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    • 9. 发明专利
    • プロセス残渣を含有する組成物からの水酸化オニウムの改善された回収のための方法
    • 从含有工艺残留物的组合物中改善羟基氧化还原的方法
    • JP2015134344A
    • 2015-07-27
    • JP2014265481
    • 2014-12-26
    • サッチェム,インコーポレイテッド
    • シャロン ウォン音川 隆一
    • C07C209/86C07C211/63C02F1/42
    • C07C209/86B01J39/05B01J39/07B01J47/026B01J47/15B01J49/06B01J49/53C02F1/42G03F7/3092C02F2001/425C02F2101/38C02F2103/40C02F2305/04
    • 【課題】回収された水酸化オニウムまたは塩溶液の再利用に許容可能な水酸化オニウムを回収するために、フォトレジスト残渣のようなプロセス残渣を効率的に除去しつつ、水酸化オニウム溶液をリサイクルする方法を提供する。 【解決手段】オニウムイオンおよびプロセス残渣を含有する組成物に、ある量の界面活性剤を添加して界面活性剤改質組成物を得、該オニウムイオンを、該界面活性剤改質組成物を該カチオン交換媒体に接触させ、該オニウムイオンが、該カチオン交換媒体に結合されて保持されるようになり、かつ該プロセス残渣及び該界面活性剤が、該カチオン交換媒体に結合されず該カチオン交換媒体に実質的に保持されない様にし、カチオン含有水酸化物組成物を該カチオン交換媒体に適用することにより、該オニウムイオンを該カチオン交換媒体から水酸化オニウムとして回収する方法。 【選択図】なし
    • 要解决的问题:提供一种循环氢氧化鎓溶液的方法,同时有效地除去诸如光致抗蚀剂残余物的工艺残留物以回收对于回收的氢氧化鎓或盐溶液的再利用可接受的氢氧化鎓。解决方案: 提供回收的鎓离子,其包括:向含有鎓离子的组合物加入给定量的表面活性剂和加工残留物以获得表面活性剂改性的组合物; 使表面活性剂改性的组合物与阳离子交换介质接触,使得鎓离子与阳离子交换介质结合并保留,同时将工艺残基和表面活性剂与阳离子交换介质结合或基本上保留 阳离子交换介质; 以及通过将阳离子的氢氧化物组合物应用于阳离子交换介质,从阳离子交换介质中回收鎓离子作为氢氧化鎓。