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11. 发明公开

KR1020140040997A 멤스 마이크로폰 및 그 제조방법 无效
标题翻译： MEMS麦克风及其制造方法
公开(公告)号：KR1020140040997A
公开(公告)日：2014-04-04
申请号：KR1020120107761
申请日：2012-09-27
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 제창한
IPC分类号： H04R19/04 , H01L29/84
CPC分类号： B81B3/0018 , B81B7/0054 , B81B2201/0257 , B81C1/00158
摘要： The present invention relates to a structure for improving the performance of a MEMS microphone by reducing the rigidity of a membrane and preventing deformation due to the package stress and the remaining stress of the membrane. The MEMS microphone according to the present invention includes a back plate which is formed on a substrate, an insulation layer which is formed on the substrate to surround the back plate, a membrane which is separately formed on the back plate with a preset gap, a membrane support unit which connects the membrane to the substrate, and a buffering unit which is formed with a dual spring structure between the membrane and the membrane support unit.
摘要翻译：本发明涉及通过降低膜的刚性并防止由于封装应力和膜的剩余应力引起的变形来提高MEMS麦克风的性能的结构。根据本发明的MEMS麦克风包括形成在基板上的背板，形成在基板上以围绕背板的绝缘层，以预定间隙分开形成在背板上的膜，将膜连接到基板的膜支撑单元以及在膜和膜支撑单元之间形成有双弹簧结构的缓冲单元。

12. 发明公开

KR1020140028467A 멤스 음향 센서 및 그 제조 방법 有权
标题翻译： MEMS声学传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020140028467A
公开(公告)日：2014-03-10
申请号：KR1020120094819
申请日：2012-08-29
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 이재우 , 제창한 , 양우석 , 김종대
IPC分类号： H04R31/00 , H04R19/00 , H04R19/04 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B3/0018 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81C1/00158 , B81C1/00182 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/006
摘要： More particularly, the present invention relates to an MEMS acoustic sensor and a manufacturing method thereof, which is capable of removing nonlinear elements caused by the vertical movement of a bottom electrode during the input of external sound pressure by fixing the bottom electrode to a substrate by a fixing pin. The present invention improves a frequency response feature by forming the fixing pin in a fixing groove after the fixing groove is formed on a part of the substrate and removing the undesirable vertical movement of a fixing electrode during the input of the sound pressure by fixing the fixing electrode to the substrate by the fixing pin. The yield of a manufacturing process is improved by suppressing the thermal deformation of the fixing electrode generated during the manufacturing process.
摘要翻译：更具体地说，本发明涉及一种MEMS声学传感器及其制造方法，该MEMS声学传感器及其制造方法能够通过将底部电极固定在基板上来去除外部声压的输入期间由底部电极的垂直移动引起的非线性元件固定销。本发明通过在固定槽形成在基板的一部分上之后将固定销形成在固定槽中来改善频率响应特征，并通过固定固定装置来消除固定电极在输入声压期间不期望的垂直运动电极通过固定销到基板。通过抑制在制造过程中产生的固定电极的热变形来提高制造工艺的产量。

13. 发明授权

KR101158200B1 광학식 손 떨림 보정장치 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：光学图像稳定剂及其制造方法
公开(公告)号：KR101158200B1
公开(公告)日：2012-06-19
申请号：KR1020100052789
申请日：2010-06-04
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이승섭
IPC分类号： G03B5/00 , G03B5/06 , H04N5/225
CPC分类号： H01L27/1469 , B81C1/0015 , B81C1/00158 , B81C1/00166 , B81C1/00476 , G02B26/0841 , G03B2205/0038 , H02N1/006 , H02N1/008 , H04N1/00307 , H04N5/2253 , H04N5/23287
摘要： 본 발명은 광학식 손 떨림 보정장치에 관한 것으로, 기판; 상기 기판상에 부상되어 배치되어 상기 기판상에서 가동할 수 있으며, 그 상단에 이미지 센서를 실장한 테이블; 상기 기판상에 부상되어 배치되고, 상기 테이블과 연결되어 상기 테이블을 유동시키는 캔틸레버 암; 상기 캔틸레버 암의 일단을 상기 기판상에 고정시키는 앵커; 및 상기 캔틸레버 암의 가동을 위한 전압을 인가하는 전극;을 포함하는 광학식 보정장치에 관한 것이다.

