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1. 发明专利

JP2009076906A Method and apparatus for changing laser pulse length 审中-公开
标题翻译：改变激光脉冲长度的方法和装置
公开(公告)号：JP2009076906A
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：JP2008237413
申请日：2008-09-17
申请人： Schott Ag , ショットアクチエンゲゼルシャフトSchott AG
发明人： BURKERT ALFONS , BERGMANN JOACHIM , TRIEBEL WOLFGANG , NATURA UTE
IPC分类号： H01S3/10 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/18
CPC分类号： H01S3/0057 , H01S3/101 , H01S3/225 , Y10S372/70
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and apparatus for generating laser pulses of various different pulse lengths or pulse duration times, from a single incidence laser pulse of a predetermined length so as to be adaptable in a simple and quick manner to various different laser systems and/or different applications. SOLUTION: The apparatus 10, 20 for changing the length or duration time of an incident laser pulse includes at least one beam splitter 1, 11, 21 for dividing the incident laser pulse into a first partial pulse and a second partial pulse, and a plurality of reflecting mirrors, arranged so as to guide the first partial pulse along a delay propagation route 2, 12, 22 by making the first partial pulse bend. At least one beam splitter 1, 11, 21 can be shifted to an engaging position G or to a non-engaging position N. When the beam splitter is at the non-engaging position N, the splitter is positioned outside the laser beam propagation path 4, and when the splitter is at the engaged position G, the splitter is positioned inside the laser beam propagation path 4. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：解决的问题：提供从预定长度的单次入射激光脉冲产生各种不同脉冲长度或脉冲持续时间的激光脉冲的方法和装置，以便以简单和快速的方式适应各种不同的激光系统和/或不同的应用。解决方案：用于改变入射激光脉冲的长度或持续时间的装置10,20包括至少一个用于将入射激光脉冲分成第一部分脉冲和第二部分脉冲的分束器11,21，以及多个反射镜，被布置成通过使第一部分脉冲弯曲而沿着延迟传播路径2,12,22引导第一部分脉冲。至少一个分束器1,11,21可以移动到接合位置G或非接合位置N.当分束器处于非接合位置N时，分束器位于激光束传播路径的外部如图4所示，并且当分离器处于接合位置G时，分离器位于激光束传播路径4内。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP4774761B2 Wavelength tunable resonator, a tunable laser, an optical module and a control method thereof 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP4774761B2
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：JP2005059641
申请日：2005-03-03
申请人：日本電気株式会社
发明人：裕幸山崎
IPC分类号： H01S3/083 , H01S5/14
CPC分类号： G02F1/0147 , G02B6/12007 , G02F1/011 , G02F2203/15 , H01S3/106 , H01S5/0064 , H01S5/02216 , H01S5/02248 , H01S5/02284 , H01S5/02446 , H01S5/142 , Y10S372/70

4. 发明专利

JP2009147333A Pulse modifier, lithographic apparatus, and device manufacturing method 有权
标题翻译：脉冲修正器，光刻设备和器件制造方法
公开(公告)号：JP2009147333A
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：JP2008312093
申请日：2008-12-08
申请人： Asml Netherlands Bv , エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
发明人： BOTMA HAKO
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70983 , G03F7/7055 , Y10S372/70
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pulse modifier, a related lithographic apparatus, and a device manufacturing method.
SOLUTION: The pulse modifier is so configured as to receive the input pulse of radiation and emit a plurality of corresponding output pulse portions of radiation. Each pulse portion is reflected symmetrically about an axis that traverses the optical axis of the pulse portion, as well as, being reflected symmetrically about a point on the optical axis of the pulse portion.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供脉冲修正器，相关的光刻设备和器件制造方法。解决方案：脉冲修改器被配置为接收辐射的输入脉冲并且发射多个相应的辐射的输出脉冲部分。每个脉冲部分围绕穿过脉冲部分的光轴的轴对称地被对称地反射，并且围绕脉冲部分的光轴上的点被对称地反射。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2007512693A Compact advanced repetition laser system design 有权
公开(公告)号：JP2007512693A
公开(公告)日：2007-05-17
申请号：JP2006540379
申请日：2004-11-25
申请人：ハイキューレーザープロダクションゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
发明人：コプフ、ダニエル , レデラー、マクシミリアン、ヨーゼフ
IPC分类号： H01S3/107 , H01S3/00 , H01S3/081 , H01S3/098 , H01S3/106 , H01S3/23
CPC分类号： H01S3/106 , H01S3/0057 , H01S3/0615 , H01S3/08004 , H01S3/0813 , H01S3/1055 , H01S3/1618 , H01S3/17 , H01S3/235 , H01S2301/08 , Y10S372/70
摘要：本発明は、再現可能な増幅器原理によって操作する高度に繰り返すレーザーシステムに関する。前記システムは、少なくとも一つの増幅したレーザー媒質（６）と、少なくとも一つの共振ミラー（５）と少なくとも一つの変調器（３）と前記レーザー媒質（６）をポンプするために用いられるポンプ源、特にレーザーダイオード源とを備えたレーザー共振器とからなる。前記高度繰り返しレーザーシステムは、構造又は材料によって高度分散効果を有するパルス拡張器（７）がレーザー共振器に集積化されることのおかげでコンパクトである。

