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1. 发明专利

JP2012516435A Method for measuring and observing the wavefront using the spectrophotometric 有权
公开(公告)号：JP2012516435A
公开(公告)日：2012-07-19
申请号：JP2011546844
申请日：2010-01-28
申请人：コミッサリアアレネルジーアトミークエオゼネルジザルタナテイヴ
发明人：エルヴェピオンビーニ，
IPC分类号： G01M11/00 , G01J9/02
CPC分类号： G01J9/00 , G01J3/42 , G01N21/95 , G01N2021/8438 , G01N2021/9511 , G02B5/285
摘要： A method for measuring a wave surface of an optical component formed of a stack of at least two layers of different refraction indices from reflection or transmission measurements of points located on a face of the said optical component.

2. 发明专利

JPWO2009031605A1 ワーク欠陥検査装置およびそれを用いた光学部材の製造方法有权
公开(公告)号：JPWO2009031605A1
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：JP2009531267
申请日：2008-09-04
申请人：株式会社ニコン
发明人：正樹落合 , 正樹落合 , 祐平新田 , 祐平新田
IPC分类号： G01N21/896 , G01N21/64 , G01N21/89
CPC分类号： G01M11/02 , G01M11/0207 , G01N21/958 , G01N2021/9511
摘要：ガラスレンズなどの光学部材に適用されるワーク欠陥検査装置において、光学部材に含まれる不可視の欠陥を検査できるようにする。ワーク欠陥検査装置1は、120〜380nmの範囲内に属する任意の波長を測定波長とする光源5と、この光源5から出射された光を拡散させる拡散光学系9とを備えている。また、この拡散光学系9によって拡散した光を平行光束にするコリメータ12と、光源5から出射された光の光軸上でワーク19を保持するワーク保持装置20とを備えている。さらに、ワーク保持装置20に保持されたワーク19を透過した光のうち紫外光を紫外光用CCDカメラ16に導く紫外光結像系15と、紫外光以外の光を蛍光用CCDカメラ18に導く蛍光結像系17とを備えている。これにより、ワーク19中の不可視の欠陥を検出することができる。