14. 发明公开

KR1020110133190A 광학식 손 떨림 보정장치 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：光学图像稳定器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020110133190A
公开(公告)日：2011-12-12
申请号：KR1020100052789
申请日：2010-06-04
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이승섭
IPC分类号： G03B5/00 , G03B5/06 , H04N5/225
CPC分类号： H01L27/1469 , B81C1/0015 , B81C1/00158 , B81C1/00166 , B81C1/00476 , G02B26/0841 , G03B2205/0038 , H02N1/006 , H02N1/008 , H04N1/00307 , H04N5/2253 , H04N5/23287
摘要： PURPOSE: An optical image stabilizer and a manufacturing method thereof are provided to drive a big displacement by changing the form of an electrode which is corresponded to a cantilever arm. CONSTITUTION: A table(113) is arranged over a substrate(100) and starts an operation. The table mounts an image sensor(110) on the top of the substrate. A cantilever arm(112) is connected to the table and operates the table. An anchor(111) fixes one end of the cantilever arm on the substrate. An electrode(114) applies a voltage for driving the cantilever arm.
摘要翻译：目的：提供一种光学图像稳定器及其制造方法，通过改变对应于悬臂的电极的形状来驱动大的位移。构成：在基板（100）上方布置有台（113）并开始操作。工作台将图像传感器（110）安装在基板的顶部。悬臂（112）连接到工作台并操作工作台。锚固件（111）将悬臂的一端固定在基板上。电极（114）施加用于驱动悬臂的电压。

15. 发明公开

KR1020110050099A 멤스 마이크로폰 및 그 제조방법 失效
标题翻译： MEMS麦克风及其制造方法
公开(公告)号：KR1020110050099A
公开(公告)日：2011-05-13
申请号：KR1020090106943
申请日：2009-11-06
申请人： 주식회사 비에스이
发明人： 김용국 , 송청담
IPC分类号： H04R19/04 , H04R31/00 , C23C18/16
CPC分类号： H04R19/04 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , C23C18/16 , H04R31/006 , H04R2201/003
摘要： PURPOSE: A MEMS microphone and manufacturing method thereof are provided to minimize a generation of a crack by minimizing a residue stress generated in a membrane and a back plate. CONSTITUTION: A silicon substrate(10) includes an air gap forming unit formed into a preset depth at a back chamber(41) and upper side of the back chamber. The membrane(25) is evaporated in an air gap forming unit and a silicon substrate of the silicon substrate. A back plate(37) is evaporated at an air gap forming unit or a silicon substrate for separating from the membrane. An interval of an air gap is formed between the back plate and a membrane. The interval of an air gap is controlled according to the depth go the air gap forming unit. An incline is formed in circumference of the air gap forming unit.
摘要翻译：目的：提供MEMS麦克风及其制造方法，以通过最小化在膜和背板中产生的残余应力来最小化裂纹的产生。构成：硅基板（10）包括在后室（41）和后室的上侧形成为预定深度的气隙形成单元。膜（25）在气隙形成单元和硅衬底的硅衬底中蒸发。在气隙形成单元或硅基板上蒸发背板（37）以从膜分离。在背板和膜之间形成气隙的间隔。气隙间隔根据气隙形成单元的深度进行控制。在气隙形成单元的圆周上形成斜面。

16. 发明授权

KR101906665B1 멤스 마이크로폰의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101906665B1
公开(公告)日：2018-10-10
申请号：KR1020160050894
申请日：2016-04-26
申请人： 주식회사 디비하이텍
发明人： 선종원 , 이한춘
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04 , H04R31/00 , B81B3/00
CPC分类号： H04R19/04 , B81B7/0061 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81C1/00158 , B81C2201/0109 , B81C2201/013 , H04R7/18 , H04R19/005 , H04R31/003 , H04R2201/003
摘要： 음을전기신호로변환하는멤스마이크로폰이개시된다. 멤스마이크로폰은캐비티를구비하는기판, 기판의상측에구비되는백 플레이트, 기판과백 플레이트사이에구비되는진동판, 및진동판의단부에구비된앵커를구비한다. 진동판은기판과백 플레이트로부터이격되어위치하며, 캐비티를덮도록구비되고, 음압을감지하여변위를발생시킨다. 앵커는진동판의둘레를따라연장되며, 기판에연결되어진동판을지지한다. 이와같이, 멤스마이크로폰은진동판의둘레를따라연장된앵커를구비함으로써, 앵커주변에절연막이잔류하는것을방지하고, 진동판의버클링현상을방지할수 있다.

