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21. 发明公开

KR1020050116472A 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조방법 有权
标题翻译：用于化学机械抛光的胶体二氧化硅及其制备方法
公开(公告)号：KR1020050116472A
公开(公告)日：2005-12-13
申请号：KR1020040041498
申请日：2004-06-07
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 정수철 , 이승호 , 임형미 , 유대선 , 박종대 , 신영섭
IPC分类号： C01B33/14
CPC分类号： C01B33/14 , C01B33/148 , C09K3/14
摘要： 반도체 회로 배선용 금속 막에 대한 연마속도 및 연마선택비가 우수하며, 순도가 높을 뿐만 아니라, 저가로 제조될 수 있는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카 및 그 제조방법이 개시된다. 상기 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조 방법은 양이온 교환체에 염기성 실리카 졸을 통과시켜, 염기성 실리카 졸을 산성 실리카졸로 만드는 단계; 생성된 산성 실리카 졸을 수열 처리하는 단계; 및 수열 처리된 실리카 졸을 여과 및 정제하는 단계를 포함한다.

22. 发明公开

KR1019990011238A 자동차용 Distributor Motor의 Contactor 제조방법 无效
标题翻译：汽车分电机接触器的制造方法
公开(公告)号：KR1019990011238A
公开(公告)日：1999-02-18
申请号：KR1019970034253
申请日：1997-07-22
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
发明人： 염희남 , 이승호 , 백화선
IPC分类号： C04B35/52
摘要： 자동차용 Distributor Motor의 Contactor에 사용되는 원료인 탄소재료는 공유 결합성과 기본구조에서 오는 강한 이방성으로 인하여 난소결성 성질을 갖게 되어 점결제에 의존하지 않으면 소결체를 얻기가 어렵다. 그래서 본 발명의 목적은 rawcokes를 주원료로 사용하여 점결제를 사용하지 않고 소결체를 얻는 방법을 발명하는데 있다. 괴상인 raw cokes를 24∼48시간 자동유발에서 분쇄하면 raw cokes의 휘발분이 약 20% 가까이 급증되는데 이 휘발분을 구성하는 저분자 물질류가 점결제로서의 역할을 하게된다. 이렇게 처리한 raw cokes에 비저항값을 낮추기 위하여 흑연 분말을 10∼14wt%를 혼합하여 성형한 후 소결하여 자동차용 Distributor Motor의Contactor를 제조하는 방법을 발명하였다.
본 발명으로 제조한 자동차용 Distributor Motor의 Contactor는 점결제를 사용하지 않기 때문에 기존에 방법인 탄소재료와 점결제의 혼련 및 건조의 공정이 필요없으며, 승온속도도 10배이상 빨리하여 치밀한 소결체를 제조할 수 있는 특성을 갖고 있다.

23. 发明授权

KR100807195B1 검을 이용한 금속산화 미세분말 제조방법 失效
标题翻译：使用GUM的金属氧化物分钟的制造方法
公开(公告)号：KR100807195B1
公开(公告)日：2008-02-28
申请号：KR1020060103932
申请日：2006-10-25
申请人： (주)화인졸 , 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
发明人： 김대성 , 이승호 , 김남헌 , 김영인
IPC分类号： B22F9/24
摘要： A preparation method of fine metal oxide powder is provided to prepare an optimized fine metal oxide powder having reduced particle size by applying a solid phase method. A preparation method of fine metal oxide powder comprises the steps of: (a) adding a water-soluble metal salt as a raw material into an aqueous solution containing a water-soluble polymer polysaccharide to form a mixed aqueous solution such that a weight ratio of the water-soluble polymer polysaccharide to the water-soluble metal salt is 0.01 to 5%; (b) drying the mixed aqueous solution obtained in the step(a) to remove water from the mixed aqueous solution; and (c) firing the mixed aqueous solution dried in the step(b) to obtain a crystal of the metal salt, wherein the water-soluble metal salt is dysprosium, yttrium nitrate, cobalt nitrate, or aluminum nitrate. The water-soluble polymer polysaccharide is gum arabic, guar gum, xanthan gum, locust bean gum, or tamarind gum.
摘要翻译：提供金属氧化物微粉末的制备方法，通过固相法制备粒径小的优化金属氧化物粉末。精细金属氧化物粉末的制备方法包括以下步骤：（a）将水溶性金属盐作为原料加入到含有水溶性聚合物多糖的水溶液中以形成混合水溶液，使得水溶性聚合物多糖与水溶性金属盐的比例为0.01〜5％（b）干燥步骤（a）中得到的混合水溶液以从混合水溶液中除去水; 和（c）在步骤（b）中焙烧混合的水溶液以获得金属盐的结晶，其中水溶性金属盐是镝，硝酸钇，硝酸钴或硝酸铝。水溶性聚合物多糖是阿拉伯树胶，瓜尔胶，黄原胶，刺槐豆胶或罗望子胶。

