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21. 发明公开

KR1020100019587A 에스피엠 나노탐침 및 그 제조방법 失效
标题翻译： SPM纳米微粒及其制备方法
公开(公告)号：KR1020100019587A
公开(公告)日：2010-02-19
申请号：KR1020080075397
申请日：2008-08-01
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 안상정 , 박병천 , 강영호 , 최진호 , 정광훈
IPC分类号： G01Q70/12 , G01Q70/16 , B82Y35/00
CPC分类号： G01Q70/12
摘要： PURPOSE: An SPM(Scanning Probe Microscope) nanoprobe and a manufacturing method thereof for accurately measuring frictional force and adhesive force in a pattern are provided to control the ratio of a diameter of the deposit of a sphere and the diameter of the nano-needle. CONSTITUTION: A probe comprises a structure in which the deposit of a sphere is formed by particle beam induced deposition in the tip-end part of a nano-needle(20). A sectional diameter of the nano-needle and diameter of a circular deposit are range from 8.5 to 1.5. The diameter of the deposit of sphere is 15 nm to 1,000 nm range. In the particle beam conduction evaporation, the particle acceleration voltage is 50 kV range to 5. A particle density researched in the tip-end part is 400 to 10000.
摘要翻译：目的：提供用于精确测量图案中的摩擦力和粘附力的SPM（扫描探针显微镜）纳米探针及其制造方法，以控制球体沉积物的直径与纳米针的直径之比。构成：探针包括其中通过在纳米针（20）的前端部分中的粒子束感应沉积形成球体沉积物的结构。纳米针的截面直径和圆形沉积物的直径为8.5至1.5。球体沉积物的直径为15nm至1000nm范围。在粒子束传导蒸发中，粒子加速电压为50kV至5.尖端部分研究的粒子密度为400〜10000。

22. 发明授权

KR100811324B1 나노튜브 프로브 및 제조방법 失效
标题翻译：纳米探针及其制造方法
公开(公告)号：KR100811324B1
公开(公告)日：2008-03-07
申请号：KR1020067003055
申请日：2004-09-08
申请人： 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤 , 나카야마 요시카즈
发明人： 나카야마요시카즈 , 오카와다카시 , 야마나카시게노부 , 하라다아키오
IPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/12 , B82Y35/00
CPC分类号： G01Q70/12
摘要： 내구성이 있고, 단시간으로 제조할 수 있고, 나노튜브를 유지하는 홀더면에 부착 불순물이 적은 나노튜브 프로브를 실현한다.
본 발명에 의한 나노튜브 프로브는, 나노튜브(8)를 캔틸레버 돌출부(4)에 적어도 두 개의 부분 코팅막(12a, 12b)에 의해 고정하여 구성된다. 이들 두 개의 부분 코팅막의 중간영역에 한 곳 이상의 부분 코팅막을 추가 형성하여도 좋다. 각 부분 코팅막은 나노튜브 기단부(8b)가 캔틸레버 돌출부(4)에 접촉한 위치에 전자빔(10)을 조사하여 형성된다. 각 부분 코팅막이 서로 겹치지 않도록 분리하여 형성된다. 부분 코팅막의 크기를 적극적으로 작게 하여, 전자빔(10)의 빔직경을 조임으로써, 코팅시간을 단축할 수 있다. 빔직경이 작으므로 여분의 불순물의 퇴적을 억제할 수 있다.
나노튜브, 프로브, 탐침, 주사형, 캔틸레버, 코팅막, 전자빔, 불순물

