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    • 9. 发明专利
    • 露光装置
    • 曝光装置
    • JPWO2015029819A1
    • 2017-03-02
    • JP2015534143
    • 2014-08-18
    • 株式会社村田製作所
    • 智也 渡邉尚弥 松岡茂樹 山根
    • G03F9/00H05K3/00
    • H05K3/184G03F9/7084G03F9/7088H01L23/544H01L2223/54426H01L2924/0002H05K1/0269H05K2201/09918H05K2203/0557H05K2203/1527H05K2203/166H01L2924/00
    • ワークの裏面に設けられたアライメントマークであっても、確実にマスクアライメントマークと位置合わせすることができ、高い精度でマスクパターンをワーク上に露光する露光装置を提供する。本発明に係る露光装置は、マスクアライメントマーク131が設けられたマスク13と、マスク13を保持するマスクホルダ12と、マスクアライメントマーク131が設けられた面135に対向する面と反対側の面145にワークアライメントマーク141を有するワーク14を搭載して固定するステージ15とを備える。ステージ15は、搭載されたワーク14のワークアライメントマーク141の撮像時に、ワーク14のサイズより外側の位置で像が形成されるよう、内部で光を奇数回反射させる光学部品を備え、該光学部品を介して形成された像に基づいて、マスクアライメントマーク131とワークアライメントマーク141とを位置合わせする。
    • 所提供的工作的背表面上,即使对准标记,能可靠地与所述掩模对准标记对准,以提供暴露的掩模图案上以高精度在工件的曝光装置。 根据本发明的曝光装置,标记提供所述掩模对准131的掩模13,掩模支架12,该表面相反的面对表面上的掩模对准标记131的135的平面被设置145来保持掩模13 和用于固定的台15安装在具有一个工件对准标记141的工件14。 台15,工件对准的成像时标志着安装工件14的141,从而形成在尺寸上比工件14的外位置处的图像,其包括用于反射的奇数倍的光在内部,光学部件的光学部件 基于通过形成,对准掩模对准标记131和工件对准标记141在图像上。