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21. 发明公开

KR1020070050382A 진동형 캔틸레버 홀더 및 스캐닝 프로브 현미경 有权
标题翻译：振动式CAN VER VER HOLD。。。。。。。。。。。。。
公开(公告)号：KR1020070050382A
公开(公告)日：2007-05-15
申请号：KR1020060110783
申请日：2006-11-10
申请人： 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스
发明人： 시게노마사츠구 , 이요키마사토
IPC分类号： G01Q70/04 , G01N13/00
CPC分类号： G01Q60/32 , G01Q70/04
摘要： 본 발명은 선단부에 프로브를 가지며 그 기단에서만 주몸체부에 지지되고, 샘플에 대하여 캔틸레버를 고정하기 위한 진동형 캔틸레버 홀더에 관한 것이다. 상기 홀더는: 캔틸레버가 샘플에 대하여 소정의 각도로 경사져 있는 상태에서 주몸체부에 놓여져 고정되는 캔틸레버 부착 스탠드와; 캔틸레버 부착 스탠드에 고정되어 소정의 파형 신호에 따라 일정 상과 진폭으로 진동하게 하는 제 1 진동원과; 상기 제 1 진동원이 고정되는 홀더 주몸체와; 홀더 주몸체의 적어도 한 위치에 고정되어 있으며, 제 1 진동원으로부터 캔틸레버 부착 스탠드와 홀더 주몸체로 전달되어 편차 진동시키도록 진동을 발생시키는 제 2 진동원을 포함한다. 상기 홀더는 부가적인 진동을 상쇄시켜 캔틸레버만의 진동 특성에 따라 캔틸레버가 진동하게 한다.

22. 发明公开

KR20180043410A 스캐닝 프로브 현미경을 작동하는 방법 및 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20180043410A
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：KR20187011207
申请日：2010-12-01
申请人： BRUKER NANO INC
发明人： HU YAN , HU SHUIQING , SU CHANMIN , SHI JIAN , MA JI
IPC分类号： G01Q60/24 , G01B21/20 , G01Q60/00 , G01Q60/34
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q60/32 , H01R4/56 , H01R13/6315 , H01R2103/00
摘要： AFM 이미징의개선된모드(PFT(Peak Force Tapping) Mode)가힘을피드백변수로서사용하여, 모든기존의 AFM 동작모드에의해얻어질수 있는스캔속도를유지하면서, 팁과샘플의상호작용력을감소시킬수 있다. 샘플이미징및 기계적속성매핑이, 개선된분해능과높은샘플처리율을갖고이뤄지며, 여기서모드는다양한환경(가령, 기체, 유체, 및진공)을걸쳐작동한다. 전문사용자가이미징을모니터링할필요가없어짐으로써, 용이한사용이촉진된다.

23. 发明公开

KR1020180011363A 탐침형 원자 현미경 有权
标题翻译：扫描探针显微镜
公开(公告)号：KR1020180011363A
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：KR1020187002304
申请日：2009-11-13
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,슈이큉 , 수,찬민
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/34 , G01Q60/00
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q20/02 , G01Q60/24 , G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/34 , G01Q60/00
摘要： AFM 이미징(피크힘 테핑(PFT) 모드)의개선된모드 300은모든현존하는 AFM 작동모드들에의하여성취될수 있는스캔속도를유지하면서, 팁-샘플상호작용힘을감소시키기위하여가변적인피드백으로서힘을사용한다. 샘플이미징및 기계적특성매핑은개선된해상도및 높은샘플작업량에의하여이루어지며, 가스, 유체및 진공을포함하는가변적인환경에서작업가능한모드를제공한다.
摘要翻译：改进的AFM成像模式（峰值攻牙（PFT）模式）使用力作为反馈变量来减少针尖与样品之间的相互作用力，同时保持所有现有AFM操作模式可实现的扫描速度。样品成像和力学性能测试是通过提高分辨率和高样品通量来实现的，该模式可在各种环境下使用，包括气体，流体和真空。