3. 发明专利

JP2009156702A Image pickup device for lens 有权
标题翻译：用于镜头的图像拾取器件
公开(公告)号：JP2009156702A
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：JP2007334895
申请日：2007-12-26
申请人： Hoya Corp , Hoya株式会社 , Jeneshia:Kk , 株式会社ジェネシア
发明人： TAKEYAMA NORIHIDE , TANAKA NORIHISA
IPC分类号： G01M11/00 , G01N21/958
CPC分类号： G01M11/0257 , G01N21/958 , G01N2021/9511
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image pickup processing device for a lens having a large brightness difference of light transmitted through a hidden mark and an unmarked portion of a lens, and high reliability, capable of acquiring a clear image. SOLUTION: Light L emitted from a light source 31 is reflected by a half mirror 35, converted into parallel light L 1 by a collimator lens 36, and then irradiated onto a convex surface 1a of a test lens 1 and transmitted therethrough. A corner-cube prism 49 provided on a rotation reflector 43 totally reflects the light L 1 transmitted through the test lens 1 and retroreflecting the light L 1 in the same direction as an incident direction. When transmitted only through the unmarked portion of the test lens 1, the reflected light L 2 becomes retroreflected light having a small light flux diameter because of slight diffusion. Hereby, there is no light loss caused by an aperture stop 37, and when the light is condensed on a CCD 40A of an imaging device 40, a bright image is formed. On the other hand, since light L 3 transmitted through the mark 3C is diffused greatly, it becomes divergent reflected light having a large light flux diameter, and the light loss caused by the aperture stop 37 is large. Hereby, when the light is condensed on the CCD 40A, a dark mark image having low illuminance is formed. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：解决的问题：提供一种能够获得清晰图像的透镜具有通过隐藏标记和未标记部分透镜的亮度差大的透镜的图像拾取处理装置，并且具有高可靠性。解决方案：由光源31发射的光L被半反射镜35反射，被准直透镜36转换成平行光L 1 ，然后照射到测试透镜1并透射。设置在旋转反射器43上的角立方棱镜49全反射透过测试透镜1的光L 1 ，并将光L 1 沿与事件方向。当仅通过测试透镜1的未标记部分传输时，由于轻微的扩散，反射光L 2变为具有小光通量的回射光。因此，没有由孔径光阑37引起的光损失，并且当光在成像装置40的CCD 40A上聚光时，形成明亮的图像。另一方面，由于通过标记3C透射的光L 3 大大地扩散，所以成为具有大的光通量的发散的反射光，并且由孔径光阑37引起的光损耗大。因此，当光在CCD 40A上聚光时，形成具有低照度的暗标记图像。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2009036593A Inspection device, inspection method, inspection system, color filter manufacturing method, inspection device control program, computer-readable recording medium with the same program recorded thereon 有权
标题翻译：检查装置，检查方法，检查系统，彩色滤光片制造方法，检查装置控制程序，与其记录的相同程序的计算机可读记录介质
公开(公告)号：JP2009036593A
公开(公告)日：2009-02-19
申请号：JP2007199979
申请日：2007-07-31
申请人： Sharp Corp , シャープ株式会社
发明人： IDONO TAMON
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/24 , G01M11/00 , G02B5/20 , G02F1/13 , G02F1/1335 , G09F9/00
CPC分类号： G01N21/8851 , G01B11/245 , G01N21/95 , G01N2021/8887 , G01N2021/9511 , G01N2021/9513 , G02B5/223
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To detect only streaky irregularities of a specific cycle causing a film thickness difference from a normal film thickness. SOLUTION: The inspection device 4 includes: a streaky irregularity detection part 12 for detecting streaky irregularities in each of an image L obtained by imaging pixels arranged on an inspecting object substrate P with light applied thereto from a first direction and an image R obtained by imaging the pixels with light applied thereto from a second direction different from the first direction; a specific cycle irregularity extraction part 13 for extracting a plurality of streaky irregularities detected at previously determined intervals T in a direction vertical to the streaky irregularities on the object substrate P for each of the images L and R; and a detecting object irregularity extraction part 14 for extracting the streaky irregularities detected in both the images L and R as detecting object streaky irregularities. This makes it possible to detect only streaky irregularities of the specific cycle, which arise owing to the existence of pixels causing the film thickness difference from pixels of the normal film thickness. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：仅检测导致与正常膜厚度的膜厚度差异的特定循环的条纹不规则性。检查装置4包括：条纹不规则检测部12，用于检测通过对从第一方向施加的检查对象基板P上配置的像素成像得到的图像L中的条纹不规则，以及图像R 通过从与第一方向不同的第二方向施加到其上的光成像像素获得的; 特定的循环不规则提取部13，用于针对每个图像L和R，提取在与对象基板P上的条纹不规则垂直的方向上以先前确定的间隔T检测的多个条纹不规则; 以及检测对象不规则提取部14，用于提取在图像L和R中检测到的条纹不规则性作为检测对象条纹不规则。这使得可以仅检测由于存在导致与正常膜厚度的像素的膜厚差异的像素而引起的特定循环的条纹不规则。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2018072516A 位置検出方法及び光モジュール审中-公开
公开(公告)号：JP2018072516A
公开(公告)日：2018-05-10
申请号：JP2016210890
申请日：2016-10-27
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：鈴木智史 , 港谷恭輔
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02 , G01J3/45 , G02B26/06
CPC分类号： G01J3/0289 , B81B7/0067 , B81B2201/042 , G01B9/02015 , G01B2290/15 , G01D5/266 , G01J3/0256 , G01J3/4532 , G01J3/4535 , G01N21/95 , G01N2021/9511 , G02B27/108 , H04L27/2628
摘要：【課題】可動部の位置を要求に応じた精度で検出する。【解決手段】位置検出方法は、検出光が第1光と第2光とに分割される第1ステップと、回帰光路に第1光が入射する第2ステップと、回帰光路において、第1光が可動ミラーを介してビームスプリッタに至る度に、第1光の一部がビームスプリッタを透過すると共に第1光の残部がビームスプリッタで反射されて可動ミラーを介してビームスプリッタに至る第3ステップと、干渉光学系において、ビームスプリッタを透過した第1光と、第2光とが合成され、多重干渉光が生成される第4ステップと、多重干渉光の第1干渉光信号から、検出光の波長の1/p(pは自然数)の波長を有する第2干渉光信号が抽出される第5ステップと、第2干渉光信号に基づいて、所定方向における可動部の位置が算出される第6ステップと、を備える。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2015516568A レチクルの劣化を検出するための反射マップおよび透過マップの使用有权
标题翻译：使用反射地图和用于检测掩模版的劣化传输地图
公开(公告)号：JP2015516568A
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：JP2015501709
申请日：2013-03-07
申请人：ケーエルエー−テンカーコーポレイション , ケーエルエー−テンカーコーポレイション
发明人：カールイーヘス , カールイーヘス , ルイ−ファンシ , ルイ−ファンシ
IPC分类号： G01N21/956 , G03F1/84
CPC分类号： G01N21/95 , G01M11/00 , G01N21/95607 , G01N2021/9511 , G01N2021/95676 , G01N2201/06113 , G01N2201/062 , G01N2201/10 , G03F1/84
摘要：レチクルの局所領域の各々について、レチクルの局所領域の各々に属する複数のサブ領域から反射した光に対応する複数の反射強度値の平均値を得るために、検査の際に光学的レチクル検査ツールが使用される。また、レチクルの局所領域の各々について、レチクルの局所領域の各々に属する複数のサブ領域を透過した光に対応する複数の透過強度値の平均値を得るために、検査の際に光学的レチクル検査ツールが使用される。局所領域の各々について、複数の反射強度値の平均値と、複数の透過強度値の平均値とを組み合わせることにより複合強度マップが生成されるところ、レチクルが劣化していないときに、レチクルのレチクルパターンを複合強度マップからキャンセルするものとし、かつ、レチクルが劣化したときに、レチクルのレチクルパターンを複合強度マップからキャンセルしないものとする。
摘要翻译：对于每个标线片的局部区域中，以获得对应的多个光反射强度值的平均值从属于每个标线片的局部区域中的多个子区域的反射，在测试期间所述光学掩模版检查工具它被使用。而且，对于每个标线片的局部区域中，为了获得对应于通过所述多个属于各分划板的局部区域的子区域发送的光的多个透射强度值的平均值，检查期间的光掩模版检查工具被使用。对于每一个局部区域，和多个反射强度值，其中产生通过组合多个透射强度值的平均值的复合强度地图的平均值，当分划板也不会劣化，该光罩的标线片图案应当从复合强度地图，并且，当该光罩劣化被取消，该光罩的光罩图案不得从复合强度地图取消。

