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21. 发明公开

KR1020060077827A 내구성이 향상된 저방사 유리 失效
标题翻译：低辐射玻璃
公开(公告)号：KR1020060077827A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：KR1020040117798
申请日：2004-12-31
申请人： 주식회사 케이씨씨
发明人： 이시무 , 강현민 , 박성호 , 정영수
IPC分类号： C03C17/23
CPC分类号： C03C17/09 , C03C17/225 , C03C17/245 , C03C17/366
摘要： 본 발명은 내구성이 향상된 저방사 유리에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유리 기판 상에 제1유전체, 은층, 은보호층, 제2유전체, 최상부 보호층을 차례로 증착시키거나, 상기 은보호층과 제2유전체 사이에 제3유전체, 은층, 은보호층을 추가로 증착시켜 종래에 사용되던 저방사 유리의 내구성 문제를 해결함으로써 건축물의 외기에 접하는 창호에 사용되어 에너지 절감을 위한 내구성이 향상된 저방사 유리에 관한 것이다.

내구성, 저방사 유리, 유전체, 은층, 은보호층

22. 发明授权

KR100544407B1 플라즈마 디스플레이 보호막 형성장치 및 보호막 형성방법 有权
标题翻译：用于等离子体显示的保护膜形成装置和保护膜形成方法
公开(公告)号：KR100544407B1
公开(公告)日：2006-01-23
申请号：KR1020010064594
申请日：2001-10-19
申请人： 가부시키가이샤 알박
发明人： 구라우치도시하루 , 하코모리무네토 , 우치다가즈야 , 마스다유키오 , 오카다도시히로 , 이케다히로토 , 오리이유이치 , 이이지마에이이치
IPC分类号： C23C14/30 , H01J9/02 , H01J11/40
CPC分类号： C03C17/245 , C03C2217/228 , C03C2218/151 , C03C2218/152
摘要： 증발포인트를, 기판의 이동방향에 대하여, 직각방향으로 복수열 배치하는 것, 또한 기판을 가열하는 히터를 복수개 분할하여 설치함과 동시에, 각 히터에 가열온도 설정용 제어수단을 개별로 설치하는 것, 그리고 성막 존을 한정하기 위한 개구제어판에 냉각기구를 설치하는 것에 의해, 성막시에 있어서의 기판의 온도상승의 저감과, 기판의 온도분포의 차를 적게 할 수 있고, 큰 면적의 기판에 균일하게 성막함과 동시에, 온도상승에 따른 기판의 깨짐을 방지하는 것이다.
기판상에 보호막을 형성하는 성막실 내에, 기판반송기구, 상기 기판을 가열하는 히터, 증착재료를 충전한 링 하스, 상기 링 하스에 충전한 증착재료에 전자빔을 조사하여 증착재료를 증발시켜, 기판상에 증착시키는 전자빔 건을 각각 설치한 보호막 형성장치에 있어서, 상기 링 하스에 의한 증발포인트를 기판의 반송방향에 대하여 직각방향으로 복수열 배치한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 보호막 형성장치이다.

23. 发明公开

KR1020050103233A 중간 굴절률의 광학 층을 제조하기 위한 증착 물질 失效
标题翻译：用于生产平均反射光学层的蒸发材料
公开(公告)号：KR1020050103233A
公开(公告)日：2005-10-27
申请号：KR1020057015343
申请日：2004-01-28
申请人： 메르크 파텐트 게엠베하
发明人： 프리츠마틴 , 돔브로브스키라이너 , 안테스우웨
IPC分类号： C04B35/117 , C03C17/245 , C04B35/50 , G02B1/10
CPC分类号： G02B1/14 , C03C17/245 , C03C2217/214 , C03C2217/228 , C03C2217/23 , C04B35/44 , C04B35/64 , C04B2235/3224 , C04B2235/658 , C04B2235/6581 , C04B2235/663 , C04B2235/94 , C04B2235/9653 , C04B2235/9669 , C04B2235/9692 , C23C14/08 , G02B1/105
摘要： The invention relates to an evaporation material for producing average refractive optical layers which contain aluminium oxide and gadolinium oxide, dysprosium oxide and/or ytterbium oxide. The invention also relates to a method for the production and use thereof.
摘要翻译：本发明涉及一种用于生产含有氧化铝和氧化钆，氧化镝和/或氧化镱的平均折射光学层的蒸发材料。本发明还涉及其生产和使用的方法。

