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1. 发明专利

JP6978446B2 能動的炉分離チャンバ有权
公开(公告)号：JP6978446B2
公开(公告)日：2021-12-08
申请号：JP2018569119
申请日：2017-07-07
申请人：モリッカ, サルヴァトーレ , ペルサウド, ラジェンドラ
发明人：モリッカ, サルヴァトーレ , ペルサウド, ラジェンドラ
IPC分类号： G21F9/16 , G21F9/36 , G21F9/00 , G21F9/02 , G01T1/167 , B30B11/00 , B01J3/03 , B01J3/04 , B01J3/02

2. 发明专利

JP2021532977A ガス低減装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021532977A
公开(公告)日：2021-12-02
申请号：JP2021505979
申请日：2019-07-01
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：カーン, アディーブ , リャン, チーウェイ , マリク, サルタン , ネマニ, シュリーニヴァース , スマティ, ラフィカ , ウン, ジョセフ , オヒール, ジョン
IPC分类号： B01J3/03 , B01J3/02
摘要：本開示の実施形態は、ガス低減装置および流出部管理に関する。本明細書に記載の装置は、高圧処理チャンバと、処理チャンバを取り囲む格納チャンバとを含む。高圧流体送達モジュールは、高圧処理チャンバと流体連通しており、高圧流体を処理チャンバに送達するように構成される。流出物管理モジュールは、流出物圧力低減のためのマフラアセンブリと、流出物の処理を提供する複数のスクラバとを含む。【選択図】図3

3. 发明专利

JP2020185595A 等方圧加圧装置、等方圧加圧装置用収容ユニット、等方圧加圧処理方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020185595A
公开(公告)日：2020-11-19
申请号：JP2019092006
申请日：2019-05-15
申请人：株式会社神戸製鋼所
发明人：南野友哉 , 鈴木一也
IPC分类号： B01J3/02 , B01J3/03 , B01J3/04 , G01K7/02 , F27B17/00 , B30B5/02
摘要：【課題】横置き型の圧力容器内部の温度測定が可能な等方圧加圧装置、等方圧加圧装置用収容ユニット、等方圧加圧処理方法を提供する。【解決手段】CIP装置1は、第1蓋部21および第2蓋部22を含み処理空間Sを有する圧力容器2と、圧力容器2内に配置されるバスケット23と、熱電対50と、を備える。熱電対50は、第1蓋部21が圧力容器2の容器本体20に装着されることで処理空間S内に配置される検出部50Sを有し、検出部50Sの温度に応じた出力信号を出力する。熱電対50によって加圧処理中の処理空間S内の温度を監視することが可能となる。【選択図】図3

4. 发明专利

JP6511608B2 等方圧加圧装置、およびそれを用いた加圧処理方法有权
公开(公告)号：JP6511608B2
公开(公告)日：2019-05-15
申请号：JP2015099661
申请日：2015-05-15
申请人：株式会社神戸製鋼所
发明人：岸新和 , 三浦大基 , 山内孝紀 , 鈴木隆志 , 三浦功次 , 齋藤彰
IPC分类号： B01J3/02 , B01J3/03 , A22C29/04 , B30B5/02

5. 发明专利

JP2017100102A 圧力チャンバの締結構造审中-公开
公开(公告)号：JP2017100102A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：JP2015237069
申请日：2015-12-04
申请人：株式会社NejiLaw
发明人：道脇裕
IPC分类号： H05H1/24 , B01J3/03 , B01J3/04
摘要：【課題】圧力チャンバの密閉性を長期間に亘って高めるようにする。【解決手段】圧力チャンバCの締結構造1であって、内周側に圧力空間を形成する筒部材T1、T2と、筒部材T1、T2の一方の端面に配置される蓋部材F1、F2、F3と、雄ねじ体O及び雄ねじ体Oと螺合する雌ねじ体Mと、を備えるようにする。筒部材T1、T2は筒側貫通孔H1、H2を有し、上記蓋部材は蓋側貫通孔K1、K2、K3を有し、雄ねじ体の軸部10が蓋側貫通孔K1、K2、K3及び上記筒側貫通孔H1、H2に挿入された状態で雌ねじ体Mと螺合することで、少なくとも蓋部材F1、F2、F3及び該筒部材T1、T2を締結するねじ締結構造を成すようにした。【選択図】図1

