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    • 6. 发明授权
    • 스퍼터링 타겟 - 백킹 플레이트 조립체 및 막 형성 장치
    • 空值
    • KR100876573B1
    • 2008-12-31
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    • 2005-10-14
    • 닛코 킨조쿠 가부시키가이샤
    • 미야시타히로히토
    • C23C14/34
    • H01J37/3423C23C14/3407H01J37/3435
    • 침식부 및 비침식부가 형성되는 판 형상 타겟으로서, 그 표면적이, 타겟이 평면이라고 가정했을 경우의 표면적의 100% 를 초과하고 125% 미만인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟. 침식부 및 비침식부가 형성되는 판 형상 타겟으로서, 타겟 표면 영역에 1 또는 복수의 오목부를 구비하며, 타겟이 평면이라고 가정했을 경우의 표면적의 100% 를 초과하고 125% 미만인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟. 자체 스퍼터나 하이파워 스퍼터화에 의해, 타겟의 전체 수명에 걸쳐서, 스퍼터 회로에 있어서의 전기적 변동을 가능한한 작게 억제함으로써, 용량이 작은 저렴한 전원 장치를 사용할 수 있도록 한다.
    • 提供了一种板状溅射靶,其上形成有侵蚀部分和非侵蚀部分,并且当靶被假定为平面时,其表面积超过100%但小于表面积的125%。 还提供了一种片状溅射靶,其上形成有在目标表面区域上包括一个或多个凹部的侵蚀部分和非侵蚀部分,其表面积超过100%但小于表面积的125% 当目标被假定为平面时。 可以使用廉价的小容量电源单元,其通过自溅射或高功率溅射在目标的整个寿命期间尽可能多地最小化溅射电路中的电气变化。