24. 发明公开

KR1020040095359A 투광성을 갖는 다공질 도전체 및 그의 제법 无效
标题翻译：一种具有透光性的多孔导体及其制造方法
公开(公告)号：KR1020040095359A
公开(公告)日：2004-11-12
申请号：KR1020047015616
申请日：2003-04-02
申请人： 내셔날 인스티튜트 오브 어드밴스드 인더스트리얼 사이언스 앤드 테크놀로지
发明人： 진,데쯔로 , 린,홍 , 야자와,데쯔오
IPC分类号： H01B5/14 , C03C17/22
CPC分类号： C03C17/245 , C03C11/00 , C03C2217/229 , C03C2217/23 , C03C2217/24 , C03C2218/152 , H01G9/2027 , H01J1/02 , H01J5/04 , H01J40/02 , H01L31/022466 , H01L31/1884 , Y02E10/542
摘要： 본 발명은 다공질 유리 및 그의 외면 및 세공 내면에 형성된 도전성 산화물 막을 포함하는 투광성을 갖는 다공질 도전체, 및 화학적 증착법, 스퍼터링법, 함침법, 다공질 유리 표면에 존재하는 실란올기를 유기 금속 화합물과 반응시킨 후에 그 반응 생성물을 공기 중에서 가열하여 산화시키는 방법, 또는 중합체 또는 아민기-함유 유기 금속 화합물과 막 원료를 혼합하여 기재에 도포한 후에 중합체 화합물 또는 유기 성분을 연소 제거하는 방법을 이용하는 것을 포함하는 다공질 도전체의 제조 방법을 제공한다.

25. 发明公开

KR1020010108181A 유리면을 위한 오염 방지 코팅 无效
标题翻译：用于玻璃表面的耐光涂层
公开(公告)号：KR1020010108181A
公开(公告)日：2001-12-07
申请号：KR1020017009978
申请日：1999-02-02
申请人： 카디날 씨지 컴퍼니
发明人： 크리스코아네테 , 본드밥 , 스타넥로저 , 파프게리 , 하티그클라우스
IPC分类号： C03C17/34
CPC分类号： C23C14/56 , C03C17/245 , C03C17/3417 , C03C17/36 , C03C17/3618 , C03C17/3626 , C03C17/3639 , C03C17/3642 , C03C17/366 , C03C17/3681 , C03C2217/213 , C03C2217/75 , C03C2217/77 , C03C2218/154 , C03C2218/365 , C23C14/10 , C23C14/3464 , C23C14/568
摘要： 차수코팅을갖는유리제품과기판의대향측면에코팅을도포하는방법이개시된다. 일실시예에있어서, 실리카를함유하는차수코팅(20)은유리의외부면에직접스퍼터링된다. 이차수코팅의외부면은사실상비다공성이지만불균일한표면을갖는다. 이차수코팅은피복된표면에가해진물이이를둘러싸게하여, 유리제품을세척하기가용이하게하고유리가보다오랫동안청정하게유지되는데에도움이되게한다. 본발명의한 방법에있어서, 유리시트의외부및 내부면이세척된다. 그후, 유리시트의내부면은적어도하나의유전체층, 적어도하나의금속층및 적어도하나의유전체층을연속하여스퍼터링함으로써반사코팅으로피복된다. 유리의외부면은실리카를판유리의외부면에직접스퍼터링함으로써차수코팅으로피복된다. 이와같이필요하다면, 유리가내부면이외부면의위에위치하는일정한배향상태를유지하면서동일한스퍼터링코팅장치를통과하는동일한과정중에내부면및 외부면모두가도포될수 있다.
摘要翻译：玻璃板具有带有水膜涂层的外表面。水涂层包括直接溅射在玻璃板外表面上的二氧化硅。水涂层具有基本上无孔的外表面，并且具有不规则的表面。水膜涂层用于将玻璃板的涂覆的外表面上的水的接触角降低到约25度以下，使得施加到玻璃板的涂覆的外表面上的水被层压。优选地，在玻璃板的内表面上也提供类似的涂层。