24. 发明公开

KR1020170016005A 탐침형 원자 현미경 작동 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：操作扫描探针显微镜的方法和装置
公开(公告)号：KR1020170016005A
公开(公告)日：2017-02-10
申请号：KR1020177001022
申请日：2009-11-13
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,슈이큉 , 수,찬민
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/34 , G01Q60/00
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q20/02 , G01Q60/24 , G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/34 , G01Q60/00
摘要： AFM 이미징(피크힘 테핑(PFT) 모드)의개선된모드 300은모든현존하는 AFM 작동모드들에의하여성취될수 있는스캔속도를유지하면서, 팁-샘플상호작용힘을감소시키기위하여가변적인피드백으로서힘을사용한다. 샘플이미징및 기계적특성매핑은개선된해상도및 높은샘플작업량에의하여이루어지며, 가스, 유체및 진공을포함하는가변적인환경에서작업가능한모드를제공한다.
摘要翻译： AFM成像（峰值力攻丝（PFT）模式）的改进模式使用力作为反馈变量来减少尖端 - 样本相互作用力，同时保持所有现有AFM操作模式可实现的扫描速度。通过改进的分辨率和高的样品通量实现样品成像和力学性能测绘，该模式可以在不同的环境中工作，包括气态，流体和真空。

25. 发明公开

KR1020150108513A 절대 변위 센서를 이용한 광학식 원자현미경 有权
标题翻译：光学原子力显微镜使用绝对位移传感器
公开(公告)号：KR1020150108513A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：KR1020140031363
申请日：2014-03-18
申请人： 광주과학기술원
发明人： 박기환 , 정지성 , 조준현 , 윤여민
IPC分类号： G01Q60/24 , G02B21/00
CPC分类号： G02B21/362 , G01Q10/04 , G01Q20/02 , G01Q60/32
摘要： 실시예는 광학식 원자 현미경으로서, 샘플을 수평 방향으로 이동시키는 XY축 나노 스캐너, 상기 샘플의 표면을 켄틸레버로 스캐닝하는 Z축 나노 스캐너 헤드부, 상기 Z축 나노 스캐너 헤드부의 상대 변위를 측정하는 광센서, 상기 Z축 나노 스캐너를 지지하는 프레임 및 상기 Z축 나노 스캐너의 일측에 마련된 나노 스캐너 헤드부의 절대 변위를 측정하는 절대 변위 센서를 포함하고, 상기 Z축 나노 스캐너 헤드부의 변위 측정은 측정하고자 하는 샘플 표면 형상이 가지는 높이에 따라 상기 광센서 또는 상기 절대 변위 센서로 수행된다. 따라서, 원자현미경의 광센서 외에 추가적으로 스트레인 게이지 센서를 이용하여 Z축 나노스캐너의 절대 변위를 측정함으로써, 기존의 컨트롤 제어 출력값을 이용하여 형상 정보를 얻는 경우에 발생되는 Z축 나노 스캐너의 비선형성으로 인한 측정 에러를 제거하여, 보다 정확한 형상 정보를 얻을 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种光学扫描探针显微镜，其包括：XY轴纳米扫描器沿水平方向传送样品; Z轴纳米镜头部用悬臂扫描样品表面; 测量Z轴纳米镜头部的相对位移的光学传感器; 支持Z轴纳米镜的框架; 以及绝对位移传感器，其测量设置在Z轴纳米镜一侧的纳米头部的绝对位移。 Z轴纳米头部的位移测量由光学传感器或绝对位移传感器根据要测量的样品的表面形状的高度进行。因此，除了扫描探针显微镜的光学传感器之外，通过另外使用应变计传感器来测量Z轴纳米扫描仪的绝对位移，还可以通过除去非轴的测量误差来获得更精确的配置信息通过使用现有的控制控制输出值来获取配置信息时产生的Z轴纳米扫描仪的线性度。

26. 发明授权

KR101382000B1 비틀림 공진 모드에서 전기적 성질을 측정하기 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于测量扭转谐振模式下电气特性的方法和装置
公开(公告)号：KR101382000B1
公开(公告)日：2014-04-04
申请号：KR1020127020787
申请日：2005-05-21
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 후앙,린 , 수,샨민
IPC分类号： G01R27/04 , G01R31/00 , G01Q10/04
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q10/065 , G01Q60/32 , G01Q60/40 , G01Q60/48
摘要： 바람직한 실시예는 SPM(Scanning Probe Microscope)을 동작시키는 방법 및 장치에 관한 것이며, 이는 SPM의 프로브를 상기 프로브의 비틀림 공진으로 진동시키는 단계와, 이와 동시에 이뤄지는, SPM의 프로브와 샘플 사이의 비틀림 공진 모드에 의해 제어되는 이격 거리에서, 전기적 성질, 가령 전류, 용량 임피던스 등을 측정하는 단계를 포함한다. SPM 동작의 설정-포인트를 유지하기 위해 비틀림 공진 피드백을 사용하는 동안, 상기 측정 단계가 이뤄지는 것이 바람직하다.