24. 发明授权

KR100697304B1 판상카올린-세리아 복합연마재 및 그 제조방법 失效
标题翻译：片状高岭土和氧化铈复合体研磨材料及其制造方法
公开(公告)号：KR100697304B1
公开(公告)日：2007-03-20
申请号：KR1020060017899
申请日：2006-02-23
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
发明人： 이승호 , 김대성 , 임형미 , 김환철 , 한종헌 , 유영철 , 석명일 , 권삼봉
IPC分类号： C09K3/14
摘要： Provided are a plate kaolin-ceria composite abrasive which is excellent in polishing velocity and polishing performance and is minimized in the precipitation due to the agglomeration of ceria particles, and a method for preparing the plate kaolin-ceria composite abrasive. The plate kaolin-ceria composite abrasive comprises 5-2,000 parts by weight of a plate kaolin having a major axis length of 5 micrometers or less; and 100 parts by weight of a ceria particle having a diameter of 1 micrometer or less which is mixed or ball-milled on the outer surface of the plate kaolin. Preferably the ceria is a ceria granule having a diameter of 1 micrometer or less prepared in the preparation process of a ceria abrasive or a rare earth element compound containing ceria.
摘要翻译：提供了抛光速度和抛光性能优异的板状高岭土 - 二氧化铈复合研磨剂，并且由于二氧化铈颗粒的聚集而使沉淀最小化，以及制备板状高岭土 - 二氧化铈复合研磨剂的方法。板状高岭土 - 二氧化铈复合研磨剂包含5〜2,000重量份的长轴长度为5微米以下的板状高岭土; 和100重量份直径为1微米或更小的二氧化铈颗粒，其在板高岭土的外表面上混合或球磨。优选地，二氧化铈是在二氧化铈研磨剂或含有二氧化铈的稀土元素化合物的制备方法中制备的直径为1微米或更小的二氧化铈颗粒。

25. 发明授权

KR100554500B1 바륨-스트론튬계 페라이트 입자의 제조방법 失效
标题翻译：铋锶颗粒的制备方法
公开(公告)号：KR100554500B1
公开(公告)日：2006-03-03
申请号：KR1020040046186
申请日：2004-06-21
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
发明人： 김태옥 , 이승호 , 남중희 , 조성률 , 정상진 , 김광진 , 안재용
IPC分类号： B22F9/24 , H01F1/10
摘要： 본 발명은 바륨 및 스트론튬 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 바륨-스트론튬계(MO·6Fe
2 O
3 : M=Ba,Sr) 페라이트 입자의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에서는 염화나트륨 및 염화칼륨 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 혼합물에 염화바륨 및 염화스트론튬 중 어느 하나 이상을 포함하는 염화물 또는 탄산바륨 및 탄산스트론튬 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 탄산염을 용융하여 용융염을 제조하고, 상기 용융염에 탄산바륨 및 탄산스트론튬 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 탄산염과 δ-FeOOH를 소정의 조성비로 혼합한 후, 열처리 소성 반응시켜 바륨-스트론튬계 페라이트 입자를 제조하였다.
그 결과, 자성체와 전자파 흡수체로서 첨가물이나 코팅재로 적합한 10 내지 100nm의 입자 크기 및 6 내지 10의 판상비를 지니며, 43 내지 56emu/g의 포화자화값 및 3,000 내지 4,050Oe의 보자력값을 지니는 바륨-스트론튬계 페라이트 입자를 제조할 수 있었다.
Ba, Sr, 페라이트, 전자파, 흡수체, Na, K, Cl, 용융염, δ-FeOOH, 전구체, 분말, 공침법, Fe

26. 发明公开

KR1020050034913A 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 화학적 기계적 연마용연마재 및 그 제조방법 有权
标题翻译：用于CMP浆料的二氧化硅/ CERIA /二氧化硅复合颗粒及其生产工艺
公开(公告)号：KR1020050034913A
公开(公告)日：2005-04-15
申请号：KR1020030070684
申请日：2003-10-10
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 정수철 , 이승호 , 임형미 , 유대선 , 고경범 , 박종대
IPC分类号： C09K3/14
CPC分类号： C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1445 , C09K3/1463
摘要： 본 발명은 실리카 코어 100 중량부에 대해 제 1쉘로서 세리아 입자가 5 내지 30 중량부의 비율로 코팅한 코어/쉘 입자를 100℃ 이상 350℃ 이하의 온도에서 수열처리하여 코어/쉘 입자의 외부 표면이 제 2쉘인 실리카로서 2 ㎚ 이하의 두께로 얇게 재코팅된 것을 특징으로 하는 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 CMP용 연마재 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 CMP용 연마재는 첫째 방법으로서는 ⅰ) 질산세륨 수용액에 암모니아수를 첨가하고 교반시켜 세리아 입자가 생성된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)에서 제조한 세리아 입자 현탁액에 콜로이달 실리카 슬러리를 첨가하여 교반시켜 세리아 입자가 실리카 코어의 표면에 코팅된 실리카-세리아 코팅 입자를 제조하는 단계; ⅲ) 교반이 끝난 상기 ⅱ)의 반응물을 세척액인 증류수를 사용하여 원심분리 및 필터링하여 슬러리 속에 포함된 과잉의 염을 세척하는 단계; ⅳ) 상기 ⅲ)에서 세척한 슬러리를 수열처리하여 실리카-세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
둘째 방법으로서는 ⅰ) 세리아 졸을 실리카 졸과 혼합하여 세리아 입자가 실리카 입자 표면에 정전기적으로 코팅된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)의 현탁액을 수열처리하여 세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
본 발명의 CMP용 연마재는 실리카 코어에 세리아 입자를 코팅하고, 그리고 수열처리에 의해 실리카 입자와 세리아 입자 간에 결합력이 향상하고, 실리카 표면에 세리아 입자 수와 결정성이 증가하며, 세리아 입자 표면을 실리카로 코팅하므로서 수열처리하지 않은 실리카-세리아 슬러리보다 연마율이 향상될 뿐만 아니라 스크래치가 발생되지 않고, 사용되는 원자재가 저렴하며, 단순한 제조공정으로 인하여 대량생산이 가능하다.
특히, 세리아 입자 표면에 실리카의 코팅으로 넓은 pH 영역에서도 상당히 안정하여 응집이 일어나지 않아 장기간 보관이 가능하고, 웨이퍼의 세척이 용이하며, 슬러리의 분산성이 우수하여 연마공정 동안 웨이퍼들 간 혹은 웨이퍼 내에 거의 동일한 연마율을 나타내어 사용 유효기간이 길다는 장점이 있다.

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