23. 发明公开

KR1020060076721A 주사형 자기력 현미경용 프로브, 이의 제조방법, 및 탄소나노튜브 상에 강자성 합금필름의 형성방법 无效
标题翻译：用于扫描磁力显微镜的探针，其制造方法，以及在碳纳米管上形成铁磁性合金膜的方法
公开(公告)号：KR1020060076721A
公开(公告)日：2006-07-04
申请号：KR1020050130580
申请日：2005-12-27
申请人： 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 상교기쥬츠 소고켄큐쇼 , 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스
发明人： 아키나가히로유키 , 셈바,야스유키 , 요코야마히로시 , 야스타케마사토시 , 구라모치히로미
IPC分类号： G01Q60/56
CPC分类号： G01Q60/56 , G01Q70/12 , Y10S977/84 , Y10S977/842 , Y10T428/30
摘要： 본 발명은, 1200-kFCI 또는 더 높은 기록밀도를 갖는 자기저장매체의 관찰을 가능하게 하기에 충분한 해상도를 갖는 주사형 자기력 현미경용의 프로브, 그 프로브의 제조방법, 및 탄소 나노튜브 상에 강자성 합금필름을 형성하는 방법을 제공한다. 본 발명의 내용에서, 주사형 자기력 현미경용 프로브는, 탄소 나노튜브 표면의 적어도 일부가 Co-Fe 합금 및 Co-Ni 합금 중 어느 하나로 이루어지는 강자성 합금필름으로 코팅되며, 상기 강자성 합금필름 표면의 산술평균 거칠기(Ra 10㎛)가 1.15nm 이하로 조절된 탄소 나노튜브를 포함한다. 강자성 합금필름의 성장 속도를 1.0∼2.5nm/min의 범위로 조절하는 것에 의해 상기 평균 표면거칠기를 달성하기 위한, 주사형 자기력 현미경용 프로브의 제조방법 및 탄소 나노튜브 상에 그러한 강자성 합금필름을 형성하는 방법을 또한 개시한다.
주사형 자기력 현미경, 탄소 나노튜브, 표면거칠기, 강자성 합금필름

24. 发明公开

KR1020060034307A 나노튜브 프로브 및 제조방법 失效
标题翻译：纳米探针及其制造方法
公开(公告)号：KR1020060034307A
公开(公告)日：2006-04-21
申请号：KR1020067003055
申请日：2004-09-08
申请人： 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤 , 나카야마 요시카즈
发明人： 나카야마요시카즈 , 오카와다카시 , 야마나카시게노부 , 하라다아키오
IPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/12 , B82Y35/00
CPC分类号： G01Q70/12
摘要： A nanotube probe having durability, manufacturable in a short time, and having less impurities adhered to the surface of a holder holding a nanotube, wherein the nanotube (8) is fixed to a cantilevered projected part (4) by at least two partial coating films (12a) and (12b). One or more partial coating films may be additionally formed in the intermediate area of these two partial coating films. Each partial coating film is formed by radiating electron beam (10) to a position where the base end part (8b) of the nanotube touches the cantilevered projected part (4). The partial coating films are formed separately from each other so as not to be overlapped with each other. A coating time can be reduced by minimizing the size of the partial coating films to restrict the beam diameter of the electron beam (10). Since the beam diameter is small, the stacking of extra impurities can be suppressed.
摘要翻译：一种纳米管探针，其具有耐久性，可在短时间内制造，并且具有较少的杂质粘附到保持纳米管的保持器的表面，其中纳米管（8）通过至少两个部分涂膜固定到悬臂突出部分（4）（12a）和（12b）。可以在这两个部分涂膜的中间区域另外形成一个或多个部分涂膜。每个部分涂膜通过将电子束（10）辐射到纳米管的基端部分（8b）接触悬臂突出部分（4）的位置而形成。部分涂膜彼此分开地形成，以便不彼此重叠。通过最小化部分涂膜的尺寸来限制电子束（10）的光束直径，可以减少涂布时间。由于光束直径小，所以能够抑制杂质的堆积。

25. 发明公开

KR1020050088592A 기능성 나노튜브 신호 프로브 无效
标题翻译：功能纳米管信号探测器
公开(公告)号：KR1020050088592A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：KR1020040013978
申请日：2004-03-02
申请人： 한국기계연구원
发明人： 한창수 , 김재호
IPC分类号： G01R1/067 , B82Y15/00
CPC分类号： G01Q60/16 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , G01Q70/12
摘要： 본 발명은 주로 주사탐침현미경(SPM: Scanning Probe Microscope) 등에 사용되는 신호 프로브(signal probe)에 관한 것으로, 본 프로브는 샘플의 표면신호를 검출하기 위하여 나노튜브의 일단에 나노파티클이 부착되고 나노튜브의 타단이 홀더에 부착된 구성으로 되며, 깊은 트랜치(trench) 구조의 외벽의 형상을 측정하는데 특별한 장점이 있을 뿐만 아니라 나노파티클의 종류에 따라 다양한 물리적, 화학적 및 생물학적 신호를 검출하는 센서 프로브로 활용될 수 있다.