27. 发明公开

KR1020110086730A 탐침형 원자 현미경 작동 방법 및 장치 有权
标题翻译：操作扫描探针显微镜的方法和装置
公开(公告)号：KR1020110086730A
公开(公告)日：2011-07-29
申请号：KR1020117013543
申请日：2009-11-13
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,슈이큉 , 수,찬민
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/34
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q20/02 , G01Q60/24 , G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/34 , G01Q60/00
摘要： AFM 이미징(피크 힘 테핑(PFT) 모드)의 개선된 모드 300은 모든 현존하는 AFM 작동 모드들에 의하여 성취될 수 있는 스캔 속도를 유지하면서, 팁-샘플 상호작용 힘을 감소시키기 위하여 가변적인 피드백으로서 힘을 사용한다. 샘플 이미징 및 기계적 특성 매핑은 개선된 해상도 및 높은 샘플 작업량에 의하여 이루어지며, 가스, 유체 및 진공을 포함하는 가변적인 환경에서 작업 가능한 모드를 제공한다.
摘要翻译： AFM成像（峰值力攻丝（PFT）模式）的改进模式使用力作为反馈变量来减少尖端 - 样本相互作用力，同时保持所有现有AFM操作模式可实现的扫描速度。通过改进的分辨率和高的样品通量实现样品成像和力学性能测绘，该模式可以在不同的环境中工作，包括气态，流体和真空。

28. 发明公开

KR1020110050698A 주사형 프로브 현미경 有权
标题翻译：扫描型探针显微镜
公开(公告)号：KR1020110050698A
公开(公告)日：2011-05-16
申请号：KR1020117007172
申请日：2009-07-16
申请人： 도쿠리츠다이가쿠호징 가나자와다이가쿠
发明人： 후쿠마,타케시 , 미타니,유지
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q10/00
CPC分类号： G01Q60/32 , G01Q10/065 , G01Q10/00 , G01Q60/24
摘要： 탐침(探針/Probe)-시료간의 상호작용의 검출에 의해 고조파 성분의 발생을 회피하고, 고속이면서 안정된 주사형 프로브 현미경을 제공한다. 발진 회로(31)는, 여진 신호의 위상을 나타내는 여진 위상 신호를 생성한다. 여진 신호 생성 회로(33)는, 여진 위상 신호로부터 여진 신호를 생성한다. 복소 신호 생성 회로(35)는, 변위 신호로부터 복소 신호를 생성한다. 벡터 연산 회로(37)는, 복소 신호의 편각을 계산한다. 감산식 위상 비교기(39)는, 편각 및 여진 위상 신호의 위상 비교를 감산에 의해 진행한다. 프로브 본체와 시료의 상호작용량이 감산식 위상 비교기(39)를 이용하여 얻어진다. 감산식 위상 비교기(39)의 비교 결과가, 변위 신호와 여진 신호의 위상차로서 출력되어도 좋다. 또한, 루프 필터가 마련되고, 위상 록 루프가 형성되고, 프로브 본체의 공진 주파수 변화를 나타내는 주파수 신호가 구해져도 좋다.

29. 发明公开

KR1020100064347A 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법 및 이를 이용한 원자현미경 无效
标题翻译：基于流体阻力的表面分析测量的ATOM-MICROSCOPE
公开(公告)号：KR1020100064347A
公开(公告)日：2010-06-14
申请号：KR1020090119289
申请日：2009-12-03
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김성진 , 김태영 , 김동권
IPC分类号： G01Q60/24 , G01B13/22 , G01Q60/38
CPC分类号： G01Q60/32 , G01B13/22 , G01Q60/42 , Y10S977/849
摘要： PURPOSE: A surface analysis method of measurement based on flow resistance of fluid and an atomic force microscope using the same are provided to enable a user to easily and simply obtain topography of a sample. CONSTITUTION: A driver(140) receives a signal of compression sensor. The driver moves a stage which sample is placed in XYZ direction to operate adjustment and operate scanning interval between end part which a fluid is sprayed form a nozzle and surface of a sample. A output unit(150) displays the operation value of the driver as a brightness on a computer monitor. The output unit obtains shape of surface of the sample, roughness of a part, cross sectional view, three dimensional diagram, and all kinds of statistics.
摘要翻译：目的：提供基于流体的流动阻力的表面分析方法和使用其的原子力显微镜，以使用户能够容易且简单地获得样品的形貌。构成：驱动器（140）接收压缩传感器的信号。驾驶员移动样品放置在XYZ方向上的阶段以操作调节，并且在从喷嘴形成的流体的端部与样品的表面之间的扫描间隔中进行扫描。输出单元（150）在计算机监视器上显示作为亮度的驾驶员的操作值。输出单元获得样品表面的形状，零件的粗糙度，横截面图，三维图和各种统计数据。

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