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1. 发明专利

JP5955454B2 製版処理廃液の濃縮方法及びリサイクル方法有权
标题翻译：方法和回收的浓缩制版处理废物的方法
公开(公告)号：JP5955454B2
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：JP2015505322
申请日：2014-02-05
申请人：富士フイルム株式会社
发明人：渡辺年宏
IPC分类号： G03F7/00 , C02F1/04 , G03F7/30
CPC分类号： G03F7/3092 , B41N3/08

2. 发明专利

JP2012518274A Spent developer reuse 审中-公开
公开(公告)号：JP2012518274A
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：JP2011550120
申请日：2010-01-28
申请人：イーストマンコダックカンパニー
发明人：カルマンシャミア , モシェマロム
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , G03F7/30
CPC分类号： G03F7/3057 , G03F7/3071 , G03F7/3092
摘要：版処理装置に備わる現像液再利用装置であって、未使用現像液容器（１３）と、版処理に備え未使用現像液容器（１３）から現像液を受け入れる（１５）よう構成されている現像部用タンク（１０）と、現像部用タンク（１０）から使用済の現像液を受け入れる（１６）よう構成されている使用済現像液容器（１４）と、使用済の現像液の導電率に応じ使用済現像液容器（１４）からの返戻で現像液を補給する（２１）よう構成されている補給手段と、を備える。

3. 发明专利

JPWO2004112952A1 界面活性剤回収法有权
公开(公告)号：JPWO2004112952A1
公开(公告)日：2006-07-27
申请号：JP2005507302
申请日：2004-06-18
申请人：ダイキン工業株式会社
发明人：永井　隆文 , 隆文永井 , 藤井　和久 , 和久藤井 , 英明浅井 , 英明浅井
IPC分类号： B01D11/00 , B01D11/04 , B01D19/00 , B01J3/00 , B01J15/00 , B08B7/00 , G03F7/30 , H01L21/304 , H01L21/311
CPC分类号： B01D19/0068 , B01D11/0407 , D06F43/08 , G03F7/3092 , H01L21/31133
摘要：本発明は、少なくとも1種の界面活性剤を含む水−二酸化炭素系から界面活性剤を回収する方法であって、該水−二酸化炭素系を脱水剤と接触させて水を除き、界面活性剤を回収する方法に関する。また、本発明は、二酸化炭素、二酸化炭素と相溶性を有する界面活性剤及び/又は助溶媒、並びに除去対象物を含む混合系を循環させる循環ライン中に該除去対象物の選択的除去装置を設け、該混合系を循環させて、前記界面活性剤及び/又は助溶媒に取り込まれた該除去対象物を選択的に除去することを特徴とする方法に関する。

4. 发明专利

JP2006510048A Developing device operating methods and developing device 审中-公开
公开(公告)号：JP2006510048A
公开(公告)日：2006-03-23
申请号：JP2004559760
申请日：2003-12-05
申请人：ウエストファリアセパレーターアーゲー
发明人：ヘルムートクノーブレヒナー， , ラルフクレインハウス， , ウルリヒシュミット， , アレキサンダーシラー， , ステファンディーツェル， , マーティンファーマン， , ユルゲンマッケル， , ヴォルフガングラウ，
IPC分类号： G03F7/30
CPC分类号： G03F7/3092
摘要：本発明は、好ましくはＣＴＰプロセスで、印刷プレート、特にはオフセット印刷プレートを作製する現像装置の動作方法に関する。前記方法によれば、汚染された現像液が分離機（６）に送り込まれて処理される。少なくとも一部の汚染物質は、前記分離機の遠心領域で現像液から分離される。現像装置は、現像液を入れるものでありかつ分離機に接続された、容器（１）を備えている。

