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1. 发明专利

JP2012518166A Measuring apparatus and method for detecting hydrocarbon components in the gas 有权
公开(公告)号：JP2012518166A
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：JP2011549611
申请日：2010-02-18
申请人：ベコーテヒノロギースゲーエムベーハー
发明人：パルサルフランツ，ヨーゼフ , ペントベルント , ペントマックス
IPC分类号： G01N31/00 , G01N27/60 , G01N31/10 , G01N33/00
CPC分类号： G01N27/66 , G01N33/0006 , G01N33/0024 , G01N33/0026 , G01N33/0047
摘要：本発明は気体中の炭化水素比を検出するための測定装置に関する。前記測定装置は、第１の気体流と第２の気体流中の炭化水素比を計測し、前記第１の気体流と前記第２の気体流の両方が同一の気体源から発し、前記第１の気体流そのまま前記測定装置に供給され、前記第２の気体流は下処理されて前記測定装置に供給されることを特徴とする。
【選択図】図２

2. 发明专利

JP4254263B2 Gas flow rate measuring device and a gas flow rate measurement method 有权
公开(公告)号：JP4254263B2
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：JP2003037014
申请日：2003-02-14
申请人：日産自動車株式会社
发明人：明信森山
IPC分类号： G01F1/00 , G01F1/704 , G01N27/407 , G01N33/00 , H01M8/04
CPC分类号： G01F1/704 , G01N27/407 , G01N33/0026

3. 发明专利

JP2004138595A Method and apparatus for measuring gas flow rate 有权
公开(公告)号：JP2004138595A
公开(公告)日：2004-05-13
申请号：JP2003037014
申请日：2003-02-14
申请人： Nissan Motor Co Ltd , 日産自動車株式会社
发明人： MORIYAMA AKINOBU
IPC分类号： G01F1/00 , G01F1/704 , G01N27/407 , G01N33/00 , H01M8/04
CPC分类号： G01F1/704 , G01N27/407 , G01N33/0026
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately measure the flow rate of a gas to be measured, and to measure the flow rate of a specific gas component contained in the gas to be measured.
SOLUTION: A gas to be measured is added with a specific gas component of the gas to be measured or a target gas which is deferent from it, or it is extracted from the gas to be measured, and concentration C1 and C2 of the specific gas component is detected before and after addition or extraction of the target gas. In a first mode, a flow rate Q1 of the gas to be measured is calculated based on the concentration C1 and C2 which is detected and a flow rate q3 of the target gas which is added or extracted. In a second mode, a means for detecting the flow rate Q1 of the gas to be measured is provided, and based on the detected flow rate Q1 and the concentration C1 and C2, the flow rate q3 of the target gas that have been added or extracted is detected.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO

4. 发明专利

JPS61130864A Detection of impure gas 失效
标题翻译：检测气体
公开(公告)号：JPS61130864A
公开(公告)日：1986-06-18
申请号：JP25347984
申请日：1984-11-30
申请人： Nippon Paionikusu Kk
发明人： ASANO FUSHINOBU , OTSUKA KENJI
IPC分类号： G01N25/18 , G01N27/18 , G01N33/00
CPC分类号： G01N33/0026
摘要： PURPOSE:To detect the mixing of a trace of impure gas accurately, by feeding a refined gas and a measuring gas alternately to the sample side of a heat conductivity detector by switching. CONSTITUTION:First, valves 8a and 8b are opened while a valve 8c closed and a refined gas is fed to the reference side 4 and the sample side 6 of a heat conductivity detector 1 from branches 5a and 5b and the base line of the potential difference of a recorder 2 is adjusted to zero. Then, the valve 8b is closed while the valve 8c is opened to feed a measuring gas to the sample side 6. After a fixed time passes, the valve 8c is closed and the valve 8b is opened to switch the refined gas over to the sample side 6. Thereafter, this operation is repeated to feed the refined gas and the measuring gas alternately to the sample side 6 by switching. Here, when any impure gas is contained in the measuring gas, the potential difference due to the heat conductivity of the impure gas increases or decreases by a step each time the refined gas and the measuring gas are switched and this variation is recorded on a recorder 2 thereby enabling the detection of the content thereof.
摘要翻译：目的：通过切换，将精细气体和测量气体交替地传送到热导检测器的样品侧，以精确地检测痕量不纯气体的混合。构成：首先，在阀8c闭合并且精细气体从分支5a和5b以及电位差的基线被供给到参考侧4和导热性检测器1的样品侧6的同时打开阀8a和8b 的记录器2被调整为零。然后，阀8b关闭，同时阀8c打开以将测量气体供给到样品侧6.固定时间过后，阀8c关闭，阀8b打开以将精炼气体转换到样品然后重复该操作，通过切换将精炼气体和测量气体交替地供给到样品侧6。这里，当测量气体中含有不纯气体时，由于不纯气体的导热性引起的电位差每当精炼气体和测量气体被切换并且这种变化被记录在记录器上时逐渐增加或减小 2，从而能够检测其内容。

