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21. 发明授权

KR100935752B1 차량 유체 변환 장치 및 방법 失效
标题翻译：车辆流体变化装置及方法
公开(公告)号：KR100935752B1
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：KR1020027012925
申请日：2002-01-29
申请人： 알피엠 인더스트리즈, 엘엘씨
发明人： 아포스톨리데스존
IPC分类号： F16N33/00
CPC分类号： F01M11/0408 , F01M2001/123 , F15B21/005 , F16N21/02 , F16N21/04 , F16N39/06 , F16N2037/006 , Y10T137/0396 , Y10T137/6855 , Y10T137/8376 , Y10T137/86035 , Y10T137/86163 , Y10T137/86823
摘要： A fluid transfer system (100) includes elongated conduits connected at one end with couplings to a plurality of fluid reservoirs (105,107,109) of a machine or engine and at the other end with a control valve (116) for selective quick evacuation. Evacuation is powered by a pump (128) operably connected to the control valve. Another embodiment includes a first pump for the evacuation of an engine oil reservoir and a second pump for the selective evacuation of transmission and hydraulic fluid reservoirs. The control valve and the pumps may be operated remotely through electrical switches on brackets or on a service panel. Associated methods of removing fluids and replacing fluids from a plurality of reservoirs includes coupling the fluid transfer system to the reservoirs.

22. 发明授权

KR100863782B1 기판처리장치 및 기판처리방법 有权
标题翻译：基板处理装置及基板处理方法
公开(公告)号：KR100863782B1
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：KR1020030013933
申请日：2003-03-06
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 쵸우노야스히로 , 이토노리히로 , 사타케케이고 , 이이노타다시
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01L21/67253 , H01L21/67017 , Y10S134/902 , Y10S438/935 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/87917
摘要： 본 발명은 반도체 웨이퍼나 LCD용 유리기판 등의 기판을 밀봉된 처리기내에서 처리가스 예를 들면, 오존 및 용매증기 예를 들면 수증기 등의 처리 유체를 이용해서 처리하는 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것이다.
본 발명에서는 공통의 용매증기(수증기) 공급원(41) 및 처리가스(오존가스) 공급원(42)로부터 복수의 처리용기(30A, 30B)에 오존가스 및 수증기가 공급되고, 처리용기내의 압력 제어는 각 처리용기에 접속된 배출관로(80A, 80B)에 각각 설치된 가변 트로틀밸브(50A, 50B)의 개방도를 조절하는 것에 의해 행해진다.
摘要翻译：本发明是一种基板处理装置和一个在密封的基板处理程序使用处理流体，诸如，例如工艺气体，例如用于半导体晶片的玻璃基板和LCD，克臭氧和溶剂蒸气例如，水蒸汽处理的基板处理方法它涉及。

23. 发明公开

KR1020080091872A 유체 이송 장치 失效
标题翻译：车辆流体变化系统
公开(公告)号：KR1020080091872A
公开(公告)日：2008-10-14
申请号：KR1020087023840
申请日：2002-01-29
申请人： 알피엠 인더스트리즈, 엘엘씨
发明人： 아포스톨리데스존
IPC分类号： F16N33/00
CPC分类号： F01M11/0408 , F01M2001/123 , F15B21/005 , F16N21/02 , F16N21/04 , F16N39/06 , F16N2037/006 , Y10T137/0396 , Y10T137/6855 , Y10T137/8376 , Y10T137/86035 , Y10T137/86163 , Y10T137/86823
摘要： A fluid transfer (100) system includes elongated conduits (113) connected at one end with couplings to a plurality of fluid reservoirs (105, 107, 109) of a machine or engine and at the other end with a control valve (116) for selective quick evacuation. Evacuation is powered by a pump (128) operably connected to the control valve. Another embodiment includes a first pump for the evacuation of an engine oil reservoir and a second pump for the selective evacuation of transmission and hydraulic fluid reservoirs. The control valve and the pumps may be operated remotely through electrical switches on brackets or on a service panel. Associated method of removing fluids and replacing fluids from a plurality of reservoirs includes coupling the fluid transfer system to the reservoirs.
摘要翻译：流体传输（100）系统包括在一端连接到机器或发动机的多个流体储存器（105,107,109）的联接件的另一端处的细长管道（113），并且另一端具有控制阀（116），用于选择性快速疏散。疏散由可操作地连接到控制阀的泵（128）提供动力。另一个实施例包括用于抽空发动机储油器的第一泵和用于选择性排空变速器和液压油箱的第二泵。控制阀和泵可以通过支架上的电气开关或维修面板远程操作。从多个储存器中去除流体和替换流体的相关方法包括将流体转移系统耦合到储存器。

