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1. 发明专利

JP6021046B2 パージ機能を備えたストッカと、ストッカユニット有权
标题翻译：和储料器与净化功能，储料器部
公开(公告)号：JP6021046B2
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：JP2014531533
申请日：2013-06-21
申请人：村田機械株式会社
发明人：村田正直 , 山路孝
IPC分类号： B65G1/00 , H01L21/673 , B65G1/14
CPC分类号： B08B5/02 , B65G1/00 , B65G45/00 , H01L21/67393 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , Y10T137/4238

2. 发明专利

JP2012142380A Raw material supply device and film formation device 有权
标题翻译：原材料供应装置和薄膜形成装置
公开(公告)号：JP2012142380A
公开(公告)日：2012-07-26
申请号：JP2010293207
申请日：2010-12-28
申请人： Tokyo Electron Ltd , 東京エレクトロン株式会社
发明人： KAZUMURA TAMOTSU , FURUYA HARUHIKO
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45561 , B08B3/04 , B08B9/02 , C23C16/4402 , Y10T137/4238 , Y10T137/4259
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To easily discharge a liquid material from the inside a raw material supply pipe when supplying the liquid material from a lower side to an upper side through the raw material supply pipe.SOLUTION: A liquid discharge mechanism 50 is provided adjacently to a vaporizer 11, an upper end of a raw material supply pipe 15 is connected to a bypass flow path 54 in a second raw material supply valve 74 of the liquid discharge mechanism 50, and respective valves 18 are disposed so as to supply an N2 gas and octane from the upper end side of the second raw material supply valve 74. Then, a different liquid discharge mechanism 50 is provided on the lower side of the raw material supply pipe 15, a supply pipe 14a extending from a raw material storage part 14 and a first raw material discharge pipe 61 for discharging the liquid material are connected to the liquid discharge mechanism 50, and in the case of discharging liquid inside the raw material supply pipe 15, the N2 gas and the octane are supplied from the upper side to the lower side to the inside of the raw material supply pipe 15.
摘要翻译：要解决的问题：当通过原料供给管从下侧向上侧供给液体材料时，容易从原料供给管的内部排出液体材料。解决方案：液体排放机构50与蒸发器11相邻地设置，原料供给管15的上端与液体排出机构50的第二原料供给阀74中的旁通流路54连接并且各个阀18被配置成从第二原料供给阀74的上端侧供给N2气和辛烷。然后，在原料供给管的下侧设置有不同的排液机构50 如图15所示，从原料收纳部14延伸的供给管14a和排出液体材料的第一原料排出管61连接到排液机构50，在排出原料供给管15内的液体的情况下，N 2气体和辛烷从原料供给管15的上侧向下侧供给到内侧。（C）2012年，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2009216228A Solenoid valve control device 有权
标题翻译：电磁阀控制装置
公开(公告)号：JP2009216228A
公开(公告)日：2009-09-24
申请号：JP2008063467
申请日：2008-03-13
申请人： Jatco Ltd , ジヤトコ株式会社
发明人： TABUCHI YOJI , YAMANE NOBUFUMI , TANIGUCHI HIROKI
IPC分类号： F16K31/06 , F16H59/08 , F16H59/42 , F16H59/72 , F16H59/74 , F16H61/00 , F16H61/12 , F16H61/68 , F16H61/684
CPC分类号： F16H61/0251 , F16H2061/0043 , F16H2061/1264 , Y10T137/0402 , Y10T137/0435 , Y10T137/4238 , Y10T137/4273
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the production of idling sound in a hydraulic control valve while efficiently removing a foreign matter by executing back-up control in conjunction with foreign matter removing control at foreign matter removing control.
SOLUTION: A control device includes a solenoid valve 2, a switching valve 3 taking solenoid pressure P [SOL] as operating signal pressure of a spool 31 and a foreign matter removing control means for removing the foreign matter in a valve opening/closing part of the solenoid valve 2. The solenoid valve 2 is formed of a first solenoid valve 21 and second solenoid valve 22. The switching valve 3 takes the first solenoid pressure P [SOL1] and second solenoid pressure P [SOL2] as the operating signal pressure. In the foreign matter removing control means, when current for removing the foreign matter is applied to a solenoid coil in one of the first solenoid valve 21 and second solenoid valve 22, the current application in which the solenoid pressure P [SOL] is taken as the maximum pressure area with respect to a solenoid coil of the other is maintained.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了防止在液压控制阀中产生空转声音，同时通过执行与外来物质去除控制中的异物去除控制相关的后续控制来有效地除去异物。解决方案：控制装置包括电磁阀2，以电磁阀P [SOL]作为阀芯31的操作信号压力的切换阀3和用于除去阀开启/关闭的异物的异物去除控制装置，闭合电磁阀2的部分。电磁阀2由第一电磁阀21和第二电磁阀22构成。切换阀3将第一电磁阀P [SOL1]和第二电磁阀P [SOL2] 信号压力。在异物去除控制装置中，当第一电磁阀21和第二电磁阀22中的一个电磁线圈施加用于去除异物的电流时，将电磁压力P [SOL]作为维持相对于另一个的螺线管线圈的最大压力面积。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP3993241B2 Liquid supply device 失效
公开(公告)号：JP3993241B2
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：JP50511198
申请日：1997-04-17
申请人：アトラスコプコベルマアクティエボラーグ
发明人：カウッピ，スーネ , サックスベック，ラース
IPC分类号： B25D17/26 , F16N7/30 , F16N7/32
CPC分类号： F16N7/32 , B25D17/26 , Y10S173/03 , Y10T137/3127 , Y10T137/4238 , Y10T137/8122