5. 发明专利

JP2016058642A 粒子供給装置及び方法审中-公开
标题翻译：颗粒供应装置和方法
公开(公告)号：JP2016058642A
公开(公告)日：2016-04-21
申请号：JP2014185514
申请日：2014-09-11
申请人：株式会社東芝
发明人：平野雅輝 , 黒田雄一
IPC分类号： H01L21/673 , G01N15/06 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67389 , G01N1/2214 , G01N1/2226 , G01N1/405 , G01N2001/2223 , G01N33/0026
摘要：【課題】ダスト侵入評価の際の環境条件を制御することができる粒子供給装置及び方法を提供する。【解決手段】一実施形態に係る粒子供給装置は、筐体と、粒子供給部と、を備える。筐体は、FOUPに設けられた基板搬出口と基板処理装置のロードポートに設けられた基板搬入口との空間を密閉する。粒子供給部は、筐体内に粒子を供給する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种控制粉尘入侵评估过程中的环境条件的颗粒供应装置和方法。解决方案：根据一个实施例的颗粒供应装置包括：壳体; 和粒子供给部。壳体密封设置在前开口统一容器的衬底搬出口与设置在衬底处理装置的负载端口处的衬底输入口之间的空间。颗粒供应部分将颗粒提供给外壳。选择图：图1

6. 发明专利

JP5492001B2 Exhaust gas analysis system 有权
公开(公告)号：JP5492001B2
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：JP2010166435
申请日：2010-07-23
申请人：株式会社堀場製作所
发明人：喜則大槻 , 政良篠原 , 和郎花田
IPC分类号： G01N1/22
CPC分类号： G01N33/0026 , G01M15/102 , G01N15/0618 , G01N2001/2255

7. 发明专利

JP2003066008A Photoionization detector and method for continuous operation and real time self cleaning 有权
标题翻译：光电探测器和连续运行和实时自清洁方法
公开(公告)号：JP2003066008A
公开(公告)日：2003-03-05
申请号：JP2002155806
申请日：2002-05-29
申请人： Rae Systems Inc , ラエ・システムズ・インコーポレイテッド
发明人： SUN HONG T , HSI PETER C
IPC分类号： G01N27/64 , G01N27/66 , G01N33/00 , H01J41/02
CPC分类号： G01N33/0026 , G01N27/66 , G01N33/0029 , G01N33/0047 , H01J41/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photoionization detector (PID) capable of simultaneously carrying out measurement and self-cleaning.
SOLUTION: This photoionization detector PID has a microprocessor (MP), a first gas detecting unit (DUI), and a second gas detecting unit (DU2). The MP controls the DU1 and the DU2, and it always streams environmental gas (EG) through one ionization chamber (ICh) and detains the EG in the ICh of the other DU. A UV lamp (UV) converts oxygen in the EG to ozone, and it removes contaminated substances in the ICh. When the PID has only one DU, the MP controls the DU, and intermittently interrupts the flow of the EG of the ICh. As for measurement of real time self-cleaning and concentration of volatile gas (VG) by the PID, the PID measures the concentration of the VG by streaming the EG through the ICh of the DU1, and the EG passing through the ICh of the DU2 is hermetically sealed in the inside to be used for self- cleaning. The UV converts oxygen contained in the EG in the ICh of the DU2 to ozone, and removes contaminated substances in the ICh of the DU2.
COPYRIGHT: (C)2003,JPO
摘要翻译：要解决的问题：提供能够同时进行测量和自清洁的光电离检测器（PID）。解决方案：该光电离检测器PID具有微处理器（MP），第一气体检测单元（DUI）和第二气体检测单元（DU2）。 MP控制DU1和DU2，它总是通过一个电离室（ICh）流出环境气体（EG），并扣留另一个DU的ICh中的EG。 UV灯（UV）将EG中的氧气转化为臭氧，并清除ICh中的污染物质。当PID只有一个DU时，MP控制DU，间歇地中断ICh的EG的流动。对于PID的实时自清洁和挥发性气体浓度的测量，PID通过DU1的ICh流动EG测量VG的浓度，EG通过DU2的ICh 密封在内部用于自洁。 UV将DU2的ICh中的EG中所含的氧转化为臭氧，并除去DU2的ICh中的污染物质。

