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1. 发明授权

KR100574225B1 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 화학적 기계적 연마용연마재 및 그 제조방법 有权
标题翻译：用于CMP浆料的二氧化硅/二氧化铈/二氧化硅复合颗粒及其制备方法
公开(公告)号：KR100574225B1
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：KR1020030070684
申请日：2003-10-10
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 정수철 , 이승호 , 임형미 , 유대선 , 고경범 , 박종대
IPC分类号： C09K3/14
CPC分类号： C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1445 , C09K3/1463
摘要： 본 발명은 실리카 코어 100 중량부에 대해 제 1쉘로서 세리아 입자가 5 내지 30 중량부의 비율로 코팅한 코어/쉘 입자를 100℃ 이상 350℃ 이하의 온도에서 수열처리하여 코어/쉘 입자의 외부 표면이 제 2쉘인 실리카로서 2 ㎚ 이하의 두께로 얇게 재코팅된 것을 특징으로 하는 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 CMP용 연마재 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 CMP용 연마재는 첫째 방법으로서는 ⅰ) 질산세륨 수용액에 암모니아수를 첨가하고 교반시켜 세리아 입자가 생성된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)에서 제조한 세리아 입자 현탁액에 콜로이달 실리카 슬러리를 첨가하여 교반시켜 세리아 입자가 실리카 코어의 표면에 코팅된 실리카-세리아 코팅 입자를 제조하는 단계; ⅲ) 교반이 끝난 상기 ⅱ)의 반응물을 세척액인 증류수를 사용하여 원심분리 및 필터링하여 슬러리 속에 포함된 과잉의 염을 세척하는 단계; ⅳ) 상기 ⅲ)에서 세척한 슬러리를 수열처리하여 실리카-세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
둘째 방법으로서는 ⅰ) 세리아 졸을 실리카 졸과 혼합하여 세리아 입자가 실리카 입자 표면에 정전기적으로 코팅된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)의 현탁액을 수열처리하여 세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
본 발명의 CMP용 연마재는 실리카 코어에 세리아 입자를 코팅하고, 그리고 수열처리에 의해 실리카 입자와 세리아 입자 간에 결합력이 향상하고, 실리카 표면에 세리아 입자 수와 결정성이 증가하며, 세리아 입자 표면을 실리카로 코팅하므로서 수열처리하지 않은 실리카-세리아 슬러리보다 연마율이 향상될 뿐만 아니라 스크래치가 발생되지 않고, 사용되는 원자재가 저렴하며, 단순한 제조공정으로 인하여 대량생산이 가능하다.
특히, 세리아 입자 표면에 실리카의 코팅으로 넓은 pH 영역에서도 상당히 안정하여 응집이 일어나지 않아 장기간 보관이 가능하고, 웨이퍼의 세척이 용이하며, 슬러리의 분산성이 우수하여 연마공정 동안 웨이퍼들 간 혹은 웨이퍼 내에 거의 동일한 연마율을 나타내어 사용 유효기간이 길다는 장점이 있다.
실리카, 코어, 세리아, 혼합, 쉘, 코팅, CMP용, 연마재, 수열처리, 세륨염

2. 发明公开

KR1020050034913A 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 화학적 기계적 연마용연마재 및 그 제조방법 有权
标题翻译：用于CMP浆料的二氧化硅/ CERIA /二氧化硅复合颗粒及其生产工艺
公开(公告)号：KR1020050034913A
公开(公告)日：2005-04-15
申请号：KR1020030070684
申请日：2003-10-10
申请人： 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 정수철 , 이승호 , 임형미 , 유대선 , 고경범 , 박종대
IPC分类号： C09K3/14
CPC分类号： C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1445 , C09K3/1463
摘要： 본 발명은 실리카 코어 100 중량부에 대해 제 1쉘로서 세리아 입자가 5 내지 30 중량부의 비율로 코팅한 코어/쉘 입자를 100℃ 이상 350℃ 이하의 온도에서 수열처리하여 코어/쉘 입자의 외부 표면이 제 2쉘인 실리카로서 2 ㎚ 이하의 두께로 얇게 재코팅된 것을 특징으로 하는 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 CMP용 연마재 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 CMP용 연마재는 첫째 방법으로서는 ⅰ) 질산세륨 수용액에 암모니아수를 첨가하고 교반시켜 세리아 입자가 생성된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)에서 제조한 세리아 입자 현탁액에 콜로이달 실리카 슬러리를 첨가하여 교반시켜 세리아 입자가 실리카 코어의 표면에 코팅된 실리카-세리아 코팅 입자를 제조하는 단계; ⅲ) 교반이 끝난 상기 ⅱ)의 반응물을 세척액인 증류수를 사용하여 원심분리 및 필터링하여 슬러리 속에 포함된 과잉의 염을 세척하는 단계; ⅳ) 상기 ⅲ)에서 세척한 슬러리를 수열처리하여 실리카-세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
둘째 방법으로서는 ⅰ) 세리아 졸을 실리카 졸과 혼합하여 세리아 입자가 실리카 입자 표면에 정전기적으로 코팅된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)의 현탁액을 수열처리하여 세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
본 발명의 CMP용 연마재는 실리카 코어에 세리아 입자를 코팅하고, 그리고 수열처리에 의해 실리카 입자와 세리아 입자 간에 결합력이 향상하고, 실리카 표면에 세리아 입자 수와 결정성이 증가하며, 세리아 입자 표면을 실리카로 코팅하므로서 수열처리하지 않은 실리카-세리아 슬러리보다 연마율이 향상될 뿐만 아니라 스크래치가 발생되지 않고, 사용되는 원자재가 저렴하며, 단순한 제조공정으로 인하여 대량생산이 가능하다.
특히, 세리아 입자 표면에 실리카의 코팅으로 넓은 pH 영역에서도 상당히 안정하여 응집이 일어나지 않아 장기간 보관이 가능하고, 웨이퍼의 세척이 용이하며, 슬러리의 분산성이 우수하여 연마공정 동안 웨이퍼들 간 혹은 웨이퍼 내에 거의 동일한 연마율을 나타내어 사용 유효기간이 길다는 장점이 있다.

