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    • 4. 发明专利
    • リソグラフィー用洗浄液、及び基板のエッチング加工方法
    • 清洗流体用于基板的蚀刻和蚀刻工作方法
    • JP2015201484A
    • 2015-11-12
    • JP2014078034
    • 2014-04-04
    • 東京応化工業株式会社
    • 原口 高之熊谷 智弥上野 直久
    • C11D7/34G03F7/32C11D7/32C11D7/50C23F4/00C23G1/18C23G5/032C23G1/20H01L21/304
    • 【課題】タングステン、コバルト、銅、及びこれらのいずれかの合金からなる群より選択される少なくとも1種の金属に対する腐食抑制機能に優れたリソグラフィー用洗浄液、及びこのリソグラフィー用洗浄液を用いた基板のエッチング加工方法を提供する。 【解決手段】本発明に係るリソグラフィー用洗浄液は、塩基性化合物と、水溶性有機溶剤と、水と、LogP値が0.5以下である多価メルカプタン化合物とを含有する。好ましくは、このリソグラフィー用洗浄液は、タングステン、コバルト、銅、及びこれらのいずれかの合金からなる群より選択される少なくとも1種の金属からなる金属領域を備え、この金属領域の少なくとも一部が表面に露出した基板の洗浄に用いられる。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种用于光刻的清洗液,其具有对选自钨,钴,铜以及这些金属中的任何一种的合金中的至少一种以上的至少一种的金属的优异的腐蚀抑制功能,并且还提供 一种使用该清洁液进行光刻的基板的蚀刻加工方法。解决方案:一种用于光刻的清洁液包括:碱性化合物; 水溶性有机溶剂; 水; 和Log P为0.5以下的多价硫醇化合物。 优选地,用于光刻的清洁流体包括由选自钨,钴,铜和由这些金属中的任何一种组成的合金中的至少一种的金属构成的金属区域,并且该金属区域的至少一部分是 用于清洁暴露于表面的基板。
    • 7. 发明专利
    • Cleaning agent and cleaning method for inner face of copper tube
    • 铜管内表面清洁剂和清洗方法
    • JP2013234351A
    • 2013-11-21
    • JP2012106877
    • 2012-05-08
    • Showa Co Ltdショーワ株式会社
    • YAMADA YUTAKAWADA TOKIOINOUE YUKIOICHIHARA KAZUYOSHIMITAMURA YASUAKI
    • C23G1/10B08B9/02C23G1/20
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cleaning agent and cleaning method for the inner face of a copper tube, capable of effectively removing a carbon coating formed on the inner face of a copper tube while suppressing damages on the inner face of a copper tube to maintain durability.SOLUTION: A cleaning agent for the inner face of a copper tube is used for removing a carbon coating formed on the inner face of a copper tube, and includes an aqueous solution of organic acid, sulfamic acid or a chelating agent and an oxidizing agent, as active ingredients to remove the carbon coating. The organic acid is preferably citric acid, the chelating agent is preferably an ethylenediaminetetraacetic acid salt such as ethylenediaminetetraacetic acid sodium. The oxidizing agent is preferably hydrogen peroxide, or percarbonate such as sodium percarbonate.
    • 要解决的问题:为了提供铜管内表面的清洁剂和清洁方法,能够有效地除去铜管内表面上形成的碳涂层,同时抑制铜管内表面的损伤, 保持耐久性。解决方案:用于铜管内表面的清洁剂用于除去形成在铜管内表面上的碳涂层,并且包括有机酸,氨基磺酸或螯合剂的水溶液和 氧化剂,作为活性成分除去碳涂层。 有机酸优选为柠檬酸,螯合剂优选为乙二胺四乙酸盐,例如乙二胺四乙酸钠。 氧化剂优选为过氧化氢,或过碳酸钠如过碳酸钠。