24. 发明公开

KR1020080091407A 유체 이송 장치 失效
公开(公告)号：KR1020080091407A
公开(公告)日：2008-10-10
申请号：KR1020087023836
申请日：2002-01-29
申请人： 알피엠 인더스트리즈, 엘엘씨
发明人： 아포스톨리데스존
IPC分类号： F16N33/00
CPC分类号： F01M11/0408 , F01M2001/123 , F15B21/005 , F16N21/02 , F16N21/04 , F16N39/06 , F16N2037/006 , Y10T137/0396 , Y10T137/6855 , Y10T137/8376 , Y10T137/86035 , Y10T137/86163 , Y10T137/86823
摘要： A fluid transfer (100) system includes elongated conduits (113) connected at one end with couplings to a plurality of fluid reservoirs (105, 107, 109) of a machine or engine and at the other end with a control valve (116) for selective quick evacuation. Evacuation is powered by a pump (128) operably connected to the control valve. Another embodiment includes a first pump for the evacuation of an engine oil reservoir and a second pump for the selective evacuation of transmission and hydraulic fluid reservoirs. The control valve and the pumps may be operated remotely through electrical switches on brackets or on a service panel. Associated method of removing fluids and replacing fluids from a plurality of reservoirs includes coupling the fluid transfer system to the reservoirs.

25. 发明授权

KR100833135B1 연료 증기 압력 조정 장치 및 방법 失效
标题翻译：燃料蒸汽压力管理的装置和方法
公开(公告)号：KR100833135B1
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：KR1020037016332
申请日：2002-06-14
申请人： 지멘스 비디오 오토모티브 인코포레이티드
发明人： 페리파울디. , 베이노테안드레
IPC分类号： F02M25/08
CPC分类号： F02M25/0854 , F02M25/0809 , F02M25/0836 , Y10T137/0324 , Y10T137/0396 , Y10T137/778 , Y10T137/7851 , Y10T137/792 , Y10T137/8326
摘要： 본 발명은 하우징(30)과 압력 조작 장치(40)를 포함하는 연료 증기 압력 조정 장치(20)를 작동시키는 장치 및 방법에 관한 것이다. 하우징은 내부 챔버(31)를 형성하고 내부 챔버와 연통하는 제 1 포트(36)와 제 2 포트(38)를 포함하고 있다. 압력 조작 장치는 내부 챔버를 제 1 포트와 연통하는 제 1 부분과 제 2 포트와 연통하는 제 2 부분으로 분할한다. 이 압력 조작 장치는 축선을 따라서 이동가능한 포핏 및 이 포핏과 상호 맞물리도록 된 실을 포함하고 있다. 압력 조작 장치의 제 1 배치는 제 2 포트에 대하여 제 1 포트에서 제 1 부압 레벨에 있고, 실이 제 1 변형 형태에 있을 때 발생한다. 압력 조작 장치의 제 2 배치는 실이 제 2 변형 형태에 있을 때 제 2 포트로부터 제 1 포트로 제 1 유체 유동을 허용한다. 압력 조작 장치의 제 3 배치는 실이 변형되지 않은 형태에 있을 때 제 1 포트로부터 제 2 포트로 제 2 유체 유동을 허용한다.
하우징, 압력 조작 장치, 내부 챔버, 제 1 포트, 제 2 포트, 포핏, 실