17. 发明授权

KR101807071B1 마이크로폰 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：麦克风及其制造方法
公开(公告)号：KR101807071B1
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：KR1020160129162
申请日：2016-10-06
申请人： 현대자동차주식회사
发明人： 유일선
IPC分类号： H04R19/04 , H04R19/00 , H04R31/00
CPC分类号： H04R19/04 , B81B3/0094 , B81B2201/0257 , B81C1/00158 , B81C2201/013 , H04R1/342 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R19/005 , H04R31/00
摘要： 마이크로폰및 그제조방법이개시된다. 본발명의실시예에따른마이크로폰은, 중앙부에관통구가형성된기판; 상기기판상에서상기관통구를덮는형태로배치되는진동막; 상기진동막의상부에공기층을두고이격설치되며, 상기공기층방향으로관통된복수의공기유입구를포함하는고정막; 상기진동막상에이격설치된고정막을지지하는지지층; 상기고정막과지지층의상부에형성되고중앙부에는상기공기유입구가연장형성되는백 플레이트; 및상기공기층의공기가상기백 플레이트상의고정막감지면적테두리외부영역으로유동할수 있도록형성된공기유출부를포함한다.
摘要翻译：公开了一种麦克风及其制造方法。根据本发明的实施例，提供了一种麦克风，包括：基板，在其中心处形成有通孔; 设置在所述基板上以覆盖所述通孔的振动膜; 定影膜，其通过空气层与振动膜隔开并且包括沿空气层方向贯穿的多个空气入口; 支撑设置在振动膜上的固定膜的支撑层; 背板，形成在定影膜和支撑层上并具有在中心延伸的进气口; 以及形成为流动到空气层的空气假设安全气囊板上的固定膜感测区域边缘外侧的区域的空气出口。

18. 发明公开

KR1020170129719A 복합 멤브레인 및 복합 멤브레인의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：制造复合膜的方法
公开(公告)号：KR1020170129719A
公开(公告)日：2017-11-27
申请号：KR1020177024682
申请日：2017-01-13
申请人： 세파르 아게
发明人： 호사인,모하매드목불 , 마이어,한스히터 , 카마니,마테오
IPC分类号： B32B5/26 , B01D69/12 , D06M10/02
CPC分类号： G06F1/1656 , B01D67/0002 , B01D69/02 , B01D69/105 , B01D69/12 , B01D69/127 , B01D2323/04 , B01D2323/39 , B01D2325/02 , B01D2325/38 , B32B5/022 , B32B5/26 , B32B7/04 , B32B2250/02 , B32B2250/03 , B32B2255/02 , B32B2255/26 , B32B2262/0238 , B32B2262/0246 , B32B2307/10 , B32B2307/724 , B32B2307/726 , B32B2307/7265 , B32B2307/73 , B32B2307/754 , B81C1/00158 , D06M10/025 , G10K13/00 , H04R7/10 , H04R7/125 , H04R29/001 , H04R31/003 , H04R2307/025 , H04R2307/029
摘要： 본발명은적어도하나의캐리어층및 적어도하나의캐리어층상에배치되는전기방사멤브레인을가지는음향부품용복합체에관한것이며, 전기방사멤브레인은기공구조가설계되는동안중첩섬유로형성된다. 복합체의기공구조는복합체가적어도 1 m의수주관및 5 L/m*s의공기투과율을가지도록설계된다. 또한, 본발명은음향부품용복합체의제조방법에관한것이며, 방법에서캐리어층이제공되고, 캐리어층상에멤브레인이전기방사법에따라설계되며, 멤브레인은정해진기공구조를가지는중첩섬유로생성된다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于具有至少一个载体层和设置在所述载体层上的至少一个电声膜成分的复合材料，而孔结构被设计所述电膜被叠加纤维形成。复合材料的孔结构被设计为使得复合材料具有至少1m的水分和5L / m * s的透气率。此外，本发明涉及一种制造用于声学部件的复合材料的方法，所述载体层是根据电纺丝工艺到载体层上设置的方式，以及该膜的设计，膜通过重叠具有限定的孔结构的纤维生产的。