26. 发明授权

KR100188492B1 알칼리금속 확산 차단 층 失效
标题翻译：碱金属扩散阻挡层
公开(公告)号：KR100188492B1
公开(公告)日：1999-06-01
申请号：KR1019970003174
申请日：1997-01-31
申请人： 피피지 인더스트리즈 인코포레이티드
发明人： 핀리제임스제이 , 길러리에프하워드
IPC分类号： C03C13/02
CPC分类号： C03C17/36 , C03C17/245 , C03C17/3411 , C03C17/3417 , C03C17/3607 , C03C17/3642 , C03C17/3655 , C03C2217/212 , C03C2217/22 , C03C2217/23 , C03C2217/445 , C03C2217/477 , C03C2217/71 , C03C2217/94 , C03C2218/156
摘要： 본 발명은 180Å 미만의 두께에서 알칼리금속 이온 차단 층으로서 효과적인 산화티탄, 산화지르코늄 및 산화아연/산화주석의 무정형 금속 산화물 차단 층에 관한 것이다. 무정형 금속 산화물 차단 층은 층의 밀도가 결정밀도의 90% 이상인 경우 가장 효과적이다. 차단 층은 나트륨 이온 같은 알칼리금속 이온이 유리 기재로부터 매질, 예컨대 광호변성 셀의 전해질, 유리 표면과 접촉하는 액정 디스플레이 장치의 액체 물질내로 이동하지 못하도록 한다. 매질, 특히 전기전도성 금속 산화물 피막의 특성은 유리로부터 이동하는 나트륨 이온의 존재에 의해 열화되기 쉽다. 차단 층의 목적하는 밀도를 얻는 한가지 기법은 음극의 앞쪽과 뒷쪽에 차폐막을 제공하여 스퍼터링된 물질의 침착을 피복되는 표면에 통상 수직인 경로를 따라 이동하는 스퍼터링된 물질로 제한하는 것이다.

27. 发明授权

KR1019920004850B1 반사성 필름의 화학적 증착법 失效
标题翻译：化学气相沉积反射膜
公开(公告)号：KR1019920004850B1
公开(公告)日：1992-06-19
申请号：KR1019850005452
申请日：1985-07-29
申请人： 피이피이지이 인더스트리이즈 인코포레이티드
发明人： 조오지엘우드슬라이터
IPC分类号： C23C16/40
CPC分类号： C03C17/245 , B05C9/04 , C03C17/002 , C03C2217/211 , C03C2217/212 , C03C2218/152 , C23C16/545
摘要： 내용 없음.

28. 发明授权

KR101906656B1 단층 스마트 윈도우 有权
公开(公告)号：KR101906656B1
公开(公告)日：2018-10-10
申请号：KR1020150171163
申请日：2015-12-03
申请人： 아주대학교산학협력단
发明人： 고경현 , 최준오
IPC分类号： G02F1/01 , C03C17/23 , C03C17/22
CPC分类号： C03C17/245 , C03C2217/218 , C03C2217/23 , C03C2217/732 , C03C2218/154 , C23C14/08 , C23C14/083 , C23C14/3464
摘要： 본발명의단층스마트윈도우는기판및 상기기판위에형성되고, 바나듐산화물및 저반사물질의복합체로형성된단층코팅막을포함한다.