3. 发明公开

KR1020050092953A 광촉매를 포함하는 화학-기계적 연마 슬러리 조성물,연마패드, 이를 이용한 연마 장치 및 기판의 연마 방법 无效
标题翻译：包含光催化剂的化学机械抛光浆料组合物和抛光垫，抛光装置和使用其的抛光底物的方法
公开(公告)号：KR1020050092953A
公开(公告)日：2005-09-23
申请号：KR1020040018146
申请日：2004-03-17
申请人： 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 박종대 , 김동완 , 고경범 , 전홍명 , 김대환 , 안인석
IPC分类号： C09K3/14
摘要： 광촉매의 산화력을 화학-기계적 평탄화 공정에 적용시킨, 광촉매를 포함하는 화학-기계적 연마 슬러리 조성물, 연마패드, 이를 이용한 연마 장치 및 기판의 연마 방법이 개시된다. 상기 화학-기계적 연마 슬러리 조성물은 자외선(UV)광에 의해 광여기 현상을 일으켜, 에너지 밴드갭을 형성할 수 있는 광촉매 입자; 및 물을 포함하며, 상기 광촉매 입자는 아나타제 결정의 TiO
2 , 루타일 결정의 TiO
2 , ZnO, CdS, GeP, ZrO
2 , Si, Fe
2 O
3 , WO
3 , SnO
2 , 자외선광과의 반응성이 있는 유기 화합물 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택될 수 있다. 또한 상기 화학-기계적 연마 패드는 고분자 중합체 기재; 및 상기 고분자 중합체 기재에 분산, 함침되어 있는 광촉매 입자를 포함한다.

4. 发明授权

KR101072269B1 에쳔트를 포함하는 화학-기계적 연마 슬러리 조성물 有权
标题翻译：含蚀刻剂的化学机械抛光浆料组合物
公开(公告)号：KR101072269B1
公开(公告)日：2011-10-11
申请号：KR1020040021416
申请日：2004-03-30
申请人： 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 박종대 , 김동완 , 고경범 , 전홍명 , 김대환 , 안인석
IPC分类号： C09K3/14
摘要： 연마되는금속막을금속산화물의형태로효과적으로전환시킬수 있는에쳔트를포함하는화학-기계적연마슬러리조성물이개시된다. 상기화학-기계적연마슬러리조성물은 (a) 연마제; (b) 산화제; (c) FeCl, FeSO, EDTA-Fe, PDTA-Fe 및이들의혼합물로이루어진군으로부터선택되는철염; (d) HNO, HPO, 및 CHCOOH 산화촉진제를포함하는에쳔트성분; (e) 2개의카르복실기를가지는유기산; (e) 나프탈렌설포닉계고분자분산안정제; 및물을포함한다. 여기서, 상기철염의함량은전체슬러리조성물에대하여 0.0005 내지 0.01중량%, 바람직하게는 0.0005 내지 0.001중량%이고, 상기산화촉진제의함량은전체슬러리조성물에대하여 0.0001 내지 20중량%인것이바람직하다.

5. 发明公开

KR1020050096281A 에쳔트를 포함하는 화학-기계적 연마 슬러리 조성물 有权
标题翻译：化学机械抛光浆料组合物
公开(公告)号：KR1020050096281A
公开(公告)日：2005-10-06
申请号：KR1020040021416
申请日：2004-03-30
申请人： 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 박종대 , 김동완 , 고경범 , 전홍명 , 김대환 , 안인석
IPC分类号： C09K3/14
摘要： 연마되는 금속막을 금속 산화물의 형태로 효과적으로 전환시킬 수 있는 에쳔트를 포함하는 화학-기계적 연마 슬러리 조성물이 개시된다. 상기 화학-기계적 연마 슬러리 조성물은 (a) 연마제; (b) 산화제; (c) FeCl
3 , FeSO
4 , EDTA-Fe, PDTA-Fe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 철염; (d) HNO
3 , H
3 PO
4 , 및 CH
3 COOH 산화촉진제를 포함하는 에쳔트 성분; (e) 2개의 카르복실기를 가지는 유기산; (e) 나프탈렌설포닉계 고분자 분산안정제; 및 물을 포함한다. 여기서, 상기 철염의 함량은 전체 슬러리 조성물에 대하여 0.0005 내지 0.01중량%, 바람직하게는 0.0005 내지 0.001중량%이고, 상기 산화촉진제의 함량은 전체 슬러리 조성물에 대하여 0.0001 내지 20중량%인 것이 바람직하다.

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