26. 发明公开

KR1020050084226A 나노구조체 함유 물질 및 관련 물품의 조립 및 분류 방법 无效
标题翻译：包含纳米结构材料和相关文章的组装和分选方法
公开(公告)号：KR1020050084226A
公开(公告)日：2005-08-26
申请号：KR1020057010475
申请日：2003-12-08
申请人： 더 유니버시티 오브 노쓰 캐롤라이나 엣 채플 힐
发明人： 조우오또제트 , 탕,지 , 젱,후아이지 , 퀸,루창 , 장,지안 , 양,구앙
IPC分类号： B82B3/00 , B82Y40/00
CPC分类号： G01Q70/16 , C25D13/00 , G01Q70/12 , H01J9/025 , H01J2201/30469 , Y10S977/84 , Y10S977/845 , Y10T29/4913 , Y10T29/49169
摘要： A method for depositing a nanostructure- containing material onto an object or substrate includes one or more of the following: forming a solution or suspension of nanostructure- containing material (420); selectively adding "chargers" to the solution (420); immersing electrodes (410, 430) in the solution (420), the substrate or object upon which the nanostructure material is to be deposited acting as one of the electrodes (430); applying a direct and/or alternating current electrical field between the two electrodes (410, 430) for a certain period of time, thereby causing the nanostructure materials in the solution (420) to migrate toward and attach themselves to the substrate electrode (450); and subsequent optional processing of the coated substrate. Associated objects and devices are also provided. A method for separating nanostructures based on their properties and/or geometry is also described.
摘要翻译：一种将纳米结构材料沉积到物体或基底上的方法包括以下中的一种或多种：形成含纳米结构的材料（420）的溶液或悬浮液; 选择性地将“充电器”添加到溶液（420）中; 将电极（410,430）浸入溶液（420）中，沉积纳米结构材料的基底或物体用作电极（430）之一; 在两个电极（410,430）之间施加直接和/或交流电场一段时间，从而使溶液（420）中的纳米结构材料迁移并将其附着到衬底电极（450）上， ; 并且随后可选地处理涂覆的基底。还提供了相关对象和设备。还描述了基于其性质和/或几何形状分离纳米结构的方法。

27. 发明公开

KR1020040096530A 주사형프로브현미경 및 시료의 표면구조측정방법 无效
标题翻译：扫描探针显微镜和测量样品表面结构的方法
公开(公告)号：KR1020040096530A
公开(公告)日：2004-11-16
申请号：KR1020047011279
申请日：2003-02-05
申请人： 리켄
发明人： 하세가와쓰요시 , 아오노마사카즈 , 나카야마토모노부 , 호사카스미오
IPC分类号： G01Q60/34 , G01Q10/06
CPC分类号： G01Q60/34 , G01Q10/06 , G01Q30/04 , G01Q70/12
摘要： 고애스펙트 구조를 고정밀도로 측정하는 디지털프로빙방식의 AFM(원자간력현미경)이다. 탐침(21)을 진동시키면서 시료표면에 가깝게 해 인력영역에서 소정의 원자간력을 검출했을 때의 탐침의 위치를 측정한다(1). 그 후, 탐침을 시료표면에서 멀어지는 방향으로 이동시켜(2), 탐침과 시료표면과의 간극을 일정하게 유지하는 서보계를 정지시켜, 탐침을 시료로부터 떼어 놓은 상태로 시료표면을 따르는 방향에서 측정점까지 이동시킨다(3). 진동의 주파수를, 예를 들면 캔틸레버의 공진점에서 조금 벗어난 주파수로 하여 캔틸레버의 진동진폭의 변화에 기초하여 원자간력을 검출한다.