6. 发明专利

JP5896630B2 真空容器、真空容器の製造方法有权
标题翻译：真空容器，制造的真空容器的方法
公开(公告)号：JP5896630B2
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：JP2011138324
申请日：2011-06-22
申请人：株式会社アルバック
发明人：佐川智彦 , 小清水孝治 , 小田稔
IPC分类号： C23C14/34 , B01J3/03 , C23C14/00

7. 实用新型

JP3202297U 搬送チャンバ蓋ドアアクチュエータ有权
标题翻译：传送室盖门致动器
公开(公告)号：JP3202297U
公开(公告)日：2016-01-28
申请号：JP2015005796
申请日：2015-11-13
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：栗田真一 , 稲川真 , ハンゼングエイチリン
IPC分类号： B01J3/03 , H01L21/677
摘要：【課題】基板処理システム内で使用される搬送チャンバに関して、蓋及びそれに結合されたアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータアセンブリ202は、チャンバ本体204と蓋206の間に結合することができ、1以上の第1ブラケット214、1以上のアーム212、1以上の第1シャフト222、1以上のギアボックス216、1以上の第2シャフト、及びモータ218を含む。アクチュエータアセンブリ202は、蓋206を閉位置から開位置まで移動させるように構成され、開位置にある蓋206は、閉位置から約100°〜約180°の間で回転させることができる。蓋206は、1以上の第1シャフト222によって画定される軸の周囲を回転させることができる。【選択図】図4
摘要翻译：甲在一基板处理系统中使用的输送室，提供连接到其上的盖子和促动器。致动器组件202可在腔室主体204和盖子之间被耦合206，一个或多个所述第一托架的214,1或多个臂212,1或多个第一轴222,1多个齿轮箱216，或更多个第二轴，和一个马达218。致动器组件202被配置为将所述盖206从关闭位置移动到打开位置，在打开位置的盖子206，它可以为约100〜约180的关闭位置之间旋转？盖206可以围绕由一个或多个所述第一轴222的所限定的轴线旋转。点域4

8. 发明专利

JP5536046B2 High pressure apparatus and the crystal growth method for a nitride crystal growth 有权
公开(公告)号：JP5536046B2
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：JP2011512644
申请日：2009-06-04
申请人：ソーラインコーポレーション
发明人：エブリンマークピード
IPC分类号： B01J3/03 , B01J3/00 , B01J3/04 , C30B7/10
CPC分类号： B01J3/065 , B01J3/008 , B01J2203/0665 , B01J2203/067 , B01J2203/068 , B30B11/004 , B30B11/005 , C30B7/10 , C30B29/403 , Y02P20/544

9. 发明专利

JP5443892B2 Raw materials processing equipment, and the atomization device according to the high-pressure injection 有权
公开(公告)号：JP5443892B2
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：JP2009189062
申请日：2009-08-18
申请人：株式会社スギノマシン
发明人：孝太小倉 , 正雄中谷
IPC分类号： B01J3/00 , B01J3/02 , B01J3/03 , B01J3/04 , B02C19/06

10. 发明专利

JP5356781B2 Conveying device and its control method for use in high differential pressure conditions 有权
公开(公告)号：JP5356781B2
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：JP2008292683
申请日：2008-11-14
申请人：三井造船株式会社
发明人：哲郎村山
IPC分类号： B65G65/48 , B01J3/02 , B01J3/03 , C10L3/06
CPC分类号： B65G53/4633 , C10L3/06 , C10L3/108
摘要： Provided is a conveying device used under a condition having a large pressure difference which is observed during a process such as a depressurizing process in an operation of manufacturing gas hydrate pellets and a method of controlling the same, the conveying device requiring less ancillary facilities, being small in size, and achieving high-speed processing while achieving secure blockage of pressure. The conveying device 1 includes: a casing 15 including a spherically-formed valve chamber in a center portion thereof which has one side connected to a high-pressure pipe 21 on a high-pressure side and another side connected to a low-pressure pipe 22 on a low-pressure side; a spherical valve 11 rotatably supported inside the casing 15; a gap section 16 which is a gap formed between the casing 15 and the spherical valve 11; a high-pressure-side seal 13 which seals the high-pressure pipe 21 and the gap section 16 from each other; and a low-pressure-side seal 14 which seals the low-pressure pipe 22 and the gap section 16 from each other, the conveying device 1 conveying, with rotation of the spherical valve 11, an object to be conveyed which is housed in a conveying chamber 12 formed by boring a portion of the spherical valve 11, the conveying chamber 12 including an opening 23 which corresponds to the high-pressure pipe 21 or the low-pressure pipe 22.

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