6. 发明专利

JPWO2003005129A1 感光性樹脂印刷版の製版方法及び現像液処理装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2003005129A1
公开(公告)日：2004-10-28
申请号：JP2003511038
申请日：2002-07-02
申请人：東レ株式会社
发明人：久美子朝戸 , 久美子朝戸 , 田中　眞二 , 眞二田中 , 俊喜鬼頭 , 俊喜鬼頭 , 克裕上原 , 克裕上原
IPC分类号： G03F7/26 , B01D3/10 , B01D3/14 , C02F1/04 , G03F7/00 , G03F7/30 , G03F7/32
CPC分类号： B01D3/10 , C02F1/048 , G03F7/24 , G03F7/3092
摘要：水現像可能な感光性樹脂層を有する印刷版材に▲1▼活性光線を照射することにより感光性樹脂層に潜像を形成する露光工程、▲2▼潜像を形成した感光性樹脂層を、水を主成分とする現像液中に溶解または分散させることにより潜像からレリーフ像を形成する現像工程、▲3▼レリーフ像を形成した版材から現像液を除去する乾燥工程を少なくとも有する感光性樹脂印刷版の製版方法であって、現像工程で発生する感光性樹脂層成分を溶解または分散した現像液を減圧蒸留することで現像液として再利用し、減圧蒸留による残さを固形化することを特徴とする感光性樹脂印刷版の製版方法。また、感光性樹脂層成分を含有する現像液の処理装置であって、前記現像液を減圧する蒸発器と、蒸発した現像液を凝縮して回収する冷却器とを有し、かつ前記蒸発器内に取り外し可能な内容器を有することを特徴とする感光性樹脂印刷版材の現像液の処理装置。感光性樹脂印刷版材、特に水現像可能な感光性樹脂印刷版材の現像により発生した現像液を、現像速度の低下や感光性樹脂層成分の凝集を発生させることなく再利用することができる。

7. 发明专利

JP2004070031A Method of treating developer waste of photosensitive resin plate 审中-公开
公开(公告)号：JP2004070031A
公开(公告)日：2004-03-04
申请号：JP2002229604
申请日：2002-08-07
申请人： Asahi Kasei Chemicals Corp , 旭化成ケミカルズ株式会社
发明人： ARAKI YOSHIFUMI , TAKAHASHI KATSUHIRO
IPC分类号： G03F7/32 , C02F1/04 , C02F1/52 , F26B21/04 , G03F7/26
CPC分类号： G03F7/3092 , G03F7/24
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an economically superior method of treating a developer waste liquid.
SOLUTION: The method of treating a developer waste liquid produced in the processes of exposing a water-developable photosensitive resin plate and then removing the unexposed part with at least water and a developer containing water and a surfactant to develop, is characterized in that water is vaporized under the condition of ≤2 atm to separate a concentrated liquid containing the resin in the unexposed part from a condensed liquid essentially comprising water.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO

8. 发明专利

KR102234732B1 KR102234732B1 - Developer recycling system for negative photoresist 有权
公开(公告)号：KR102234732B1
公开(公告)日：2021-04-01
申请号：KR1020190026207A
申请日：2019-03-07
申请人： 캡시스템(주)
发明人： 박경용 , 강동현
IPC分类号： G03F7/30
CPC分类号： G03F7/3092
摘要： 본 발명은 네거티브 포토레지스트용 현상액 재생 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 반도체 및 디스플레이 제조에 있어 네거티브 포토레지스트를 이용한 현상공정 후 회수된 현상폐액을 재생하는 네거티브 포토레지스트용 현상액 재생 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 네거티브 포토레지스트용 현상액 재생 시스템의 일 실시예는 네거티브 포토레지스트를 이용한 현상공정 후 회수된 현상폐액이 담기는 현상폐액 회수 탱크와, 현상폐액 회수 탱크에 담긴 현상폐액 내에 포함된 포토레지스트(photoresist)를 응집시키기 위해 현상폐액에 자외선(ultraviolet, UV)을 조사하는 자외선 조사수단과, 자외선 조사수단에 의해 응집된 포토레지스트가 포함된 현상폐액이 담기는 현상폐액 분류 탱크와, 현상폐액 분류 탱크 내의 하부에 배치되며 응집된 포토레지스트를 부상시키기 위해 현상폐액 분류 탱크 내부에 미세 버블을 공급하는 미세 버블 공급수단과, 그리고 현상폐액 분류 탱크에 담김 현상폐액 중 상부의 현상폐액을 제거하는 상부 현상폐액 제거수단을 포함한다. 그리고 상부 현상폐액 제거수단에 의해 제거되는 상부의 현상폐액에는 미세 버블 공급수단에 의해 상부로 부상된 응집된 포토레지스트가 포함된다.

10. 发明专利

JP6005604B2 現像処理装置有权
公开(公告)号：JP6005604B2
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：JP2013162536
申请日：2013-08-05
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：滝口靖史 , 山本太郎 , 池田義謙 , 吉村好貴 , 岡本芳樹 , 福田昌弘
IPC分类号： G03F7/30 , B05C11/08 , B05C11/10 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/16 , G03F7/3021 , G03F7/3092 , H01L21/67017

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