28. 发明公开

KR1020040066086A 미세 구조 형성 방법 失效
标题翻译：微结构形成方法
公开(公告)号：KR1020040066086A
公开(公告)日：2004-07-23
申请号：KR1020047001570
申请日：2002-11-21
申请人： 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
发明人： 크로스,그렘 , 디스폰트,미켈 , 뒤리그,어스,티. , 제노렛,그레고리 , 첼틀러,레토 , 베티거,피터
IPC分类号： G01Q60/38 , B82Y40/00
CPC分类号： G11C23/00 , G01Q70/06 , G01Q70/12 , G01Q70/16 , G11B9/1409 , G11B9/1418 , G11C13/025 , G11C2213/81 , Y10S977/732 , Y10S977/733
摘要： 미세 구조를 형성하는 방법이 설명된다. 본 방법은, 기판상에 시드 물질을 증착하는 단계와, 시드 물질로부터 나노튜브를 성장시키는 단계와, 나노튜브를 미세 구조 물질에 매립시키기 위하여 기판상에 미세 구조 물질을 증착하는 단계와, 미세 구조를 방출하기 위하여 기판을 분리하는 단계를 포함한다. 그 결과 생성되는 미세 구조는 몸체부와, 그 몸체부에 매립된 나노튜브를 포함한다.

29. 发明公开

KR1020040018279A 캔틸레버 어레이, 그 제조 방법 및 이를 이용한 주사형 프로브 현미경, 안내 및 회전 메카니즘을 구비하는 접동 장치, 센서, 호모다인 레이저 간섭 측정기, 시료의 광 여진 기능을 구비하는 레이저 도플러 간섭 측정기 및 캔틸레버의 여진 방법 失效
标题翻译：空值
公开(公告)号：KR1020040018279A
公开(公告)日：2004-03-02
申请号：KR1020037016658
申请日：2002-06-12
申请人： 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 카가쿠기쥬츠신코키코
发明人： 가와가쯔히데끼
IPC分类号： G01Q70/06 , B82Y35/00
CPC分类号： G01B9/02045 , G01B9/02002 , G01H9/004 , G01Q20/02 , G01Q70/06 , G01Q70/12
摘要： 본 발명은, 구성이 간단하고 시료의 표면의 정확한 검출이 가능한 캔틸레버 어레이, 그 제조 방법 및 이를 이용한 주사형 프로브 현미경, 안내·회전 메타니즘인 접동 장치, 센서, 호모다인 레이저 간섭 측정기, 시료의 광 여진 기능을 갖는 레이저 도플러 간섭 측정기 및 캔틸레버의 여진 방법을 제공한다.
캔틸레버 어레이는 시료 (1) 의 표면 (2) 상에서 접동하는 다수의 컴플라이언트 캔틸레버 (3) 를 포함한다.
摘要翻译：悬臂阵列包括在试样（1）的表面（2）上滑动的大量柔顺悬臂（3），导向和旋转机构的滑动装置，传感器，零差激光干涉仪和具有试样的激光多普勒干涉仪光激发功能。

30. 发明公开

KR1020170131273A 고종횡비 구조물에서 잔해물 제거 审中-实审
公开(公告)号：KR1020170131273A
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：KR1020170062373
申请日：2017-05-19
申请人： 레이브 엘엘씨
发明人： 로빈슨,토드에반 , 어루자,버나브제이. , 로슬러,케네쓰길버트 , 브린클리,데이빗 , 르클레어,제프리이.
IPC分类号： G03F9/00 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F1/72 , B08B7/0028 , G01N23/2252 , G01N23/2273 , G01N2021/95676 , G01N2223/6116 , G01N2223/652 , G01Q20/02 , G01Q60/42 , G01Q70/12 , G01Q80/00
摘要： 나노가공공정에서사용되는팁으로부터잔해물을수집하고분석하기위한잔해물수집및 계측시스템이개시되고, 상기시스템은방사선소스, 방사선검출기, 액추에이터및 제어기를포함한다. 상기방사선소스는상기입사방사선을상기팁 상으로지향시키도록동작가능하고, 상기방사선검출기는상기팁으로부터샘플방사선을수신하도록동작가능하고, 상기샘플방사선은입사방사선이직접상기팁에인가된결과생성된다. 상기제어기는액추에이터시스템과방사선검출기에동작가능하게결합되고, 상기제어기는상기샘플방사선에대한상기방사선검출기의제1 응답에기초하여제1 신호를수신하도록동작가능하고, 상기제어기는상기제1 신호에기초하여상기방사선소스와상기방사선검출기중 적어도하나와상기팁 사이의상대운동을수행시키도록동작가능하다.

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