26. 发明授权

KR100686595B1 유체통로의 폐쇄방법과 이것에 이용하는 워터 해머리스밸브장치 有权
标题翻译：关闭流体通道的方法和无水阀
公开(公告)号：KR100686595B1
公开(公告)日：2007-02-26
申请号：KR1020067013154
申请日：2003-12-18
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카주 , 니시노코우지 , 나가세마사아키 , 도히료스케 , 니시무라류타로
IPC分类号： G05D16/02
CPC分类号： F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
摘要： 매우 간단한 장치나 조작에 의해, 워터 해머가 발생되는 일없이, 또한 단시간내에 유체통로를 긴급폐쇄할 수 있도록 한다.
그것을 위해서, 유체통로에 개재된 액추에이터 작동식 밸브와 액추에이터 작동식 밸브에 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)을 공급하는 전공변환장치와, 상기 액추에이터 작동식 밸브의 상류측 관로에 착탈가능하게 부착한 진동센서와, 진동센서에 의해 검출한 진동검출신호(Pr)가 입력됨과 아울러 전공변환장치에 상기 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)의 스텝작동압(Ps')의 크기를 제어하는 제어신호(Sc)를 출력하고, 상기 제어신호(Sc)의 조정에 의해 전공변환장치로부터 진동검출신호(Pr)가 대략 0이 되는 스텝작동압(Ps')의 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)을 출력시키는 튜닝박스로 워터 해머리스 폐쇄장치를 구성한다.

27. 发明授权

KR100625071B1 유체통로의 폐쇄방법과 이것에 이용하는 워터 해머리스 폐쇄장치 有权
标题翻译：用于封闭流体通道的方法和水无缝闭合装置
公开(公告)号：KR100625071B1
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020047019218
申请日：2003-12-18
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카주 , 니시노코우지 , 나가세마사아키 , 도히료스케 , 니시무라류타로
IPC分类号： G05D16/02
CPC分类号： F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
摘要： 매우 간단한 장치나 조작에 의해, 워터 해머가 발생되는 일없이, 또한 단시간내에 유체통로를 긴급폐쇄할 수 있도록 한다.
그것을 위해서, 유체통로에 개재된 액추에이터 작동식 밸브와 액추에이터 작동식 밸브에 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)을 공급하는 전공변환장치와, 상기 액추에이터 작동식 밸브의 상류측 관로에 착탈가능하게 부착한 진동센서와, 진동센서에 의해 검출한 진동검출신호(Pr)가 입력됨과 아울러 전공변환장치에 상기 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)의 스텝작동압(Ps')의 크기를 제어하는 제어신호(Sc)를 출력하고, 상기 제어신호(Sc)의 조정에 의해 전공변환장치로부터 진동검출신호(Pr)가 대략 0이 되는 스텝작동압(Ps')의 2단계상의 액추에이터 작동압(Pa)을 출력시키는 튜닝박스로 워터 해머리스 폐쇄장치를 구성한다.

28. 发明公开

KR1020060029638A 다중 기계 유체 처리의 수행, 감시, 분석 방법 및 시스템 失效
标题翻译：用于执行，监测和分析多种机器流体过程的方法和系统
公开(公告)号：KR1020060029638A
公开(公告)日：2006-04-06
申请号：KR1020057025265
申请日：2004-06-28
申请人： 알피엠 인더스트리즈, 엘엘씨
发明人： 어파스틀리데스존케이.
IPC分类号： F01M11/00 , F01M11/04 , F16N39/00
CPC分类号： F01M11/0408 , F01M11/0458 , F01M2001/0215 , F01M2001/123 , F15B21/005 , F16N21/02 , F16N21/04 , F16N39/06 , F16N2037/006 , Y10T137/0396 , Y10T137/4857 , Y10T137/85978 , Y10T137/85986 , Y10T137/86163 , Y10T137/86389 , Y10T137/86405
摘要： In one embodiment, a method is provided for performing a fluid process within a machine having a fluid system including at least two reservoirs of different types of fluids. The method includes the steps of identifying a first reservoir for use in performing a fluid process; (a) adjusting a configuration of a valve system operatively coupled to the fluid system to permit a fluid evacuation process to be performed for the reservoir, (b) subsequently performing the fluid evacuation process for the reservoir, (c) subsequently adjusting the configuration of the valve system to permit a fluid refill process to be performed for the reservoir, (d) subsequently performing the fluid refill process for the reservoir; and, subsequently identifying an additional reservoir and performing at least one of the steps (a), (b), (c) and (d) for the additional reservoir, wherein the first reservoir includes a fluid of a type which is different from a type of a fluid of the additional reservoir. Various system and computer- readable media embodiments are also provided. It is emphasized that this abstract is provided to comply with the rules requiring an abstract that will allow a searcher or other reader to quickly ascertain the subject matter of the technical disclosure. It is submitted with the understanding that it will not be used to interpret or limit the scope or meaning of the claims.
摘要翻译：在一个实施例中，提供了一种在具有包括不同类型的流体的至少两个储存器的流体系统的机器内执行流体过程的方法。该方法包括以下步骤：识别用于执行流体过程的第一储存器; （a）调整可操作地耦合到流体系统的阀系统的构造，以允许对储存器执行流体排出过程，（b）随后对储存器执行流体排出过程，（c）随后调整所述阀系统允许对所述储存器执行流体填充处理，（d）随后对所述储存器执行所述流体再填充处理; 并且随后识别另外的储存器并执行附加储存器的步骤（a），（b），（c）和（d）中的至少一个，其中第一储存器包括不同于附加储存器的流体类型。还提供了各种系统和计算机可读介质实施例。要强调的是，该摘要被提供以符合要求抽象的规则，允许搜索者或其他读者快速确定技术公开内容的主题。提交它的理解是，它不会用于解释或限制权利要求的范围或含义。

