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1. 发明专利

JP6213369B2 測定装置有权
公开(公告)号：JP6213369B2
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：JP2014099814
申请日：2014-05-13
申请人：三菱電機株式会社
发明人：野口貴也 , 岡田章 , 竹迫憲浩
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/26
CPC分类号： G01R1/06777 , G01R1/04 , G01R1/067 , G01R31/2601 , G01R31/2881 , G01R31/2887

2. 发明专利

JP2015087269A 半導体評価装置および半導体評価方法有权
标题翻译：半导体评估设备和半导体评估方法
公开(公告)号：JP2015087269A
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：JP2013226222
申请日：2013-10-31
申请人：三菱電機株式会社
发明人：岡田章 , 野口貴也 , 竹迫憲浩 , 山下欽也 , 秋山肇
IPC分类号： G01R1/073 , G01R31/28 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/2808 , G01R1/18 , G01R1/06777 , G01R1/07314 , G01R1/07371
摘要：【課題】より高効率に、素子の測定中に発生し得る部分放電をより確実に抑制することを可能とする半導体評価装置および半導体評価方法を提供する。【解決手段】評価用治具12と、プローブ基体2とを備えている。評価用治具12は、複数の半導体装置10が載置可能に設けられている。プローブ基体2は、評価用治具12と対向するように設けられ、コンタクトプローブ23と、電界を遮蔽可能な遮蔽部22と、コンタクトプローブ23を保持する絶縁性基体21とを含んでいる。評価用治具12は複数の前記半導体装置10のそれぞれを個別に載置可能とするように枠部13で区画された複数の収納部17を含んでいる。枠部13とプローブ基体2とが近接することにより複数の収納部17とプローブ基体2との間に複数の半導体装置10のそれぞれが載置される空間が形成された状態で複数の素子にコンタクトプローブ23を接触可能に構成されている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种半导体评估装置和半导体评估方法，其能够更有效且更可靠地抑制能够在元件的测量期间产生的局部放电。解决方案：半导体评估装置包括评估夹具12和探针基板2.评估夹具12被布置成能够安装多个半导体器件10.探针基板2被布置成面向评估夹具12，并且包括接触探针23，能够屏蔽电场的绝缘基板21和保持接触探针23的绝缘基板21.评估夹具12包括多个存储部17，其被框架部13隔开，以便能够安装多个半导体设备10分别。在通过使框架部13和探针基板2彼此靠近而形成用于安装多个半导体装置10的多个存储部17和探针基板2之间的空间的状态下，接触探针23 可以与多个元件接触。

3. 发明专利

JP2014053454A Measuring apparatus and measuring method, and element manufacturing method including measuring method 有权
标题翻译：测量装置和测量方法以及包括测量方法的元件制造方法
公开(公告)号：JP2014053454A
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：JP2012196977
申请日：2012-09-07
申请人： Sumitomo Electric Ind Ltd , 住友電気工業株式会社
发明人： SAKAI MITSUHIKO , MASUDA TAKEYOSHI , HIRATSUKA KENJI
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/26
CPC分类号： G01R1/06777 , G01R1/06783
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measuring apparatus and a measuring method in which the contact portion of an electrode and a probe can be covered with an insulating solution surely, and to provide a manufacturing method using the measuring apparatus.SOLUTION: A measuring apparatus includes a probe 1 for applying a voltage to the electrode of an element, and a supply member 2 for supplying an insulating solution 20 to the contact portion 10C of the electrode and the probe 1 via the surface of the probe 1. Consequently, the insulating solution 20 can be supplied surely to the contact portion 10C of the electrode and the probe 1 via the surface of the probe 1 positioned for the electrode.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种测量装置和测量方法，其中可以确保用绝缘溶液覆盖电极和探针的接触部分，并提供使用该测量装置的制造方法。解决方案：测量装置包括用于向元件的电极施加电压的探针1和用于经由探针1的表面向绝缘溶液20提供绝缘溶液20的供给构件2供给到电极和探针1的接触部分10C。因此，绝缘体溶液20可以经由位于电极的探针1的表面被可靠地供应到电极和探针1的接触部分10C。

4. 发明专利

JP5438691B2 Test equipment 有权
公开(公告)号：JP5438691B2
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：JP2010545745
申请日：2010-01-06
申请人：株式会社アドバンテスト
发明人：周作佐藤
IPC分类号： G01R31/28 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2889 , G01R1/06777