5. 发明专利

JP6342870B2 工業用途に有用な電気分解装置及び方法有权
公开(公告)号：JP6342870B2
公开(公告)日：2018-06-13
申请号：JP2015211907
申请日：2015-10-28
申请人：エコラボユーエスエーインコーポレイティド
发明人：ブランドンエル.ハート , リジュンチョン
IPC分类号： B65B55/10 , B65B55/04 , A61L2/20 , A61L2/24 , A61L101/22 , A61L101/36 , A61L2/18
CPC分类号： B65B55/02 , A01N59/00 , A61L2/186 , B65B55/10 , B67C2003/228 , C25B9/00 , C25B15/00 , Y10T137/4238 , A01N25/32 , A01N37/02 , A01N37/16 , A01N2300/00

6. 发明专利

JP5859523B2 波浪エネルギーシステム有权
标题翻译：波浪能系统
公开(公告)号：JP5859523B2
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：JP2013516519
申请日：2011-06-17
申请人：ハヴクラフトエーエス , HAVKRAFT AS
发明人：ソールハイムゲイルアルネ
IPC分类号： F03B13/24
CPC分类号： F03D9/002 , A01K61/60 , B63B21/50 , F03B13/142 , F03B13/24 , F03D7/0224 , F05B2210/18 , F05B2210/404 , F05B2220/7068 , F05B2240/13 , F05B2250/314 , Y02E10/32 , Y02E10/38 , Y02P60/64 , Y10T137/4238

7. 发明专利

JP2014501888A System and method for controllably sends a hydrocarbon gas to the hydrocarbon gas fuel system 审中-公开
公开(公告)号：JP2014501888A
公开(公告)日：2014-01-23
申请号：JP2013534239
申请日：2011-10-04
申请人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Machines Corporation
发明人：バヴィシ、パンカジ
IPC分类号： F17C13/00 , F17C7/02 , F17C13/04
CPC分类号： F02M21/0293 , F02D19/025 , F02D19/029 , F02M21/0212 , F23K5/007 , F23K2401/201 , F23K2900/05001 , Y02T10/32 , Y10T137/0318 , Y10T137/4238 , Y10T137/4358 , Y10T137/7504 , Y10T137/86389
摘要：【課題】炭化水素ガス燃料装置に炭化水素ガスを制御可能に送出するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】一実施形態によれば、開放状態と閉鎖状態とを有するバルブを使用して、圧力容器から供給管路への炭化水素ガスの流れを制御する。炭化水素ガス・センサは、空中炭化水素ガスを検出し、応答として信号を生成する。コントローラは、バルブが開放状態にある間に炭化水素ガス・センサからの信号に応答してバルブを閉鎖状態に自動的に移動させる。また、このコントローラは、少なくともバルブを閉鎖状態に移動させようと試みた後に炭化水素ガス・センサからの連続信号に応答して液体シーラントを供給管路に自動的に放出する。
【選択図】図１