29. 发明公开

KR1020060016025A 슬릿밸브 제어시스템 및 그 제어방법 失效
标题翻译：滑阀控制系统及其控制方法
公开(公告)号：KR1020060016025A
公开(公告)日：2006-02-21
申请号：KR1020040064446
申请日：2004-08-16
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최재선 , 한치호 , 장기중 , 정진수
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67126 , H01L21/67253 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要： 본 발명은 슬릿밸브 제어시스템은 제 1챔버와 제 2챔버 사이에 설치된 슬릿을 개폐하는 슬릿밸브와, 슬릿밸브에 동작 압력을 제공하는 동작 압력원과, 슬릿밸브와 동작 압력원을 서로 연결하는 압력 공급유로와, 공급유로 상에 설치되어 동작 압력원으로부터 슬릿밸브로 공급되는 압력을 조절하는 압력 조절기를 구비하여 두 챔버 사이의 압력차가 있을 경우 슬릿밸브가 개방되어 발생할 수 있는 문제점을 압력 조절기로써 슬릿밸브의 동작 압력을 제어함으로써 해결할 수 있도록 한 것이다.

30. 发明公开

KR1020050027250A 액체 유동 제어기와 정밀 분배 장치 및 시스템 有权
标题翻译：液体流量控制器和精密配置设备和系统
公开(公告)号：KR1020050027250A
公开(公告)日：2005-03-18
申请号：KR1020057000958
申请日：2003-07-18
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 래버디에레마크 , 맥로우린로버트,에프. , 곤넬라죠지 , 가시가에이라즈 , 마스제니퍼
IPC分类号： H01L21/02 , F16K31/12
CPC分类号： G05D7/0617 , G05D16/2013 , Y10T137/0396 , Y10T137/7758 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
摘要： Apparatus and a control system for monitoring (preferably digitally) and/or controlling pressure to a pneumatic load such as a proportional fluid control valve and using a measurement input from a fluid measuremenc device that responds to a flow rate, the liquid measurement input being used to control the' pressure to the pneumatic load so that pneumatic load may be increased or decreased (to proportionally open or close the pneumatic valve) to change the flow rate of the fluid to a desired rate. The pneumatic load can also be adjusted (to proportionally open or close the pneumatic valve) to accommodate changes in temperature and viscosity of a fluid.
摘要翻译：装置和控制系统，用于监测（优选数字地）和/或控制诸如比例流体控制阀的气动负载的压力，并且使用来自响应于流量的流体测量装置的测量输入，所使用的液体测量输入以控制气压负荷的压力，使得气动负载可以增加或减小（按比例打开或关闭气动阀），以将流体的流速改变到所需的速率。也可以调节气动负载（按比例打开或关闭气动阀），以适应流体温度和粘度的变化。

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