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1. 发明授权

KR100574225B1 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 화학적 기계적 연마용연마재 및 그 제조방법 有权
标题翻译：用于CMP浆料的二氧化硅/二氧化铈/二氧化硅复合颗粒及其制备方法
公开(公告)号：KR100574225B1
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：KR1020030070684
申请日：2003-10-10
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 정수철 , 이승호 , 임형미 , 유대선 , 고경범 , 박종대
IPC分类号： C09K3/14
CPC分类号： C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1445 , C09K3/1463
摘要： 본 발명은 실리카 코어 100 중량부에 대해 제 1쉘로서 세리아 입자가 5 내지 30 중량부의 비율로 코팅한 코어/쉘 입자를 100℃ 이상 350℃ 이하의 온도에서 수열처리하여 코어/쉘 입자의 외부 표면이 제 2쉘인 실리카로서 2 ㎚ 이하의 두께로 얇게 재코팅된 것을 특징으로 하는 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 CMP용 연마재 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 CMP용 연마재는 첫째 방법으로서는 ⅰ) 질산세륨 수용액에 암모니아수를 첨가하고 교반시켜 세리아 입자가 생성된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)에서 제조한 세리아 입자 현탁액에 콜로이달 실리카 슬러리를 첨가하여 교반시켜 세리아 입자가 실리카 코어의 표면에 코팅된 실리카-세리아 코팅 입자를 제조하는 단계; ⅲ) 교반이 끝난 상기 ⅱ)의 반응물을 세척액인 증류수를 사용하여 원심분리 및 필터링하여 슬러리 속에 포함된 과잉의 염을 세척하는 단계; ⅳ) 상기 ⅲ)에서 세척한 슬러리를 수열처리하여 실리카-세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
둘째 방법으로서는 ⅰ) 세리아 졸을 실리카 졸과 혼합하여 세리아 입자가 실리카 입자 표면에 정전기적으로 코팅된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)의 현탁액을 수열처리하여 세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
본 발명의 CMP용 연마재는 실리카 코어에 세리아 입자를 코팅하고, 그리고 수열처리에 의해 실리카 입자와 세리아 입자 간에 결합력이 향상하고, 실리카 표면에 세리아 입자 수와 결정성이 증가하며, 세리아 입자 표면을 실리카로 코팅하므로서 수열처리하지 않은 실리카-세리아 슬러리보다 연마율이 향상될 뿐만 아니라 스크래치가 발생되지 않고, 사용되는 원자재가 저렴하며, 단순한 제조공정으로 인하여 대량생산이 가능하다.
특히, 세리아 입자 표면에 실리카의 코팅으로 넓은 pH 영역에서도 상당히 안정하여 응집이 일어나지 않아 장기간 보관이 가능하고, 웨이퍼의 세척이 용이하며, 슬러리의 분산성이 우수하여 연마공정 동안 웨이퍼들 간 혹은 웨이퍼 내에 거의 동일한 연마율을 나타내어 사용 유효기간이 길다는 장점이 있다.
실리카, 코어, 세리아, 혼합, 쉘, 코팅, CMP용, 연마재, 수열처리, 세륨염

2. 发明授权

KR100613147B1 표면 코팅층을 포함하는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조방법 有权
标题翻译：具有用于化学机械抛光的表面涂层的胶体二氧化硅的制造方法
公开(公告)号：KR100613147B1
公开(公告)日：2006-08-17
申请号：KR1020040041496
申请日：2004-06-07
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 정수철 , 이승호 , 임형미 , 유대선 , 박종대 , 신영섭
IPC分类号： C01B33/14
摘要： 반도체 회로 배선용 금속막에 대한 연마속도 및 연마선택비가 우수하며, 순도가 높을 뿐만 아니라, 저가로 제조될 수 있는, 표면 코팅층을 포함하는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카 및 그 제조방법이 개시된다. 상기 콜로이달 실리카의 제조 방법은 양이온 교환체에 염기성 실리카 졸을 통과시켜, 염기성 실리카 졸에 포함된 금속이온을 제거하는 단계; 금속 이온이 제거된 실리카 졸에 가수분해 촉매 및 알코올 화합물을 첨가하고 가열하는 단계; 상기 가열된 실리카 졸 반응물에 실리콘 알콕사이드와 알코올 화합물의 혼합액을 첨가하는 단계; 및 상기 혼합액이 첨가된 반응액을 숙성(aging)시켜, 상기 금속 이온이 제거된 실리카 졸 시드(seed)에 실리콘 알콕사이드 가수분해 생성물을 코팅하는 단계를 포함한다. 또한 상기 콜로이달 실리카는 실리카 입자; 및 상기 실리카 입자의 표면에 코팅되어 있으며, 실리콘 알콕사이드 가수분해 생성물로 이루어진 표면 코팅층을 포함한다.
콜로이달 실리카, TEOS, 표면 코팅, 가수분해, 고순도, 반도체, 금속막, 연마

