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热词
    • 9. 发明专利
    • リフトオフ方法及び超音波ホーン
    • 提升方法和超声波
    • JP2016021464A
    • 2016-02-04
    • JP2014144064
    • 2014-07-14
    • 株式会社ディスコ
    • 小柳 将
    • B23K26/57H01L21/268H01L21/02
    • H01S5/0217H01L33/0079B32B38/10B32B43/006H01L21/2026H01L21/7813Y10T156/1121Y10T156/1158Y10T156/1917Y10T156/1922
    • 【課題】光デバイス層からエピタキシー基板を円滑に剥離できるようにすること。 【解決手段】光デバイスウエーハ(10)では、エピタキシー基板(11)の表面(11a)にGaを含むGa化合物からなるバッファー層(13)を介して光デバイス層(12)が積層されている。光デバイスウエーハの光デバイス層に移設基板(20)を接合した後、エピタキシー基板の裏面(11b)側からエピタキシー基板に対しては透過性を有しバッファー層に対しては吸収性を有する波長のパルスレーザー光線をバッファー層に照射し、エピタキシー基板とバッファー層との境界面に剥離層を形成する。その後、エピタキシー基板の外周部に超音波振動を発振する超音波ホーン(42)を接触させてエピタキシー基板を振動させ、移設基板からエピタキシー基板を剥離し、光デバイス層を移設基板に移設する。 【選択図】図7
    • 要解决的问题:从光器件层平滑地剥离外延基板。解决方案:光学器件晶片(10)通过层叠光学器件层(12)而形成,该器件层(12)经由缓冲层(13) Ga在外延基板(11)的表面(11a)上。 在将转印衬底(20)接合到光学器件晶片的光学器件层之后,具有相对于外延衬底具有导磁率的波长的脉冲激光束和相对于缓冲层的吸光度从 外延衬底的后表面(11b)侧,并且在外延衬底和缓冲层之间的界面上形成剥离层。 然后,使振动超声波振动的超声波喇叭(42)与外延基板的外周部分接触,使外延基板振动,将外延基板从转印基板剥离,并将光学元件层转印到转印 图7
    • 10. 发明专利
    • 発光素子及びその製造方法
    • 发光元件及其制造方法
    • JP2015035542A
    • 2015-02-19
    • JP2013166571
    • 2013-08-09
    • ソニー株式会社Sony Corp
    • HAMAGUCHI TATSUFUMIKURAMOTO MASARUMAEDA YUUKIKAZETAGAWA MUNEYUKI
    • H01S5/183H01S5/343
    • H01S5/3013H01S5/0215H01S5/0216H01S5/0217H01S5/183H01S5/18311H01S5/18341H01S5/18361H01S5/18369H01S5/18388H01S5/18391H01S5/34333H01S2304/12
    • 【課題】共振器の長さの均一化を図り得る構成、構造を有する発光素子の製造方法を提供する。【解決手段】発光素子の製造方法は、発光素子製造用基板11上に多層膜から成り凸部形状を有する第1光反射層41を形成し、次いで、その上に、GaN系化合物半導体から成る第1化合物半導体層21、活性層23及び第2化合物半導体層22が積層されて成る積層構造体20を形成した後、第2化合物半導体層22上に第2電極32及び多層膜から成る第2光反射層42を形成し、次いで、第2光反射層42を支持基板26に固定した後、発光素子製造用基板11を除去して、第1化合物半導体層21及び第1光反射層41を露出させ、次いで、露出した第1化合物半導体層21をエッチングした後、少なくともエッチングされた第1化合物半導体層21の上に第1電極31を形成する各工程を備えている。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供具有能够实现谐振器的长度均衡的结构的发光元件的制造方法。解决方案:发光元件制造方法包括以下步骤:在发光元件制造基板11上形成 第一光反射层41,由多层膜构成,具有凸形状; 随后在第一光反射层41上形成由GaN基化合物半导体构成的第一化合物半导体层21,有源层23和第二化合物半导体层22堆叠的层叠结构体20。 随后在第二化合物半导体层22上形成第二电极32和由多层膜构成的第二光反射层42; 随后将第二光反射层42固定到支撑基板26上; 随后去除发光元件制造基板11以露出第一化合物半导体层21和第一光反射层41; 随后蚀刻暴露的第一化合物半导体层21; 并且随后至少在蚀刻的第一化合物半导体层21上形成第一电极31。