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    • 9. 发明专利
    • 薄膜キャパシタ
    • 薄膜电容器
    • JP2015126157A
    • 2015-07-06
    • JP2013270789
    • 2013-12-27
    • TDK株式会社
    • 青谷 淳司矢野 義彦及川 泰伸
    • H01G4/18H01G4/10H01G4/12H01G4/33
    • 【課題】耐圧性能を長期にわたって維持できる薄膜キャパシタを提供する。 【解決手段】下部電極2と、下部電極上に設けられ欠陥を包含する誘電体層3と、誘電体層上に形成された上部電極とを備える。誘電体層の欠陥5領域と上部電極との界面には樹脂材料による絶縁体構造物6が形成されている。この絶縁体構造物は上部電極と接するように形成されており、かつ、誘電体層の欠陥上に空隙7を形成する構造を有する。絶縁体構造物と空隙とにより、欠陥と上部電極とを確実に離間させ、薄膜キャパシタ1の長期的な耐圧特性を向上させる。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供能够长期保持击穿电压性能的薄膜电容器。解决方案:薄膜电容器1包括下电极2,设置在下电极上的电介质层3,包括: 缺陷和形成在电介质层上的上电极。 在电介质层的缺陷5区域和上部电极的界面上,由树脂材料形成绝缘体结构体6。 绝缘体结构形成为与上电极接触,并且具有在电介质层的缺陷上形成腔7的结构。 缺陷和上电极通过绝缘体结构和空腔可靠地隔开,薄膜电容器1的长期击穿电压特性得到提高。