5. 发明专利

JP2012247196A Semiconductor test jig 有权
标题翻译： SEMICONDUCTOR TEST JIG
公开(公告)号：JP2012247196A
公开(公告)日：2012-12-13
申请号：JP2011116583
申请日：2011-05-25
申请人： Mitsubishi Electric Corp , 三菱電機株式会社
发明人： SHIKAGUCHI NAOTO , IKEGAMI MASAAKI
IPC分类号： G01R31/26 , G01R1/06 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/04 , G01R1/06777 , G01R31/129 , G01R31/2879 , G01R31/2886 , G01R31/2887 , H01L22/14
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor test jig in which discharging in a terminal portion of a semiconductor can be prevented during a test.SOLUTION: A semiconductor test jig according to the present invention comprises a substrate 1 on which there are arranged a probe pin 3 and an insulator 2 which is provided to enclose the probe pin 3 in a planar view, and a stage 6 which is disposed oppositely to a surface at a side of the substrate 1 where the probe pin 3 and the insulator 2 are arranged, and in which a test object 4 can be placed on a surface at a side of the substrate 1. When the test object 4 is placed on the stage 6 and the substrate 1 and the stage 6 are moved in such a direction as to approach each other, the probe pin 3 is brought into contact with an electrode formed in the test object 4 and the insulator 2 is brought into contact with the test object 4.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种半导体测试夹具，其中在测试期间可以防止在半导体的端子部分中的放电。解决方案：根据本发明的半导体测试夹具包括：基板1，其上设置有探针3和设置成在俯视图中包围探针3的绝缘体2，以及台6 与基板1的布置有探针3和绝缘体2的一侧的表面相对地设置，并且其中可以在基板1的一侧的表面上放置被检测体4。 4放置在平台6上，并且基板1和台架6沿彼此接近的方向移动，探针3与形成在被测物体4中的电极接触，并且将绝缘体2带入与测试对象接触4.版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JPWO2010079746A1 試験装置有权
公开(公告)号：JPWO2010079746A1
公开(公告)日：2012-06-21
申请号：JP2010545745
申请日：2010-01-06
申请人：株式会社アドバンテスト
发明人：周作佐藤 , 周作佐藤
IPC分类号： G01R31/28 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2889 , G01R1/06777
摘要：被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスと対向して配置され、被試験デバイスを試験するモジュールが設けられるテストヘッドと、テストヘッドおよび被試験デバイスの間に配置されて信号を伝送するプローブアセンブリとを備え、プローブアセンブリには、互いに所定の間隔で配置される複数の低電圧ピンと、複数の低電圧ピンにおけるそれぞれの低電圧ピンとの距離が所定の間隔よりも大きくなるように配置され、低電圧ピンよりも高い電圧の信号を伝送する複数の高電圧ピンとが設けられ、複数の高電圧ピンにおけるそれぞれの高電圧ピンは、プローブアセンブリの面を2等分した領域のいずれか一方にのみ配置される試験装置を提供する。

7. 发明专利

JP6339345B2 半導体評価装置および半導体評価方法有权
公开(公告)号：JP6339345B2
公开(公告)日：2018-06-06
申请号：JP2013226222
申请日：2013-10-31
申请人：三菱電機株式会社
发明人：岡田章 , 野口貴也 , 竹迫憲浩 , 山下欽也 , 秋山肇
IPC分类号： G01R1/073 , G01R31/28 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/2808 , G01R1/06777 , G01R1/07314 , G01R1/07371 , G01R1/18

8. 实用新型

JP3211220U プローブカード有权
公开(公告)号：JP3211220U
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：JP2017001712
申请日：2017-04-17
申请人：旺▲夕▼科技股▲分▼有限公司
发明人： ▲蔡▼錦溢 , 陳建宏
IPC分类号： G01R1/06 , G01R31/26
CPC分类号： G01R1/06777
摘要：【課題】試験性能及び効率を向上させ、被検出物との不要な接触による被検出物の破壊の可能性を低減させることができるプローブカードを提供する。【解決手段】配線板110と、配線板に結合され、吸気孔121を有するキャップ120と、通気孔132を有し、キャップの有する底面122に対向し、キャップに対向する頂面133aを有し、その頂面がキャップの底面と共に、吸気孔と通気孔とを連通させる均質化空間HSを定義する第1のリング131と、第1のリングに移動可能に結合され、通気孔と連通する吐出孔137を有し、キャップと反対側に位置する底面138を有し、吐出孔の出口が第2のリング136の底面に位置し、その内側壁が第1のリングの内側壁と共に圧力空間PSを定義する第2のリングと、を含み、キャップに接続される伸縮構造130と、配線板に電気的に接続され、圧力空間の中に延出するプローブ140と、を備える。【選択図】図3

9. 发明专利

JP2015215312A 測定装置有权
标题翻译：测量工具
公开(公告)号：JP2015215312A
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：JP2014099814
申请日：2014-05-13
申请人：三菱電機株式会社
发明人：野口貴也 , 岡田章 , 竹迫憲浩
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/26
CPC分类号： G01R1/06777 , G01R1/04 , G01R1/067 , G01R31/2601 , G01R31/2881 , G01R31/2887
摘要：【課題】本発明は、一般的構成を維持しつつ放電を抑制できる測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】被測定物をのせるステージと、貫通孔を有する絶縁基板と、該絶縁基板の下面に固定されたプローブと、該プローブを囲む形状の側壁部と、該貫通孔を介して該絶縁基板の下方側へガスを送る、該絶縁基板の上面に設けられた加圧部と、該プローブと電気的に接続され、該加圧部を制御する測定部と、を備える。そして、該測定部は、該加圧部を制御して、該ステージ、該側壁部、及び該絶縁基板で囲まれ該絶縁基板の下方側に位置する測定空間にガスを供給して該測定空間の圧力を上昇させた状態で、該プローブを介して該被測定物の電気的特性を測定する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够在保持常用配置的同时抑制放电的测量装置。解决方案：测量装置包括：放置测量对象的阶段; 具有通孔的绝缘基板; 固定在绝缘基板的下表面的探针; 围绕探针的形状的侧壁部分; 压缩机，设置在所述绝缘基板的上表面上，以通过所述通孔将气体供给到所述绝缘基板的下侧; 以及测量单元，其与所述探针电连接并控制所述压缩机。测量单元控制压缩机将气体供应到位于绝缘基板下侧的测量空间中，测量空间被平台，侧壁部分和绝缘基板包围，以增加测量中的压力空间，并且在这种状态下通过探头测量测量对象的电特性。

10. 发明专利

JP5414739B2 Semiconductor test jig 有权
公开(公告)号：JP5414739B2
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：JP2011116583
申请日：2011-05-25
申请人：三菱電機株式会社
发明人：直斗鹿口 , 雅明池上
IPC分类号： G01R31/26 , G01R1/06 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/04 , G01R1/06777 , G01R31/129 , G01R31/2879 , G01R31/2886 , G01R31/2887 , H01L22/14

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