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1. 发明专利

JP5522149B2 How operation monitoring screen display device and operation monitoring screen display 有权
公开(公告)号：JP5522149B2
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：JP2011245546
申请日：2011-11-09
申请人：横河電機株式会社
发明人：慎一永井 , 靖典小林
IPC分类号： G05B23/02
CPC分类号： G09G5/00 , G05B19/41875 , G05B23/0272 , G05B2219/31466 , G05B2219/31472 , G05B2219/31478 , G05B2219/31479 , G06F3/01 , G09G5/14 , Y02P90/22

2. 发明专利

JP2015176878A 半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラム有权
标题翻译：半导体波形位置显示系统，半导体波形位置显示方法和半导体波形位置显示程序
公开(公告)号：JP2015176878A
公开(公告)日：2015-10-05
申请号：JP2014049682
申请日：2014-03-13
申请人：エピクルー株式会社
发明人：岡部晃 , 田野口正訓 , 富澤淳一
IPC分类号： G06F3/048 , H01L21/66 , H01L21/68
CPC分类号： G05B19/402 , G06F3/04847 , H01L21/67259 , G05B2219/31466 , G05B2219/35491
摘要：【課題】ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、ユーザに対してわかり易く表示することができる半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラムを提供する。【解決手段】本発明の半導体ウェーハ位置表示システムは、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信部と、データ受信部が受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御部とを備え、画面表示制御部は、データ受信部が受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御部を有する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种半导体晶片位置显示系统，半导体晶片位置显示方法以及半导体晶片位置显示程序，其能够可靠地显示安装在晶片安装单元上的半导体晶片的适当布置位置的偏差一种半导体晶片位置显示系统，包括：数据接收单元，其接收由半导体晶片位置测量装置获得的测量数据，该测量数据用于测量安装在晶片安装单元上的适当布置位置的偏差 ; 以及屏幕显示控制器，其基于由数据接收单元接收的测量数据，控制显示屏，用于可视地显示半导体晶片的正确布置位置的偏差。屏幕显示控制器具有通过基于由数据接收单元接收的测量数据显示半导体晶片的周长来表示半导体晶片的正确布置位置偏离的圆周显示屏幕控制器。

3. 发明专利

JP5470002B2 Display method in the substrate processing apparatus and a substrate processing apparatus 有权
公开(公告)号：JP5470002B2
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：JP2009260498
申请日：2009-11-13
申请人：株式会社日立国際電気
发明人：潤一川崎
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： G06F7/00 , G05B19/409 , G05B2219/31312 , G05B2219/31466 , G05B2219/35312 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , H01L21/67757 , H01L21/67769

4. 发明专利

JP2011518425A Vao productivity suite 有权
公开(公告)号：JP2011518425A
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：JP2010547824
申请日：2009-02-20
申请人：ムラテックオートメーション株式会社
发明人：マイケルエイクックソン , カールシェー , ジョセフジョンファトゥラ , ドナルドレックスライト , ノーマビーリリー
IPC分类号： H01L21/02 , G05B19/418 , G06F3/048
CPC分类号： G05B19/41885 , G05B2219/31334 , G05B2219/31466 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , Y02P90/16 , Y02P90/185 , Y02P90/26 , Y02P90/86
摘要：【課題】一連の製造設備でのトランスポートを改善すること【解決手段】半導体製造設備（製造所）の物理的システムおよび特性を仮想的にモデル化するように、製造所のコンフィギュレーションモジュールが構成される。製造所の物理的システムとインターフェースし、これら物理的システムからの作動データを収集するようにデータ取得モジュールが構成される。物理的システムから集められた作動データを収集し、集合するように、可視化モジュールが構成され、この可視化モジュールは、更に作動データを視覚的レンダリングに適したフォーマットとなるように処理するよう構成される。処理された作動データは可視化モジュールによって制御されるグラフィカルユーザーインターフェース内の製造所の視覚的コンテキスト内にディスプレイされる。可視化モジュールによって収集されたデータを分析し、製造所の働きに関する問い合わせに回答するように、分析モジュールが構成される。可視化モジュールによって収集されたデータ、分析モジュールによって発生されたデータ、またはそれらの組み合わせに応答し、製造所内のシステムを制御するように最適化モジュールが構成される。
【選択図】図１Ａ

