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1. 发明专利

JP2018060785A 固体試料分析装置及び固体試料分析方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018060785A
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：JP2017180602
申请日：2017-09-20
申请人：新日鐵住金株式会社
发明人：辻典宏 , 西野宮卓
IPC分类号： G01N27/62 , G01N23/2251 , G01N23/2258 , H01J37/317 , H01J49/42 , H01J49/40 , H01J37/28 , H01J37/244 , H01J49/14
摘要：【課題】固体試料中の内部ガスに関する情報を得ることを可能にする固体試料分析装置を提供する。【解決手段】固体試料分析装置10は、固体試料201に対して集束イオンビームを照射する集束イオンビーム照射器105と、集束イオンビームが照射されることによって固体試料201から放出される内部ガスを構成する分子をイオン化するイオン化部を有し、内部ガスの成分を分析する第1の質量分析計107と、を備える。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2017072593A 微粒子分析方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017072593A
公开(公告)日：2017-04-13
申请号：JP2016196442
申请日：2016-10-04
申请人：新日鐵住金株式会社
发明人：辻典宏 , 西野宮卓 , 板橋大輔
IPC分类号： G01N1/02 , G01N23/225
摘要：【課題】より容易に微粒子を捕集するとともに、その捕集した微粒子に対して1粒子解析を円滑に行うことを可能にする。【解決手段】分級器によって分級された特定の大きさ以下の粒子径を有する微粒子を、合成樹脂膜にトラックエッチング法によって空孔を多数形成することにより作製されるトラックエッチドメンブレンフィルタ上に捕集し、前記微粒子が捕集された前記トラックエッチドメンブレンフィルタを分析装置の試料台上に固定し、前記トラックエッチドメンブレンフィルタ上の前記微粒子に対して電子ビーム及び集束イオンビームの少なくともいずれかを照射することにより、前記微粒子ごとの成分を少なくとも分析する、微粒子分析方法を提供する。【選択図】図3

3. 发明专利

JP2017072394A 微粒子分析方法有权
公开(公告)号：JP2017072394A
公开(公告)日：2017-04-13
申请号：JP2015197627
申请日：2015-10-05
申请人：新日鐵住金株式会社
发明人：辻典宏 , 板橋大輔 , 西野宮卓
IPC分类号： G01N1/02 , G01N23/22 , G01N23/225
摘要：【課題】より容易に微粒子を捕集するとともに、その捕集した微粒子に対して1粒子解析を円滑に行うことを可能にする。【解決手段】分級器によって分級された特定の大きさ以下の粒子径を有する微粒子を、Agフィルタ上に捕集し、前記微粒子が捕集された前記Agフィルタを分析装置の試料台上に固定し、前記Agフィルタ上の前記微粒子に対して電子ビーム及び集束イオンビームの少なくともいずれかを照射することにより、前記微粒子ごとの成分を少なくとも分析する、微粒子分析方法を提供する。【選択図】図3

4. 发明专利

JP2018091687A 分析方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018091687A
公开(公告)日：2018-06-14
申请号：JP2016234219
申请日：2016-12-01
申请人：新日鐵住金株式会社
发明人：西野宮卓 , 辻典宏
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/04 , H01J49/14 , H01J49/40 , G01N23/2258 , G01N23/2202
摘要：【課題】微粒子の発生源をより正確に特定すること。【解決手段】本発明に係る分析方法は、試料2に対して分析装置1の分析室10の内部でイオンビームを照射し、試料2から飛来する物質を検出することにより試料2を分析する方法であって、試料2が設置された試料ホルダ4を液体窒素中に浸したまま、試料ホルダ4を囲って覆う試料ホルダカバーを試料ホルダ4に取り付ける試料ホルダカバー取付けステップと、試料ホルダカバーが取り付けられた試料ホルダ4を液体窒素中から取り出し、分析室10に接続された予備排気室11に設置する試料ホルダ設置ステップと、予備排気室11の内部を排気し、予備排気室11の内部が所定の真空度に到達した後に、予備排気室11の内部において試料ホルダカバーを試料ホルダ4から取り外す試料ホルダカバー取外しステップと、試料ホルダ4を予備排気室11から分析室10に搬送する試料ホルダ搬送ステップと、を含む。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2017096701A 粒子分析方法及び粒子分析装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017096701A
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：JP2015227597
申请日：2015-11-20
申请人：新日鐵住金株式会社
发明人：西野宮卓 , 辻典宏
IPC分类号： G01N15/02 , G01N23/225 , G01N23/22 , G01N15/10
摘要：【課題】周囲が液体によって被覆されている粒子であっても、粒子の粒子径に関する情報を含む粒子の構造を正確に分析すること。【解決手段】本発明に係る粒子分析方法は、平均粒子径が3μm以下の粒子に対して、一次イオンの照射条件が1×10 14 〜1×10 17 イオン/cm 2 に設定された集束イオンビームを照射して粒子の表面を研削する研削ステップと、研削ステップの前後で実施され、一次イオンの照射条件が1×10 14 イオン/cm 2 未満に設定された集束イオンビームを粒子に照射して粒子から放出される二次イオンを検出し、粒子の構造を解析する解析ステップと、研削ステップの前後での粒子の構造に関する解析結果に基づいて、粒子の表面における液体の存在の有無を判断する判断ステップと、を含み、液体が存在していると判断された粒子に対して、研削ステップと当該研削ステップ後における解析ステップとを再度実施する。【選択図】図1

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