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    • 2. 发明专利
    • 群管理システム及びプログラム
    • 集团管理制度与方案
    • JP2015037086A
    • 2015-02-23
    • JP2013167371
    • 2013-08-12
    • 東京エレクトロン株式会社Tokyo Electron Ltd
    • KOYAMA NORIAKI
    • H01L21/02G05B19/418
    • G05B19/4185G05B2219/31208G05B2219/31443H04L67/125H04L67/36Y02P90/18
    • 【課題】製造装置のダウンタイムを短くすることができる群管理システム及びプログラムを提供する。【解決手段】群管理システム1は、製造装置30と、サーバ装置60と、を有している。製造装置30は、所定の処理に関する情報を表示する製造装置側表示部と、装置各部の温度、圧力、流量、電力を含む情報を取得する取得部と、取得部により取得された情報をサーバ装置に送信する取得情報送信部と、を備えている。サーバ装置60は、送信された情報を格納する格納部と、格納された情報を解析する解析部と、格納された情報、及び、解析された情報を表示するサーバ装置側表示部と、を備えている。さらに、製造装置30は、製造装置側表示部から直接、サーバ装置側表示部を操作する遠隔操作機能部を備えている。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供可以降低制造装置的停机时间的组管理系统和程序。解决方案:组管理系统1包括制造装置30和服务器装置60.制造装置30包括: 制造装置侧显示部,其显示关于预定处理的信息; 获取包括装置的每个部分的温度,压力,流量和功率的信息的获取部分; 以及获取的信息发送部分,其将由获取部分获得的信息发送到服务器设备。 服务器装置60包括:存储部,其存储发送的信息; 分析部分,分析存储的信息; 以及显示所存储的信息和分析信息的服务器装置侧显示部。 此外,制造装置30包括从制造装置侧显示部直接操作服务器装置侧显示部的遥控功能部。