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    • 8. 发明专利
    • 揮発性有機溶剤を使用した洗浄装置
    • 使用挥发性有机溶剂洗涤设备
    • JP2014200726A
    • 2014-10-27
    • JP2013077677
    • 2013-04-03
    • 小島産業株式会社Kojima Sangyo Kk
    • ITO MICHINOBUNAKAGAWA EIJI
    • B08B3/08B08B3/10C23G5/02C23G5/024C23G5/032C23G5/036C23G5/04H01L21/304
    • 【課題】揮発性有機溶剤の揮発放散量を低減可能な洗浄装置を提供する。【解決手段】上面に開口を有する洗浄容器10と、洗浄容器10内を上下昇降可能な載置台11と、載置台11と一体的に昇降する中蓋12とを有する。洗浄容器10内は、揮発性有機溶剤が貯留された浸漬室10aと、浸漬室10aの上方に連続する冷却室10bとからなる。バスケット30に収容した洗浄対象物を浸漬室10aにおいて揮発性有機溶剤に浸漬洗浄した後、冷却室10bにおいて洗浄対象物へ冷却流体を吹き付ける。洗浄対象物を浸漬洗浄する状態以外では、浸漬室10aが中蓋12によって閉塞されている。揮発性有機溶剤は、ヒータ22によって沸点未満で加熱されている。冷却流体としては、揮発性有機溶剤や真水を使用できる。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供可以降低挥发性有机溶剂的挥发和扩散量的洗涤设备。溶液:洗涤设备包括在其顶面上具有开口的洗涤容器10,可在洗涤物中垂直移动的平台11 容器10以及与平台11一体地垂直移动的内盖12.清洗容器10包括其中积聚挥发性有机溶剂的浸没室10a和在浸没室10中连续的冷却室10b 位于浸渍室10的上方。将待洗涤并接收在筐30中的物体浸入并洗涤在浸没室10a中的挥发性有机溶剂中之后,将冷却流体吹送到冷却室10b中待清洗的物体 。 除了要洗涤的物体被浸洗的状态之外,浸没室10a被内盖12封闭。挥发性有机溶剂被加热器22加热到低于沸点的温度。 挥发性有机溶剂或淡水可用作冷却液。
    • 9. 发明专利
    • Metal surface cleaning device and metal surface cleaning method
    • 金属表面清洁装置和金属表面清洁方法
    • JP2014109038A
    • 2014-06-12
    • JP2012262361
    • 2012-11-30
    • Fuji Heavy Ind Ltd富士重工業株式会社
    • IMAI TOMOYATOMII YUICHIROKAJIYAMA TSUTOMU
    • C23G5/02B05D3/10B08B3/08
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a metal surface cleaning device and a metal surface cleaning method which allow further suppression of painting defect by efficiently removing contaminant adhering to a surface of a worked metal product.SOLUTION: A metal surface cleaning device 10 comprises a nozzle 21 for cleaning an automobile body 1 by spraying a cleaning oil, and an oil dipping tank 31 with a cleaning oil stored therein for dipping and cleaning the automobile body 1 to which the cleaning oil has been sprayed by the nozzle 21. Viscosities of both the cleaning oil sprayed from the nozzle 21 and the cleaning oil stored in the oil dipping tank 31 are set higher than a viscosity of an oil (a press working oil) adhering to the automobile body 1.
    • 要解决的问题:提供一种金属表面清洁装置和金属表面清洁方法,其通过有效地去除附着在加工金属制品的表面上的污染物,进一步抑制涂漆缺陷。解决方案:金属表面清洁装置10包括喷嘴 21,用于通过喷射清洁油清洁汽车车体1;以及油浸槽31,其中存储有清洁油,用于浸渍和清洁由喷嘴21喷射了清洁油的汽车车身1。两者的粘度 将从喷嘴21喷射的清洗油和存储在吸油槽31中的清洗油设定为高于粘附在汽车车体1上的油(冲压加工油)的粘度。
    • 10. 发明专利
    • Surface treatment agent composition for silicon wafer
    • 硅砂表面处理剂组合物
    • JP2012248738A
    • 2012-12-13
    • JP2011120337
    • 2011-05-30
    • Dai Ichi Kogyo Seiyaku Co Ltd第一工業製薬株式会社
    • KIKAZAWA SHIGERUNABESHIMA TOSHIICHINAKAGAWA KAZUNORIHORIE TAKUYA
    • H01L21/304B08B3/08C11D1/68C11D1/72C23G5/02H01L31/04
    • Y02E10/50
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface treatment agent composition for a silicon wafer, having good cleaning performance to coolants, abrasive-grains or silicon powders and also being capable of making a wafer surface allowing formation of good texture in a subsequent etching process.SOLUTION: The composition comprises the components (a) to (d): (a) 0.1 to 40 wt.% of an ether type nonionic surfactant and R-O-(AO)n-H, where R represents a straight or branched aliphatic hydrocarbon group having a carbon number of 8 to 24, AO represents an oxyalkylene group having a carbon number of 2 to 4, and n represents 1 to 100; (b) 5 to 40 wt.% of alkyl polyglycoside and R-O-(G)n-H, where R represents a straight or branched alkyl group having a carbon number of 1 to 22, G represents a reduction sugar having a carbon number of 5 to 6, and n represents 1 to 5; (c) 1 to 30 wt.% of an alkaline agent; and (d) water which is the residual of the total amount 100 wt.% including the components (a), (b) and (c).
    • 要解决的问题:提供一种用于硅晶片的表面处理剂组合物,对冷却剂,磨料颗粒或硅粉末具有良好的清洁性能,并且还能够使晶片表面允许在随后的形成良好的质地 蚀刻工艺。 组合物包含组分(a)至(d):(a)0.1至40重量%的醚型非离子表面活性剂和RO-(AO)nH,其中R表示直链或支链脂族烃 碳数为8〜24的基团,AO表示碳数为2〜4的氧化烯基,n表示1〜100; (b)5〜40重量%的烷基多糖苷和RO-(G)nH,其中R表示碳数为1〜22的直链或支链烷基,G表示碳原子数为5〜 6,n表示1〜5; (c)1〜30重量%的碱性试剂; 和(d)包含组分(a),(b)和(c)的总量为100重量%的残余物的水。 版权所有(C)2013,JPO&INPIT