, 상부에놓여지는사출품(p)을진공흡착하는흡착부(500); 상기본체부(100)의외부일측에이송부(200), 세정부(300), 열증착부(400), 흡착부(500)의작동을각각제어하는제어부(600);로구성됨으로써, 사출품의표면에알루미늄진공증착을하는본연의목적을그대로유지함과동시에, 간단한구조를가지며, 세정, 증착, 코팅중 원하는작업을수행할수 있도록사출품의위치를선택적으로가변시킬수 있어작업의편리성을부여할수 있고, 사출품의표면으로알루미늄박막을증착시 진공흡착으로견고한고정력을가짐으로써, 불량률을최소화시킬수 있도록한 경제적효율성이높은유용한발명인것이다.

27. 发明授权

KR101772621B1 하향식 증발기 및 하향식 증발 증착 장치 有权
公开(公告)号：KR101772621B1
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：KR1020160023689
申请日：2016-02-26
申请人： 주식회사 파인에바
发明人： 김정형
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , H01L21/203 , C23C14/12 , C23C14/56 , C23C14/26 , C23C14/24
摘要： 본발명은증발기및 증발증착장치를제공한다. 이증발기는증착물질을수납하는수납용기; 도전체로형성되고상기수납용기의하부면을통하여상기증착물질을제공받아기화시키는기화용기; 상기기화용기와수납용기를공간적으로서로분리하고복수의구멍을구비하는다공판; 상기기화용기의하부면을가열하는가열부; 및상기기화용기의하부면에연결되어상기증착물질의증기를토출하는적어도하나의연결통로부를포함한다. 상기다공판은상기구멍이배치되지않은막힌영역을구비하고, 상기연결통로부는상기막힌영역의하부에배치된다.

28. 发明授权

KR101770867B1 금속 질감의 입체 엠보를 갖는 인테리어 시트 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：具有金属质感立体压花的内部片材及其制造方法
公开(公告)号：KR101770867B1
公开(公告)日：2017-08-23
申请号：KR1020130110901
申请日：2013-09-16
申请人： (주)엘지하우시스
发明人： 하정은
IPC分类号： B32B27/06 , B32B7/12 , B32B3/30 , C23C14/34 , C23C14/26 , B32B37/24
摘要： 고광택의외관을가지면서도비침현상이적은금속질감의입체엠보를갖는인테리어시트및 그제조방법에대하여개시한다. 본발명에따른인테리어시트는투명기재층; 상기투명기재층하면에형성된헤어라인패턴; 상기투명기재층및 헤어라인패턴하면에형성된금속층; 상기금속층하면에형성된접착층; 상기접착층하면에형성된베이스층; 및상기투명기재층상면에형성된저반사코팅층;을포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：具有高光泽外观和最小不渗透现象的立体压花金属组织的内部片材及其制造方法。根据本发明的内部片材包括透明基材层; 形成在透明基层的底表面上的发线图案; 金属层，形成在透明基底层和发纹图案的底面上; 形成在金属层的底表面上的粘合剂层; 形成在粘合剂层的下表面上的基底层; 并且在透明基板层上形成低反射涂层。

29. 发明公开

KR1020170047987A 증발원 审中-实审
标题翻译：蒸发源
公开(公告)号：KR1020170047987A
公开(公告)日：2017-05-08
申请号：KR1020150148785
申请日：2015-10-26
申请人： 주식회사 선익시스템
发明人： 장태훈 , 김형목
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26
摘要： 본발명은증발원에관한것으로, 증착물질이수용되는도가니와, 상기도가니의상부에설치되어상기증착물질을기판상에고르게분사하기위한분사홀이구비되는디퓨저와, 증발원의상부에서의열 손실을방지하기위해상기디퓨저의상면에설치되는상부리플렉터와, 상기도가니에수용된증착물질이확산배출되어전방의기판에증착되도록상기도가니를가열시키는적어도하나이상의가열체와, 상기가열체및 도가니의열이차단되도록상기도가니의외연에설치된가열체를감싸도록설치되는적어도하나이상의냉각장치와, 상기가열체로부터외측방향으로의복사열전달을차폐시키기위해상기냉각장치와가열체사이에설치되는적어도하나이상의리플렉터와, 상기디퓨저로부터의열확산을방지하기위해상기냉각장치의상부에설치되는셀링을포함함으로써, 증발원의상부에서발생할수 있는열 손실을최소화함으로써, 박막증착효율과물질의사용효율을증대시킴과아울러기판상에증착되는박막의균일도를향상시킬수 있는효과가있다.
摘要翻译：本发明是为了防止这种情况，沉积材料yisuyong坩埚中，漫射器，热损失eseoui在被用于炉子的基板上的沉积材料均匀地喷洒设置有喷气孔的顶部被设置在蒸发源的上部是在蒸发源上确保至少一个加热体和所述加热器的热和上部反射器，其被安装在扩散器的上表面的坩埚块，装在坩埚扩散排放加热坩埚的蒸发材料在前面基板上沉积并用其安装成围绕设置在炉子的外边缘上的加热部件中，从加热体的反射器屏蔽辐射热传递到外部的方向中的至少一个被所述加热器和冷却装置之间设置有至少一个冷却单元，并且设置在冷却装置的上部的吊索以防止来自扩散器的热扩散，通过最小化热量损失，这可能，锡金提高膜沉积效率和材料的利用效率以及能够提高沉积在衬底上的薄膜的均匀性的效果。

30. 发明授权

KR101713112B1 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치 有权
标题翻译：可以连续充电的沉积材料供给装置
公开(公告)号：KR101713112B1
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：KR1020160094735
申请日：2016-07-26
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 문정일 , 이명선 , 윤성원 , 박희재
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/52 , C23C14/54 , C23C14/26
CPC分类号： C23C14/246 , C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/52 , C23C14/54
摘要： 본발명은연속충진이가능한증착물질공급장치에관한것으로서, 저장용기와, 제1가열부와, 도가니와, 제2가열부와, 연결관과, 냉온조절부를포함한다. 저장용기는고체상태의증착물질이투입되는투입구와, 증착물질이배출되는배출구를구비한다. 제1가열부는저장용기를가열하여증착물질을액화시킨다. 도가니는저장용기보다낮은위치에배치되고, 하부에유입구를구비하며상부에증착챔버와연결된유출구를구비한다. 제2가열부는도가니를가열하여증착물질을기화시킨다. 연결관은배출구와유입구를연결한다. 냉온조절부는연결관의온도를조절한다. 도가니내부로증착물질의충진이필요한경우, 제1가열부및 냉온조절부가구동되고, 저장용기및 연결관내에있는증착물질이액화되어도가니에충전되고, 증착물질이도가니내부에충진되면, 제1가열부는정지되고냉온조절부가구동되어연결관을냉각시킴으로써, 고체화된증착물질에의해연결관의내부가폐쇄되는것을특징으로한다.

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