专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

21. 发明公开

KR1020140118732A 박리 장치 有权
标题翻译：拆卸设备
公开(公告)号：KR1020140118732A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：KR1020140020538
申请日：2014-02-21
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에노미요시 , 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키
IPC分类号： H01L21/20
摘要： A work WK transferred from the outside is received by making a lift pin (361) protrude from the upper surface of a horizontal stage part (31) of a flat shape. The lift pin (361) is overlapped with a substrate SB and a blanket BL among the work WK adhered to the substrate SB and the blanket BL by a pattern, and also touches the lower surface of the blanket BL in the touchable region TR of an outside instead of an effective region AR having an effective pattern. The warpage of the work WK can be prevented by supporting the overlapping region of the substrate SB and the blanket BL. The concentration of a stress on a pattern in the effective region AR can be prevented.
摘要翻译：通过使升降销（361）从平坦形状的水平台部（31）的上表面突出而从外部转移的作业WK被接收。提升销（361）与衬底SB和毯子BL重叠，工件WK通过图案粘附到衬底SB和毯子BL上，并且还接触到可触及区域TR中的毯子BL的下表面而不是具有有效图案的有效区域AR。可以通过支撑衬底SB和毯子BL的重叠区域来防止工件WK的翘曲。可以防止有效区域AR中的图案上的应力集中。

22. 发明公开

KR1020130103373A 패턴 형성 방법 및 패턴 형성 장치 有权
标题翻译：图案形成方法和图案形成装置
公开(公告)号：KR1020130103373A
公开(公告)日：2013-09-23
申请号：KR1020130022748
申请日：2013-03-04
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 우에노히로유키 , 나카지마미요시 , 마스이치미키오
IPC分类号： B41M1/02
摘要： PURPOSE: A pattern formation method and a pattern forming device are provided to shorten a time from import of support element to patterning. CONSTITUTION: A pattern formation method comprises steps of: importing a plate to a patterning means; importing a support element dipping a coating layer to the pattering means imported with the plate; and forming a pattern layer on the support element by patterning the coating layer of the support element with the plate imported to the patterning means. A pattern forming device comprises: a patterning means forming a pattern layer on the support element by patterning a coating layer dipped by the support element with a plate; a plate import means importing the plate to the patterning means; and a support element import means importing the support element dipping the coating layer to the pattering means imported with the plate. [Reference numerals] (AA) Plate PP; (BB) Blanket BL; (CC) Substrate SB; (DD) Patterning →exfoliating plate; (EE) Transcribing → exfoliating substrate; (S11) Peeling the substrate off from the upper stage unit; (S3) Carrying the plate from the upper stage unit; (S4) Carrying the blanket from the lower stage unit; (S7) Peeling the substrate from the upper stage unit; (S8) Carrying the substrate from the upper stage unit
摘要翻译：目的：提供图案形成方法和图案形成装置，以缩短从支撑元件的导入到图案化的时间。构成：图案形成方法包括以下步骤：将板导入图案形成装置; 导入将涂层浸渍到用板进口的图案装置的支撑元件; 并且通过将导入到图案形成装置的板图案化支撑元件的涂层，在支撑元件上形成图案层。图案形成装置包括：图案形成装置，通过用板对由支撑元件浸渍的涂层图案化而在支撑元件上形成图案层; 板材进口装置将板材导入图案形成装置; 并且支撑元件导入装置导入将涂层浸入由板进口的图案装置的支撑元件。（附图标记）（AA）板PP; （BB）毯子BL; （CC）基材SB; （DD）图案→去角质板; （EE）转录→去角质底物; （S11）从上级单元剥离基板; （S3）从上级单元承载板; （S4）从下级单元携带毯子; （S7）从上级单元剥离基板; （S8）从上级单元携带基板