3. 发明授权

KR100613142B1 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조방법 有权
标题翻译：用于化学机械抛光的胶体二氧化硅的制备方法
公开(公告)号：KR100613142B1
公开(公告)日：2006-08-17
申请号：KR1020040041498
申请日：2004-06-07
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 정수철 , 이승호 , 임형미 , 유대선 , 박종대 , 신영섭
IPC分类号： C01B33/14
摘要： 반도체 회로 배선용 금속 막에 대한 연마속도 및 연마선택비가 우수하며, 순도가 높을 뿐만 아니라, 저가로 제조될 수 있는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카 및 그 제조방법이 개시된다. 상기 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조 방법은 양이온 교환체에 염기성 실리카 졸을 통과시켜, 염기성 실리카 졸을 산성 실리카졸로 만드는 단계; 생성된 산성 실리카 졸을 수열 처리하는 단계; 및 수열 처리된 실리카 졸을 여과 및 정제하는 단계를 포함한다.
콜로이달 실리카, 수열 처리, 양이온 교환체, 고순도, 구리막, 연마속도

4. 发明公开

KR1020050116470A 표면 코팅층을 포함하는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조방법 有权
标题翻译：具有表面涂层的胶体二氧化硅，用于化学机械抛光及其制造方法
公开(公告)号：KR1020050116470A
公开(公告)日：2005-12-13
申请号：KR1020040041496
申请日：2004-06-07
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 정수철 , 이승호 , 임형미 , 유대선 , 박종대 , 신영섭
IPC分类号： C01B33/14
CPC分类号： C01B33/14 , C09K3/14
摘要： 반도체 회로 배선용 금속막에 대한 연마속도 및 연마선택비가 우수하며, 순도가 높을 뿐만 아니라, 저가로 제조될 수 있는, 표면 코팅층을 포함하는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카 및 그 제조방법이 개시된다. 상기 콜로이달 실리카의 제조 방법은 양이온 교환체에 염기성 실리카 졸을 통과시켜, 염기성 실리카 졸에 포함된 금속이온을 제거하는 단계; 금속 이온이 제거된 실리카 졸에 가수분해 촉매 및 알코올 화합물을 첨가하고 가열하는 단계; 상기 가열된 실리카 졸 반응물에 실리콘 알콕사이드와 알코올 화합물의 혼합액을 첨가하는 단계; 및 상기 혼합액이 첨가된 반응액을 숙성(aging)시켜, 상기 금속 이온이 제거된 실리카 졸 시드(seed)에 실리콘 알콕사이드 가수분해 생성물을 코팅하는 단계를 포함한다. 또한 상기 콜로이달 실리카는 실리카 입자; 및 상기 실리카 입자의 표면에 코팅되어 있으며, 실리콘 알콕사이드 가수분해 생성물로 이루어진 표면 코팅층을 포함한다.

5. 发明公开

KR1020050116472A 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조방법 有权
标题翻译：用于化学机械抛光的胶体二氧化硅及其制备方法
公开(公告)号：KR1020050116472A
公开(公告)日：2005-12-13
申请号：KR1020040041498
申请日：2004-06-07
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 정수철 , 이승호 , 임형미 , 유대선 , 박종대 , 신영섭
IPC分类号： C01B33/14
CPC分类号： C01B33/14 , C01B33/148 , C09K3/14
摘要： 반도체 회로 배선용 금속 막에 대한 연마속도 및 연마선택비가 우수하며, 순도가 높을 뿐만 아니라, 저가로 제조될 수 있는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카 및 그 제조방법이 개시된다. 상기 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조 방법은 양이온 교환체에 염기성 실리카 졸을 통과시켜, 염기성 실리카 졸을 산성 실리카졸로 만드는 단계; 생성된 산성 실리카 졸을 수열 처리하는 단계; 및 수열 처리된 실리카 졸을 여과 및 정제하는 단계를 포함한다.