8. 发明专利

JP2010064790A Storage container for liquid chlorosilane and closing lid therefor 有权
标题翻译：液体氯化硅储存容器及其封闭剂
公开(公告)号：JP2010064790A
公开(公告)日：2010-03-25
申请号：JP2009186121
申请日：2009-08-10
申请人： Mitsubishi Materials Corp , 三菱マテリアル株式会社
发明人： SASAKI TAKESHI , ITO TAKANORI
IPC分类号： B65D85/84
CPC分类号： F16K5/0631 , F16K27/067 , Y10T137/4238 , Y10T137/5109 , Y10T137/5283
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a storage container for a liquid chlorosilane which can reliably prevent the generation of corrosive gas caused by the leaking of its contents. SOLUTION: The storage container 10 for liquid chlorosilane L, having a tank 11 which stores the liquid chlorosilane, and a valve 40 which is attached to the tank 11 and connected to external pipes 21 and 31 through the valve 40 attachably and detachably, has: a connecting flange 42 provided in a housing 41 of the valve 40 and having a connecting surface 42a to be connected to the external pipes 21 and 31; and a closing lid 60 which is fixed to the connecting flange 42 to seal a space S between the closing lid and a valve body 44 of the valve 40, instead of the pipes. The closing lid 60 has a lid body 61 having a sealing surface 61a contacting the connecting surface 42a of the connecting flange 42, a supply pipe 62 which supplies an inert gas to a space S, a supply valve 63 which opens or closes the supply pipe 62, a discharge pipe 64 which discharges a gas from the space S, and a discharge valve 65 which opens or closes the discharge pipe 64. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种可以可靠地防止由其内容物泄漏引起的腐蚀性气体的产生的液体氯硅烷的储存容器。解决方案：用于液体氯硅烷L的储存容器10具有容纳液体氯硅烷的罐11和安装在罐11上并通过阀40连接到外部管21和31的阀40，该阀安装和拆卸具有：设置在阀40的壳体41中并具有连接到外管21和31的连接表面42a的连接凸缘42; 以及封闭盖60，其被固定到连接凸缘42，以密封封闭盖和阀40的阀体44之间的空间S而不是管。关闭盖60具有盖主体61，盖体61具有与连接凸缘42的连接面42a接触的密封面61a，向空间S供给惰性气体的供给管62，供给管63 62，从空间S排出气体的排出管64和打开或关闭排出管64的排出阀65.版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JPWO2014030421A1 パージ機能を備えたストッカと、ストッカユニット有权
标题翻译：和储料器与净化功能，储料器部
公开(公告)号：JPWO2014030421A1
公开(公告)日：2016-07-28
申请号：JP2014531533
申请日：2013-06-21
申请人：村田機械株式会社
发明人：村田　正直 , 正直村田 , 山路　孝 , 孝山路
IPC分类号： B65G1/14 , H01L21/673
CPC分类号： B08B5/02 , B65G1/00 , B65G45/00 , H01L21/67393 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , Y10T137/4238
摘要：パージ機能を備えた間口と備えない間口とが共存でき、かつパージ機能を備えない間口をパージ機能を備えた間口に容易に変更できるストッカを提供する。上下方向あるいは水平方向に沿って、クリーンガスの供給用ノズルを備えない棚受けを複数取り付け自在なストッカのフレームに、ストッカユニットのベースが取り付けられている。ストッカユニットは、ベースに沿って設けられているクリーンガスの供給用のパイプと、ベースに取り付けられ、かつ上下方向あるいは水平方向に沿って配列されている、複数のパージ機能付き棚受けとを備え、棚受けはコンテナを支持自在で、かつコンテナにパイプからクリーンガスを供給するノズルを備えている。
摘要翻译：它可以共存和正面不设置有具有净化功能的正面，并提供能够容易地改变，而不正面清除功能在正面具有净化功能的储料器。垂直或沿水平方向，而不清洁气体的供给喷嘴到多个安装自如储料器帧中的搁板支承，基于储存单元被安装。储料器单元包括用于清洁气体的供应，其沿着基体的配管，安装在基座上，并且沿着垂直方向或水平方向上，以及多个净化功能搁架支撑布置和用于从管搁架支撑供给清洁气体的喷嘴自由支撑容器，和该容器。

10. 发明专利

JP2013535016A With automatic zero point calibration and flushing, the differential pressure sensor valve assembly 有权
公开(公告)号：JP2013535016A
公开(公告)日：2013-09-09
申请号：JP2013518321
申请日：2011-05-27
申请人：テアー・ハイドロニクス・アクチボラグTa Hydronics Ab
发明人：ジルデューロス、ダニエル
IPC分类号： G01L27/00 , F16K11/07 , G01L13/00 , G01L19/00
CPC分类号： F16K1/32 , G01L19/0015 , G01L27/002 , Y10T137/4238 , Y10T137/7779 , Y10T137/778 , Y10T137/7925 , Y10T137/86775 , Y10T137/86839 , Y10T137/87249
摘要： A valve assembly (1) included in a system for measuring differential pressures in a fluid system and where the valve assembly (1) includes a valve body (7) with an inlet (13) and an outlet (14) for connection to the fluid system, ducts (32, 33) for communication with a differential pressure sensor (12) for registration the differential pressure, a cavity (22) including a calibration cone (10) which is movable in the cavity (22) between a measuring position and a position for zero point calibration/flushing via the valve assembly (1). In instances when the measuring position of the device does not exists, the calibration cone (10) separates the differential pressure sensor (12) from the fluid system, i.e., in its initial position, and, at the same time, the valve assembly (1), in this position, is automatic flushed so as to get rid of any enclosed air in the valve assembly (1).

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