23. 发明公开

KR1020100108212A 도포 장치 및 도포 방법 失效
标题翻译：液体材料应用装置和液体材料应用方法
公开(公告)号：KR1020100108212A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：KR1020100022211
申请日：2010-03-12
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 마츠카츠요시 , 마스이치미키오 , 다카무라유키히로 , 가와고에마사후미 , 사가라슈이치 , 이토류스케 , 오에무네아키
IPC分类号： B05C5/02 , B05C11/10 , H01L21/027 , G03F7/16
CPC分类号： G03F7/16 , B05C5/02 , B05C11/1002 , G03F7/168 , H01L21/67017 , H01L21/6715
摘要： PURPOSE: A coating device and a method of controlling the discharge of inert gas are provided to reduce the usage amount of the inert gas for controlling the adsorption of the moisture and the oxidation of flowable materials. CONSTITUTION: A coating device(1) comprises the following: a substrate holding unit holding a substrate(9); an extruding unit extruding flowable materials to the main surface of a substrate(91); a moving unit moving the extruding unit to the horizontal main scanning direction; a cover unit including an inert gas ejection unit spraying inert gas to the flowable materials, and a jet surface(211) covering the main surface; and an ejection range controller.
摘要翻译：目的：提供一种涂覆装置和控制惰性气体排放的方法，以减少用于控制水分吸附和可流动材料氧化的惰性气体的使用量。构成：涂覆装置（1）包括：保持基板（9）的基板保持单元; 挤出单元将可流动材料挤出到基材（91）的主表面; 移动单元将挤出单元移动到水平主扫描方向; 包括向所述可流动材料喷射惰性气体的惰性气体喷射单元和覆盖所述主表面的喷射表面（211）的盖单元; 和喷射范围控制器。

24. 发明公开

KR1020100106910A 도포 장치 및 도포 방법 失效
标题翻译：涂装和涂装方法
公开(公告)号：KR1020100106910A
公开(公告)日：2010-10-04
申请号：KR1020100019496
申请日：2010-03-04
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 다카무라유키히로 , 마스이치미키오 , 마츠카츠요시 , 가와고에마사후미 , 사가라수이치 , 이토류스케 , 오에무네아키
IPC分类号： B05C5/02 , B05C11/10 , H01L21/027 , G03F7/16
CPC分类号： G03F7/16 , B05C5/02 , B05C11/1002 , B65G49/065 , G03F7/70716 , H01L21/6715
摘要： PURPOSE: A coating apparatus and a method are provided to stably perform a coating process using a nozzle printing device with a desired form when using a non-contacting supporter. CONSTITUTION: A coating apparatus(1) comprises the following: a nozzle(117) extruding flowable materials in a straight line rod shape to the gravity direction; plural liquid receivers(116aS, 116b) receiving the extruded flowable materials; a supporting unit(112a) supporting a substrate without contacting; a nozzle transport unit(115) moving the nozzle to a fixed direction on a virtual horizontal plane; an opposite side transport unit moving the nozzle or the substrate to the different direction to the nozzle transport unit; and a controller controlling the arrangement of the supporting unit and the liquid receivers.
摘要翻译：目的：提供一种涂布装置和方法，以在使用非接触支持者时使用具有所需形式的喷嘴印刷装置稳定地进行涂布处理。构成：涂布装置（1）包括：喷嘴（117），其沿着重力方向挤出直线棒状的可流动材料; 接收挤出的可流动材料的多个液体接收器（116a，116b）支撑单元（112a），其不接触地支撑基板; 喷嘴输送单元，将喷嘴沿虚拟水平面移动到固定方向; 相对侧传送单元使喷嘴或基板朝向喷嘴传送单元的不同方向移动; 以及控制支撑单元和液体接收器的布置的控制器。

25. 发明授权

KR100840482B1 도포 장치 및 도포 방법 失效
标题翻译：应用设备和方法
公开(公告)号：KR100840482B1
公开(公告)日：2008-06-20
申请号：KR1020060124240
申请日：2006-12-08
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 요시다쥰이치 , 마스이치미키오 , 다카무라유키히로 , 우에노히로유키 , 가와고에마사후미 , 마츠카츠요시
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 도포 장치는, 스테이지, 노즐, 및 국소 분위기 생성 기구를 구비한다. 스테이지는, 기판을 그 상면에 적재한다. 노즐은 스테이지 상의 공간에 있어서, 그 선단부로부터 도포액을 토출한다. 국소 분위기 생성 기구는, 노즐이 도포액을 토출하는 공간 및 도포액이 도포된 기판의 도포 부위를 포함하는 도포 공간에 대해 국소적으로 소정 기체를 공급하고, 도포액의 도포를 소정의 분위기에서 행한다.