6. 发明公开

KR1020050034913A 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 화학적 기계적 연마용연마재 및 그 제조방법 有权
标题翻译：用于CMP浆料的二氧化硅/ CERIA /二氧化硅复合颗粒及其生产工艺
公开(公告)号：KR1020050034913A
公开(公告)日：2005-04-15
申请号：KR1020030070684
申请日：2003-10-10
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 정수철 , 이승호 , 임형미 , 유대선 , 고경범 , 박종대
IPC分类号： C09K3/14
CPC分类号： C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1445 , C09K3/1463
摘要： 본 발명은 실리카 코어 100 중량부에 대해 제 1쉘로서 세리아 입자가 5 내지 30 중량부의 비율로 코팅한 코어/쉘 입자를 100℃ 이상 350℃ 이하의 온도에서 수열처리하여 코어/쉘 입자의 외부 표면이 제 2쉘인 실리카로서 2 ㎚ 이하의 두께로 얇게 재코팅된 것을 특징으로 하는 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 CMP용 연마재 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 CMP용 연마재는 첫째 방법으로서는 ⅰ) 질산세륨 수용액에 암모니아수를 첨가하고 교반시켜 세리아 입자가 생성된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)에서 제조한 세리아 입자 현탁액에 콜로이달 실리카 슬러리를 첨가하여 교반시켜 세리아 입자가 실리카 코어의 표면에 코팅된 실리카-세리아 코팅 입자를 제조하는 단계; ⅲ) 교반이 끝난 상기 ⅱ)의 반응물을 세척액인 증류수를 사용하여 원심분리 및 필터링하여 슬러리 속에 포함된 과잉의 염을 세척하는 단계; ⅳ) 상기 ⅲ)에서 세척한 슬러리를 수열처리하여 실리카-세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
둘째 방법으로서는 ⅰ) 세리아 졸을 실리카 졸과 혼합하여 세리아 입자가 실리카 입자 표면에 정전기적으로 코팅된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)의 현탁액을 수열처리하여 세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
본 발명의 CMP용 연마재는 실리카 코어에 세리아 입자를 코팅하고, 그리고 수열처리에 의해 실리카 입자와 세리아 입자 간에 결합력이 향상하고, 실리카 표면에 세리아 입자 수와 결정성이 증가하며, 세리아 입자 표면을 실리카로 코팅하므로서 수열처리하지 않은 실리카-세리아 슬러리보다 연마율이 향상될 뿐만 아니라 스크래치가 발생되지 않고, 사용되는 원자재가 저렴하며, 단순한 제조공정으로 인하여 대량생산이 가능하다.
특히, 세리아 입자 표면에 실리카의 코팅으로 넓은 pH 영역에서도 상당히 안정하여 응집이 일어나지 않아 장기간 보관이 가능하고, 웨이퍼의 세척이 용이하며, 슬러리의 분산성이 우수하여 연마공정 동안 웨이퍼들 간 혹은 웨이퍼 내에 거의 동일한 연마율을 나타내어 사용 유효기간이 길다는 장점이 있다.

7. 发明授权

KR101510658B1 염료감응 태양전지 및 그 제조방법 有权
标题翻译： 염료감응전지및그제조방법
公开(公告)号：KR101510658B1
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：KR1020080025960
申请日：2008-03-20
申请人： 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 손정현 , 이상규 , 주한복 , 박종대
IPC分类号： H01L31/04 , H01L31/18
CPC分类号： H01G9/2027 , H01G9/2031 , Y02E10/542
摘要： 본 발명은 염료감응 태양전지 및 그 제조방법에 관한 것으로 특히 가혹한 외부환경에 노출되어져 운용되는 태양전지에서 전해질이 쉽게 기밀부위로부터 쉽게 휘발하는 것을 막아 내구수명을 연장할 수 있고, 수분과 가스에 대한 밀봉효과가 뛰어나며, 낮은 온도에서 가공이 용이하며, 외부충격이나 손상에 대하여 저항성을 가지고, 높은 강도를 가지는 기밀을 제공하여 태양전지의 수명을 연장하고 내구성을 높일 수 있는 효과를 얻을 수 있는 염료감응 태양전지 및 그 제조방법에 관한 것이다.
유리 프릿, 태양전지, 염료감응
摘要翻译：染料敏化太阳能电池及其制造方法技术领域本发明涉及一种染料敏化太阳能电池及其制造方法，特别涉及以下染料敏化太阳能电池及其制造方法，其中染料敏化太阳能电池能够防止太阳能电池中的电解质暴露于不利的外部环境和在密封部分挥发的环境中运行，从而延长其耐用寿命，并且对水和气体具有优异的密封效果，对外部冲击或损坏具有良好的耐受性和良好的密封性，太阳能电池也可以在低的情况下容易地机械加工温度，从而可以延长太阳能电池的使用寿命并且可以提高耐久性。