29. 发明公开

KR1020170086473A 산화물 소결체, 스퍼터링용 타겟, 및 그것을 이용하여 얻어지는 산화물 반도체 박막 审中-实审
标题翻译：氧化物烧结体，溅射靶和氧化物半导体薄膜
公开(公告)号：KR1020170086473A
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：KR1020177010405
申请日：2015-11-16
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
发明人： 니시무라에이이치로 , 나카야마도쿠유키 , 마츠무라후미히코
IPC分类号： C04B35/01 , C23C14/34 , C23C14/08 , C23C14/58 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/02565 , C03C17/245 , C03C2217/23 , C03C2218/156 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3286 , C04B2235/5445 , C04B2235/604 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6586 , C04B2235/72 , C04B2235/76 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C23C14/08 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/5806 , H01J37/3426 , H01L21/02422 , H01L21/02592 , H01L21/02631 , H01L21/02664 , H01L21/465 , H01L29/247 , H01L29/7869 , H01L21/02554
摘要： 본발명은, 스퍼터링법에의해산화물반도체박막으로한 경우에, 저캐리어농도, 고캐리어이동도를얻을수 있는산화물소결체, 및그것을이용한스퍼터링용타겟을제공한다. 이산화물소결체는, 인듐, 갈륨및 알루미늄을산화물로서함유한다. 갈륨의함유량이 Ga/(In+Ga) 원자수비로 0.15 이상 0.49 이하이고, 알루미늄의함유량이 Al/(In+Ga+Al) 원자수비로 0.0001 이상 0.25 미만이다. 이산화물소결체를스퍼터링용타겟으로서형성한결정질의산화물반도체박막은, 캐리어농도 4.0×10cm이하에서, 캐리어이동도 10 cmVsec이상을얻을수 있다.
摘要翻译：本发明提供一种氧化物烧结体以及使用该氧化物烧结体的溅射靶，所述氧化物烧结体能够在通过溅射法形成氧化物半导体薄膜时获得低载流子浓度和高载流子迁移率。氧化物烧结体含有铟，镓和铝作为氧化物。镓的含量以Ga /（In + Ga）原子比计为0.15以上且0.49以下，铝的含量以Al /（In + Ga + Al）计为0.0001以上且0.25以下的范围，通过使用氧化物烧结体作为溅射靶而形成的结晶氧化物半导体薄膜能够以4.0×10cm以下的载流子浓度获得10cmVsec以上的载流子迁移率。

30. 发明授权

KR101746245B1 박막 침착 방법 有权
标题翻译：薄膜沉积法
公开(公告)号：KR101746245B1
公开(公告)日：2017-06-12
申请号：KR1020127008329
申请日：2010-09-30
申请人： 쌩-고벵 글래스 프랑스
发明人： 카르샹코앙드리 , 뒤랑도안느 , 나도니콜라
IPC分类号： C03C17/00 , C03C17/245 , C23C14/58
CPC分类号： C03C17/002 , C03C17/245 , C03C2217/71 , C03C2218/154 , C03C2218/322 , C23C14/0635 , C23C14/0641 , C23C14/14 , C23C14/185 , C23C14/541 , C23C14/5813 , C23C14/5853 , Y10S977/755 , Y10S977/891 , Y10T428/24917
摘要： 본발명은물리적두께가 30 nm 이하인금속 M의산화물의하나이상의층으로표면의적어도일부분이코팅된기재를얻는방법에관한것으로, 상기산화물층은은의하나이상의층을포함하는층의스택에포함되지않는다. 상기방법은금속 M, 금속 M의질화물, 금속 M의탄화물또는금속 M의산소가화학량론적양 이하인산화물로부터선택된물질의하나이상의중간층을캐소드스퍼터링(cathodic sputtering)에의해침착시키고, 상기중간층이티타늄산화물을기재로하는층의위 또는아래에침착되지않고, 상기중간층의물리적두께가 30 nm 이하인단계; 및상기중간층의표면의적어도일부분을열 처리에의해산화시키고, 그동안상기중간층이산화성분위기, 특히공기와직접접촉되고, 상기기재의온도는열 처리동안 150℃를초과하지않는단계를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于获得所述表面涂覆的基材的至少一部分以一个或多个30nm或更小的金属M的氧化物层的物理厚度的方法，所述氧化物层包括层，其包括的所述至少一个层的叠层它没有。该方法包括通过一个金属M，金属M的氮化物，金属M uitan货物或金属氧的M为化学计量量的阴极溅射（阴极溅射）从不会比中间层的氧化物更选择的材料中的至少一个中间层上沉积为氧化钛其中中间层不沉积在基于第一层的层的上方或下方，并且中间层的物理厚度为30nm或更小; 和氧化至少通过热处理所述中间层，在此期间，中间层是在与氧化气氛直接接触的表面的一部分，特别是空气，所述基板的所述温度包括在热处理过程中的步骤不超过150℃。

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