8. 发明专利

JPS59182334A Cell for measuring gas component 失效
标题翻译：用于测量气体成分的气体
公开(公告)号：JPS59182334A
公开(公告)日：1984-10-17
申请号：JP5751383
申请日：1983-03-31
申请人： Shimadzu Corp
发明人： OKA SHIYOUTAROU , TAWARA OSAMU , KOBAYASHI JIYUNYA
IPC分类号： G01N5/02 , G01N33/00
CPC分类号： G01N33/0026
摘要： PURPOSE:To measure the gas component in good respondency by forming the gas introducing tube part into a cell to the double-tube structure for reference and sample gases and situating the opening surface in the vicinity of the center part of a piezoelectric element plate formed with a gas sensitive film. CONSTITUTION:The humidity measuring cell 9 contains a humidity sensor 3 forming a humidity-sensitive film 33' at the center part of the surface of the piezoelectric element plate 31 through a film electrode 32, and consists of a gas exhausting tube part 2 and a cell vessel 4 having the tubes 10, 11 for introducing the sample and reference gases. The opening part 12 of the tubes 10 and 11 in the cell is of double-tube structure, and the opening surface 13 opposes at the vicinity of the center part of the plate 31. The reference gas and the sample gas are allowed to flow alternately, and the humidity of the sample gas is measured from the variation of the response of the sensor 3. The adverse influence due to the gas adsorption is decreased by separating the introducing tubes for the reference and sample gases, and the respondency and sensitivity of the humidity sensor are improved by introducing the gas to the center part of the piezoelectric element plate under the double-tube structure condition.
摘要翻译：目的：通过将气体导入管部分形成单元到双管结构中作为参考和样品气体，并将形成有压电元件板的中心部分附近的开口表面定位，以良好的响应度测量气体成分气敏膜。湿度测量单元9包含湿度传感器3，湿度传感器3通过薄膜电极32在压电元件板31的表面的中心部分处形成湿敏膜33'，并由排气管部分2和具有用于引入样品和参考气体的管10,11的细胞容器4。电池中的管10和11的开口部分12是双管结构的，并且开口表面13在板31的中心部分附近相对。使参考气体和样品气体交替流动，并且根据传感器3的响应的变化来测量样品气体的湿度。通过分离用于参考和样品气体的引入管来减少由于气体吸附而产生的不利影响，并且响应和灵敏度通过在双管结构条件下将气体引入压电元件板的中心部分来改善湿度传感器。

9. 发明专利

JP5895061B2 ガスの炭化水素分を検出するための測定器および方法有权
标题翻译：仪器和方法，用于检测气体的烃含量
公开(公告)号：JP5895061B2
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：JP2014539263
申请日：2012-08-30
申请人：ベコーテヒノロギースゲーエムベーハー
发明人：フリードリヒ,マーチン
IPC分类号： G01N27/00 , G01N33/00
CPC分类号： G01N33/0047 , G01N33/0014 , G01N33/0026

10. 发明专利

JP2015127679A ガス分析装置有权
标题翻译：气体分析仪
公开(公告)号：JP2015127679A
公开(公告)日：2015-07-09
申请号：JP2013273411
申请日：2013-12-27
申请人：株式会社堀場製作所
发明人：水野裕介 , 生田卓司 , 荒川実里
IPC分类号： G01N21/76
CPC分类号： G01N21/766 , G01N33/0026 , G01N2201/129
摘要：【課題】化学発光法により試料ガス中の所定成分の濃度を精度よく測定することができるガス分析装置を提供する。【解決手段】ガス分析装置100は、ガス分析部1と、発光誘発成分発生部2と、測定信号算出部31と、を有する。ガス分析部1は、所定成分を含んだ試料ガス及び/又は基準ガスと、発光誘発ガスとを導入可能である。また、ガス分析部1は、所定成分と発光誘発成分との相互作用により発生する反応光の強度に基づいた検出信号を出力する。発光誘発成分発生部2は、放電発生間隔の時間を空けて繰り返し発生される放電により発光誘発ガスを発生する。測定信号算出部31は、試料ガスと発光誘発ガスとが導入されることにより発生する反応光に基づいた第1検出信号と、基準ガスと発光誘発ガスとが導入されることにより発生する反応光に基づいた第2検出信号とに基づいて、第1測定信号を算出する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够通过化学发光法精确测定样品气体中的规定成分浓度的气体分析装置。气体分析装置100具有气体分析装置1，发光诱导成分生成装置2 和测量信号计算单元31.气体分析单元1可以引入包括预定组分的样品气体和/或参考气体以及发光诱导气体。气体分析单元1基于由预定组分和发光诱导组分的相互作用产生的反应光的强度输出检测信号。发光诱导分量产生单元2通过在放电产生间隔反复产生的放电产生发光诱导气体。测量信号计算单元31基于在引入样本气体和发光诱导气体时产生的反应光的第一检测信号来计算第一测量信号，并且基于产生的反应光的第二检测信号当引入参考气体和发光诱导气体时。

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