8. 发明公开

KR1020150047104A 금속막 연마 슬러리 조성물 및 이를 이용한 금속막 연마 시 발생하는 스크래치의 감소 방법 审中-实审
标题翻译：金属层抛光浆料组合物及使用其的抛光金属层中生成的刮板的减少方法
公开(公告)号：KR1020150047104A
公开(公告)日：2015-05-04
申请号：KR1020140142382
申请日：2014-10-21
申请人： 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 박창용 , 박종대 , 신종철 , 김재현 , 이구화 , 박민성
IPC分类号： C09K3/14 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/3212 , C09G1/02 , C09K3/1463 , H01L21/7684
摘要： 반도체집적회로의제조에있어서, 금속막의연마시 상승하는온도를, 마찰력을감소시킴으로써낮추며, 슬러리의열적안정성을개선하여, 고온에의한슬러리의입도증가를억제함으로써스크래치를감소시키는금속막연마슬러리조성물및 이를이용한금속막연마시 발생하는스크래치의감소방법이개시된다. 상기금속막연마시 발생하는스크래치의감소방법은, 질소원자를포함하는유기용매및 글리콜계유기용매를포함하는금속막연마슬러리조성물을금속막이형성된기판과접촉시키는단계; 및연마패드를상기기판과접촉시키고, 상기연마패드를기판에대해이동시켜, 상기기판으로부터상기금속막의적어도일부를제거하는단계를포함한다.
摘要翻译：公开了一种金属膜抛光浆料组合物，用于通过减少摩擦力来降低制备半导体集成电路中的划痕，降低其温度，当抛光金属膜时增加，并提高浆料的热稳定性，从而抑制由于高温而使浆料粒径增大; 以及通过使用金属膜抛光浆料组合物来减少在研磨金属膜时产生的划痕的方法。用于减少抛光金属膜时产生的划伤的方法包括以下步骤：使包含含有氮原子的有机溶剂和二醇类有机溶剂的金属膜抛光浆料组合物与具有金属的基材接触在其上形成的膜; 以及通过使抛光垫与基板接触并相对于基板移动抛光垫，从基板上去除金属膜的至少一部分。

9. 发明授权

KR101464305B1 게터 페이스트 조성물 有权
标题翻译：食品组合物
公开(公告)号：KR101464305B1
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：KR1020070092017
申请日：2007-09-11
申请人： 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 손정현 , 이상규 , 주한복 , 박종대
IPC分类号： C03C8/16 , C03C8/08 , C03C8/04 , C03C8/24
CPC分类号： H01J7/183 , H01L51/5246 , H01L51/5259
摘要： 본 발명은 게터 페이스트 조성물에 관한 것으로, 특히 낮은 치밀화 온도에서 치밀화가 촉진되어 열에 약한 소자에 적용하기에 적합하며, 부착력이 우수하고, 수분과 가스에 대한 조절효과가 뛰어나며, 스크린 인쇄가 가능하여 생산성을 향상시킬 수 있는 게터 페이스트 조성물에 관한 것이다.
게터, 유리 프릿, OLED, 수분조절, 실링, 페이스트

10. 发明授权

KR101376319B1 디스플레이 소자의 실링방법 有权
标题翻译：一种用于显示元件的密封方法
公开(公告)号：KR101376319B1
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：KR1020070075459
申请日：2007-07-27
申请人： 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 손정현 , 주한복 , 이상규 , 박종대
IPC分类号： H05B33/04
CPC分类号： H01L51/525 , H01L51/5246
摘要： 본발명은디스플레이소자의실링방법에관한것으로서, 특히발광층및 전극의전면을광경화형광투명성조성물의경화체로보호하여상부실링부재와하부실링부재의발광체가접촉하여불량이발생하는것을원천적으로막을수 있으며, 또한디스플레이소자실링의작업성을향상시키고, 우수한내습성및 접착강도를가지며, Top emission 방식의발광을가능하게하여디스플레이소자의개구율을향상시킬수 있어디스플레이소자의두께를더욱얇게하고, 대향화하는데크게이바지할 수있는디스플레이소자의실링방법에관한것이다.

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