6. 发明专利

JPS5954279A High power fluid gas laser unit 失效
标题翻译：高功率流体气体激光器单元
公开(公告)号：JPS5954279A
公开(公告)日：1984-03-29
申请号：JP15146283
申请日：1983-08-18
申请人： Metalworking Lasers Int
发明人： IISAN DEI HOOGU , GUREN DABURIYU ZAIDAAZU
IPC分类号： H01S3/03 , H01S3/05 , H01S3/07 , H01S3/08 , H01S3/081 , H01S3/22
CPC分类号： H01S3/05 , H01S3/073 , H01S3/081 , Y10S372/70

7. 发明专利

JP4838295B2 Pulse modifier, lithographic apparatus 有权
公开(公告)号：JP4838295B2
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：JP2008312093
申请日：2008-12-08
申请人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
发明人：ボツマ，ハコ
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , H01S3/00
CPC分类号： G03F7/70983 , G03F7/7055 , Y10S372/70
摘要： A pulse modifier, and associated lithographic apparatus and a method for manufacturing a device, is disclosed. The pulse modifier is configured to receive an input pulse of radiation and further configured to emit a plurality of corresponding output pulse portions of radiation, wherein the respective pulse portions are respectively mirrored about an axis transverse to the optical axis and mirrored about a point of the optical axis of the pulse portions.

8. 发明专利

JP4313785B2 Helical optical pulse stretcher 有权
公开(公告)号：JP4313785B2
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：JP2005151508
申请日：2005-05-24
申请人：エーエスエムエルホールディングエヌ.ブイ.
发明人：エムアルバートマイケル
IPC分类号： G02B5/04 , H01L21/027 , G03F7/20 , H01S3/00 , H01S3/08 , H01S3/13
CPC分类号： G03F7/7055 , G03F7/70041 , G03F7/70058 , H01S3/0057 , Y10S372/70

9. 发明专利

JP2006245346A Wavelength variable resonator, wavelength variable laser, optical module and control method thereof 有权
标题翻译：波长可变谐振器，波长变化激光器，光学模块及其控制方法
公开(公告)号：JP2006245346A
公开(公告)日：2006-09-14
申请号：JP2005059641
申请日：2005-03-03
申请人： Nec Corp , 日本電気株式会社
发明人： YAMAZAKI HIROYUKI
IPC分类号： H01S3/083 , H01S5/14
CPC分类号： G02F1/0147 , G02B6/12007 , G02F1/011 , G02F2203/15 , H01S3/106 , H01S5/0064 , H01S5/02216 , H01S5/02248 , H01S5/02284 , H01S5/02446 , H01S5/142 , Y10S372/70
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To realize high reliability, high performance and low cost, and perform wavelength monitoring with a simpler configuration by overcoming problems in a conventional wavelength variable laser.
SOLUTION: A wavelength variable laser 10 is provided with a multiple ring resonator 20 in which ring resonators 21-23 having different optical path lengths are coupled with each other; input/output side waveguide 12 connected to the ring resonator 21; reflector side waveguide 14 connected to the ring resonator 23; PLC substrate 15 on which the resonator 20, the waveguide 12 and the waveguide 14 are formed; high reflection film 16 provided on the waveguide 14; SOA 17 connected to the waveguide 12; film-like heaters 22h, 23h and a phase control region 171 of the SOA 17 for changing the resonant wavelength of the resonator 20; and light-receiving element 21p for detecting the resonant wavelength of the resonator 20 in a through port 11t of a directional coupler 11.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：为了实现高可靠性，高性能和低成本，并且通过克服常规波长可变激光器中的问题，以更简单的配置执行波长监测。解决方案：波长可变激光器10设置有多环谐振器20，其中具有不同光程长度的环形谐振器21-23彼此耦合; 连接到环形谐振器21的输入/输出侧波导12; 连接到环形谐振器23的反射器侧波导14; 其上形成有谐振器20，波导12和波导14的PLC基板15; 设置在波导14上的高反射膜16; 连接到波导12的SOA 17; 用于改变谐振器20的谐振波长的SOA 17的薄膜状加热器22h，23h和相位控制区域171; 以及用于检测定向耦合器11的通孔11t中谐振器20的谐振波长的光接收元件21p。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

10. 发明专利

JP2005340826A Helical optical pulse stretcher 有权
标题翻译：螺旋光学脉冲拉伸器
公开(公告)号：JP2005340826A
公开(公告)日：2005-12-08
申请号：JP2005151508
申请日：2005-05-24
申请人： Asml Holding Nv , エーエスエムエルホールディングナームローゼフェンノートシャップ
发明人： ALBERT MICHAEL M
IPC分类号： G02B5/04 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01S3/00 , H01S3/08 , H01S3/13
CPC分类号： G03F7/7055 , G03F7/70041 , G03F7/70058 , H01S3/0057 , Y10S372/70
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact pulse stretcher capable of significantly lengthening a pulse from a lithographic lighting source and to provide a lithographic system including such a stretcher.
SOLUTION: The pulse stretcher and the lithographic system including the stretcher wherein the pulse stretcher includes a single pass pulse stretcher, a first prism and a second prism disposed on either surface of the single pass pulse stretcher, and a beam is incident on the single pass pulse stretcher and reflected in a helical path using the first and the second prisms for a multiple pass passing through the single pass pulse stretchers are provided.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

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