26. 发明授权

KR101636119B1 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법 有权
标题翻译：图案形成装置和图案形成方法
公开(公告)号：KR101636119B1
公开(公告)日：2016-07-04
申请号：KR1020140019047
申请日：2014-02-19
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 쇼지가즈히로 , 가와고에마사후미 , 우에노히로유키 , 시바후지야요이 , 마스이치미키오 , 우에노미요시
IPC分类号： B41F17/14 , B41F33/00 , B29C59/02
摘要： 액자형상의하측스테이지(61)에의해블랭킷을흡착유지함과더불어, 블랭킷의중앙부에대해서는개별적으로승강가능한복수의핸드(625)에의해국소적으로지지한다. 블랭킷의하면을따라전사롤러유닛(64)을주행시켜블랭킷을부분적으로밀어올림으로써, 블랭킷의상방에배치된판 또는기판에블랭킷을맞닿게한다. 전사롤러유닛(64)의이동에수반하여핸드(625)가차례로하강하여하방으로퇴피함으로써전사롤러유닛(64)과의간섭이회피된다.
摘要翻译：橡皮布被框架状的下层61吸引并保持，并且被多个指针625局部地支撑，这些指针可以单独地升高到橡皮布的中心部分。转印辊单元64沿着橡皮布延伸以部分地推动橡皮布，以使橡皮布抵靠布置在橡皮布上方的板或衬底。当转印辊单元64移动时，手625向下下降，从而避免与转印辊单元64的干涉。

27. 发明公开

KR1020150077295A 패턴 형성 방법, 패턴 인쇄 방법, 패턴 형성 시스템 및 패턴 인쇄 시스템 无效
标题翻译：图案形成方法，图案印刷方法，图案形成系统和图案印刷系统
公开(公告)号：KR1020150077295A
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020140167298
申请日：2014-11-27
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 마스이치미키오 , 가와고에마사후미 , 우에노히로유키
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01L21/0273
摘要： (과제) 적은도포액으로원하는패턴층을형성할수 있는패턴형성기술, 및상기패턴형성기술을이용하여저비용으로패턴을인쇄할수 있는패턴인쇄기술을제공한다. (해결수단) 평판형의담지체의표면에대해상대적으로이동하는노즐로부터도포액을담지체의표면을향해토출하여 1차패턴층을형성하는도포공정과, 볼록부가형성된판의전사면을 1차패턴층이형성된담지체의표면에대향시킨상태로담지체와판을서로밀착시켜 1차패턴층의일부를볼록부에전사하는제1 전사공정과, 서로밀착한담지체와판을박리시켜담지체및 판중 한쪽에 2차패턴층을형성하는제1 박리공정을구비하고있다.
摘要翻译：（任务）提供能够通过使用图案形成技术形成具有小扩散解决方案的期望图案层和能够以低成本印刷图案的图案印刷技术的图案形成技术。（溶液的方法）图案形成方法包括：通过从平坦型支撑体的表面上方移动的喷嘴将扩散溶液排出到支撑体的表面上来形成第一图案层的扩展过程; 在形成凸部的板的转印区域面对支撑体的表面的状态下，通过将支撑体安装在板上的方式将初级图案层的一部分转印到凸部的第一转印工序; 以及通过剥离附着的支撑件和板，在支撑体和板的一侧上形成二次图案层的第一剥离工艺。