19. 发明公开

KR1020170121951A 멤스 마이크로폰 및 이의 제조 방법 审中-实审
标题翻译： MEMS麦克风及其制造方法
公开(公告)号：KR1020170121951A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：KR1020160050886
申请日：2016-04-26
申请人： 주식회사 디비하이텍
发明人： 선종원 , 이한춘
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04 , H04R31/00 , B81B3/00
CPC分类号： H04R19/04 , B81B3/001 , B81B7/0061 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81C1/00158 , B81C1/00182 , B81C2201/0109 , B81C2201/013 , H04R7/06 , H04R19/005 , H04R31/003 , H04R2201/003
摘要： 음을전기신호로변환하여출력하는멤스마이크로폰이개시된다. 멤스마이크로폰은, 캐비티를구비하는기판, 기판의상측에서상기캐비티를덮도록구비된백 플레이트, 백플레이트의아래에위치하는진동판, 기판과진동판사이에구비된제1 절연막, 백플레이트를커버하는제2 절연막, 및제1 절연막과제2 절연막사이에구비된층간절연막을구비한다. 진동판은캐비티와연통되는벤트홀을구비하고, 음압을감지하여변위를발생시킨다. 제1 절연막은진동판의단부를지지하여진동판을기판으로부터이격시키며, 캐비티와대응하는부분이제거되어형성된개구부를구비한다. 층간절연막은제2 절연막을지지하여백 플레이트를진동판으로부터이격시킨다. 이와같이, 멤스마이크로폰은제1 절연막과층간절연막이진동판과백 플레이트를각각지지하므로, 진동판을지지하기위한앵커와백 플레이트를진동판으로부터이격시키기위한챔버를구비할필요가없다. 이에따라, 멤스마이크로폰제조공정에서앵커와챔버를형성하기위한마스크들과단계들을생략할수 있다.
摘要翻译：公开了一种用于将声音转换成电信号并将其输出的MEMS麦克风。 MEMS麦克风包括具有空腔的基板，设置为覆盖基板上方的空腔的背板，设置在背板下方的隔膜，设置在基板和隔膜之间的第一绝缘膜， 2绝缘膜和1个绝缘膜问题2提供设置在绝缘膜之间的层间绝缘膜。隔膜具有与空腔连通的通气孔，并检测负压以产生位移。第一绝缘膜支撑膜片的端部以将膜片与基板分离，并且具有通过去除与腔体对应的部分而形成的开口。层间绝缘膜支撑第二绝缘膜以将背板与隔膜分离。因此，由于第一绝缘膜和层间绝缘膜支撑隔膜和背板，所以不需要提供用于将锚和背板彼此分离的腔室，用于支撑隔膜。因此，可以省略用于在MEMS麦克风制造过程中形成锚和腔室的掩模和步骤。

20. 发明授权

KR101764226B1 멤스 음향 센서 및 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101764226B1
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：KR1020120094819
申请日：2012-08-29
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 이재우 , 제창한 , 양우석 , 김종대
IPC分类号： H04R31/00 , H04R19/00 , H04R19/04 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B3/0018 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81C1/00158 , B81C1/00182 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/006
摘要： 본발명은더욱상세하게고정핀에의해하부전극을기판에고정하여외부음압이입력될때 하부전극의상하운동으로인한비선형성분을제거하기위한멤스음향센서및 그제조방법에관한것으로, 기판의일부에고정홈을형성한후, 고정홈에고정핀을형성하고, 고정핀에의해고정전극이기판에고정되도록함으로써, 음압입력시에원하지않는고정전극의상하운동을제거하여주파수응답특성을향상시키는특징을가지며, 공정중에발생할수 있는고정전극의열적변형을억제하여공정의수율을향상시키는효과가있다.

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