5. 发明专利

JP2010161346A Substrate processing apparatus and display method for substrate processing apparatus 有权
标题翻译：用于基板处理装置的基板处理装置和显示方法
公开(公告)号：JP2010161346A
公开(公告)日：2010-07-22
申请号：JP2009260498
申请日：2009-11-13
申请人： Hitachi Kokusai Electric Inc , 株式会社日立国際電気
发明人： KAWASAKI JUNICHI
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： G06F7/00 , G05B19/409 , G05B2219/31312 , G05B2219/31466 , G05B2219/35312 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , H01L21/67757 , H01L21/67769
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To easily obtain a position, a transportation origin and a transportation destination of a carrier or a boat during a carrying operation. SOLUTION: A substrate processing apparatus includes: a carrying system configured to carry a substrate; a manipulation unit configured to display an operation state of the carrying system on a manipulation screen; and a control unit configured to control an operation of the carrying system. The manipulation unit displays a carrying system icon indicating the carrying system to be carried and a carrying-out icon in a predetermined position on the manipulation screen corresponding to the transportation origin of the carrying system, and a carrying-in icon in a predetermined position on the manipulation screen corresponding to the transportation destination of the carrying system. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：在携带操作期间容易地获得承运人或船的位置，运输来源和运输目的地。解决方案：基板处理装置包括：承载系统，其构造成承载基板; 操作单元，被配置为在操作屏幕上显示所述携带系统的操作状态; 以及控制单元，被配置为控制所述承载系统的操作。操作单元在与运送系统的运送原点相对应的操作画面上的预定位置显示表示携带系统的携带系统图标，以及在预定位置上的搬运图标与运送系统的运送目的地对应的操作画面。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP5710817B1 半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラム有权
标题翻译：半导体晶片的位置显示系统中，在半导体晶片的位置显示方法，以及半导体晶片的位置显示节目
公开(公告)号：JP5710817B1
公开(公告)日：2015-04-30
申请号：JP2014049682
申请日：2014-03-13
申请人：エピクルー株式会社
发明人：岡部晃 , 田野口正訓 , 富澤淳一
IPC分类号： G06F3/048 , H01L21/66 , H01L21/68
CPC分类号： G05B19/402 , G06F3/04847 , H01L21/67259 , G05B2219/31466 , G05B2219/35491
摘要：【課題】ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、ユーザに対してわかり易く表示することができる半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラムを提供する。【解決手段】本発明の半導体ウェーハ位置表示システムは、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信部と、データ受信部が受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御部とを備え、画面表示制御部は、データ受信部が受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御部を有する。【選択図】図1
摘要翻译：类似放置其他半导体晶圆载置适当的名称位置上的晶片载置部骂卢移WO，用户Nitaishite清楚地显示古城飞蛾可以是半导体晶片位置的显示系统，半导体晶片位置显示方法和半导体晶片位置显示提供的程序。本发明的半导体晶片的位置显示系统中，接受了晶片安装放置半导体晶片部分，由该半导体晶片位置从正确的位置测量所述偏差测量装置获得的测量数据即，基于由所述数据接收单元接收测量数据的数据接收单元，以及用于控制显示屏幕用于在视觉上从半导体晶片中，屏幕的适当的布置位置显示所述偏差的画面显示控制部显示控制单元，基于由所述数据接收单元的测量数据接收来自半导体晶片的适当放置位置的偏差，具有周向显示屏幕控制单元通过显示半导体晶片的周缘来表达。点域1

7. 发明专利

JP5339096B2 Vao productivity suite 有权
公开(公告)号：JP5339096B2
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：JP2010547824
申请日：2009-02-20
申请人：村田機械株式会社
发明人：カールシェー , マイケルエイクックソン , ノーマビーリリー , ドナルドレックスライト , ジョセフジョンファトゥラ
IPC分类号： H01L21/02 , G05B19/418 , G06F3/048
CPC分类号： G05B19/41885 , G05B2219/31334 , G05B2219/31466 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , Y02P90/16 , Y02P90/185 , Y02P90/26 , Y02P90/86
摘要： A semiconductor fabrication facility (fab) configuration module is defined to virtually model physical systems and attributes of a fab. A data acquisition module is defined to interface with the physical systems of the fab and gather operational data from the physical systems. A visualizer module is defined to collect and aggregate the operational data gathered from the physical systems. The visualizer module is further defined to process the operational data into a format suitable for visual rendering. The processed operational data is displayed within a visual context of the fab in a graphical user interface controlled by the visualizer module. An analyzer module is defined to analyze data collected by the visualizer module and to resolve queries regarding fab performance. An optimizer module is defined to control systems within the fab in response to data collected by the visualizer module, data generated by the analyzer module, or a combination thereof.

8. 发明专利

JP2013101544A Operation monitoring screen display apparatus and operation monitoring screen display method 有权
标题翻译：操作监视画面显示装置和操作监视画面显示方法
公开(公告)号：JP2013101544A
公开(公告)日：2013-05-23
申请号：JP2011245546
申请日：2011-11-09
申请人： Yokogawa Electric Corp , 横河電機株式会社
发明人： NAGAI SHINICHI , KOBAYASHI YASUNORI
IPC分类号： G05B23/02
CPC分类号： G09G5/00 , G05B19/41875 , G05B23/0272 , G05B2219/31466 , G05B2219/31472 , G05B2219/31478 , G05B2219/31479 , G06F3/01 , G09G5/14 , Y02P90/22
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an operation monitoring screen display apparatus and an operation monitoring screen display method that allow a display part by a division display screen to be easily grasped.SOLUTION: Reception means 31 receives a selection of a screen to be displayed among a plurality of division screens. Division screen display means 32 displays the selected screen through the reception means 31. Map display means 33 displays a map in which process elements constituting a process and a display area are made to correspond, and also shows a display area, corresponding to a process element included in the screen displayed by the division screen display means 32 on the map.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种操作监视画面显示装置和操作监视画面显示方法，其能够容易地掌握通过分割显示画面的显示部分。解决方案：接收装置31在多个划分屏幕之间接收要显示的屏幕的选择。分区画面显示装置32通过接收装置31显示所选择的画面。地图显示装置33显示使构成处理和显示区域的处理元件对应的映射，并且还显示对应于处理元件的显示区域包括在由地图上的分割画面显示装置32显示的画面中。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

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