28. 发明授权

KR101512590B1 박리 장치 및 박리 방법 有权
标题翻译：拆卸装置和拆卸方法
公开(公告)号：KR101512590B1
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：KR1020140010837
申请日：2014-01-28
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 쇼지가즈히로 , 시바후지야요이 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키 , 우에노미요시 , 다니구치가즈타카
IPC分类号： B65H29/56 , B65H41/00 , B65H3/08 , B65H5/06
CPC分类号： B32B43/006 , Y10T156/11 , Y10T156/1978
摘要： 제1 판상체(BL)를유지하는제1 유지수단(310)과, 제1 판상체(BL)의일단부를제2 판상체(SB)와는반대방향으로기둥면형상으로굴곡시킴으로써, 제2 판상체(SB) 중제1 판상체(BL)에밀착되는밀착영역의일부를제1 판상체(BL)가박리된박리영역으로전환시켜, 밀착영역과박리영역의경계에단일또한직선상의경계선을형성하는박리개시수단(321)과, 박리영역이형성된제2 판상체(SB)를유지하는제2 유지수단(122)과, 제1 유지수단(310)과제2 유지수단(122)의간격을증대시키고, 제1 판상체(BL)와제2 판상체(SB)를이격시키는이격수단을구비하는박리장치이다.

29. 发明公开

KR1020140117253A 박리 장치 및 박리 방법 有权
标题翻译：拆卸装置和拆卸方法
公开(公告)号：KR1020140117253A
公开(公告)日：2014-10-07
申请号：KR1020130161417
申请日：2013-12-23
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에노미요시 , 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키
IPC分类号： B65H3/64
CPC分类号： B65H29/56 , B65H2301/51122 , B65H2701/1726
摘要： A plurality of absorption units (51-54) are arranged in a peeling process direction (+Y). A first absorption unit (51) on the top is attached to an end of a substrate (SB) and maintains the attachment to lift the substrate up while a peeling roller (340) comes in contact with the substrate and moves in the peeling process direction to control the peeling process. When the peeling roller (340) passes right below the second to fourth absorption unit (52-54), each absorption unit is lifted down to be attached to the peeled substrate to lift the substrate up to move the absorption units functioning as the subject of the peeling process in a downstream direction sequentially.
摘要翻译：多个吸收单元（51-54）沿剥离处理方向（+ Y）排列。顶部的第一吸收单元（51）附接到基板（SB）的端部并且保持附件以在剥离辊（340）与基板接触并且沿剥离处理方向移动时提升基板以控制剥离过程。当剥离辊（340）在第二至第四吸收单元（52-54）的正下方通过时，将每个吸收单元提升到附着到剥离的基板上以将基板向上提起，以移动用作主体的吸收单元顺序地在下游方向进行剥离处理。

30. 发明授权

KR101204577B1 도포 장치 및 도포 방법 失效
标题翻译：液体材料应用装置和液体材料应用方法
公开(公告)号：KR101204577B1
公开(公告)日：2012-11-26
申请号：KR1020100022211
申请日：2010-03-12
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 마츠카츠요시 , 마스이치미키오 , 다카무라유키히로 , 가와고에마사후미 , 사가라슈이치 , 이토류스케 , 오에무네아키
IPC分类号： B05C5/02 , B05C11/10 , H01L21/027 , G03F7/16
摘要： 도포 장치(1)의 불활성 가스 분출 기구는, 내부에 복수의 분할 챔버(213)를 갖는 커버부(21), 및, 복수의 분할 챔버(213)로의 불활성 가스의 공급을 개별적으로 제어하는 분출 영역 제어부를 구비한다. 도포 장치(1)에서는, 기판(9)의 상대 이동에 수반하여 기판(9)의 상면(91)과 커버부(21)의 분출면(211)의 평면에서 봤을 때의 중복 면적이 증대함에 따라, 커버부(21)의 복수의 분출구(214)로부터의 불활성 가스의 분출이, 기판(9)의 상대 이동 방향 뒤쪽으로부터 앞쪽의 분출구(214)를 향해 순차적으로 개시된다. 이와 같이, 기판(9)의 상면(91)에 있어서, 커버부(21)와 평면에서 봤을 때에 겹쳐져 있는 영역을 향해 불활성 가스가 분출되고, 기판(9)과는 겹쳐져 있지 않은 분출구(214)로부터는 불활성 가스가 분출되지 않으므로, 기판(9) 상에 도포된 유동성 재료의 산화나 수분의 흡착 등을 억제하기 위한 불활성 가스의 사용량을 저감할 수 있다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式