7. 发明专利

JP4777310B2 Inspection apparatus, inspection method, the inspection system, a method of manufacturing a color filter, test apparatus control program, and a computer readable recording medium recording the program 有权
公开(公告)号：JP4777310B2
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：JP2007199979
申请日：2007-07-31
申请人：シャープ株式会社
发明人：多聞井殿
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/24 , G01M11/00 , G02B5/20 , G02F1/13 , G02F1/1335 , G09F9/00
CPC分类号： G01N21/8851 , G01B11/245 , G01N21/95 , G01N2021/8887 , G01N2021/9511 , G01N2021/9513 , G02B5/223
摘要： An inspection device of the present invention includes: a linear irregularity detecting section for detecting linear irregularities individually in an image L of dots on a substrate being inspected by projecting light from a first direction and in an image R of the dots by projecting light from a second direction, which differs from the first direction; a specific-cycle irregularity extracting section for extracting linear irregularities detected at predetermined intervals T in the individual mages L and R, the intervals being taken vertical to the linear irregularities on the substrate; and a detection-target-irregularity extracting section for extracting a linear irregularity detected in both the images L and R as a detection-target linear irregularity. The device therefore is capable of detecting only linear irregularities of a specific cycle which are caused by the presence of dots having irregular thickness when compared to a dot with normal thickness.

8. 发明专利

JP2011106975A Measuring method and measuring apparatus of refractive index distribution 有权
$Measuring method and measuring apparatus of refractive index distribution$
标题翻译：折射指数分布的测量方法和测量装置
公开(公告)号：JP2011106975A
公开(公告)日：2011-06-02
申请号：JP2009262468
申请日：2009-11-18
申请人： Canon Inc , キヤノン株式会社
发明人： SUGIMOTO TOMOHIRO
IPC分类号： G01M11/02 , G01M11/00
CPC分类号： G01M11/0228 , G01N21/45 , G01N2021/9511
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To highly accurately measure an internal refractive index distribution of an object to be inspected. SOLUTION: A measuring method has first and second measuring steps for placing the object to be inspected in a first medium and a second medium and measuring each transmission wavefront of the object to be inspected by making reference light enter the object to be inspected to compute an internal refractive index distribution of the object to be inspected through the use of measurement results of both measuring steps. Light beams of the reference light entering the peripheral part in the object to be inspected and passing through the same point of the object to be inspected is a first light beam and a second light beam in the first and second measuring steps. The numerical aperture of the reference light is altered in such a way as to be closer to parallel light than the reference light prior to the incidence of the reference light onto the object to be inspected after transmission through the object to be inspected by making the traveling directions of the first and second light beams different from each other. The effective thickness of the object to be inspected is computed through the use of the geometrical thickness of the object to be inspected along the first and second light beams to compute the internal refractive index distribution of the object to be inspected through the use of measurement results of both measuring steps and the effective thickness. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：高精度地测量待检查物体的内部折射率分布。解决方案：测量方法具有用于将待检查对象放置在第一介质和第二介质中的第一和第二测量步骤，并且通过使参考光进入待检查对象来测量待检查对象的每个透射波阵面通过使用两个测量步骤的测量结果来计算待检查对象的内部折射率分布。参考光入射到被检查物体中的周边部分的光束通过被检查物体的相同点是第一和第二测量步骤中的第一光束和第二光束。参考光的数值孔径以这样的方式被改变，使得在参考光在通过进行检查的物体透射后被检查物体入射之前比参考光更接近平行光第一和第二光束的方向彼此不同。通过使用沿着第一和第二光束的被检查物体的几何厚度来计算被检查物体的有效厚度，以通过使用测量结果计算被检查物体的内部折射率分布两个测量步骤和有效厚度。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP4570680B1 Light irradiation apparatus and inspection equipment 有权
公开(公告)号：JP4570680B1
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：JP2009141594
申请日：2009-06-12
申请人：シャープ株式会社
发明人：篤中村 , 功治南
IPC分类号： F21V8/00 , F21S2/00 , F21V7/04 , F21V9/08 , F21Y101/00 , F21Y101/02 , G02B3/08 , G02B5/20
CPC分类号： G01N21/8806 , F21S8/006 , G01J1/08 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/12 , G01J2003/1213 , G01J2003/1282 , G01N2021/9511 , G02B6/0018 , G02B6/0038 , G02B19/0028 , G02B19/0047 , G02B27/0994
摘要： A light radiation device that radiates light with a desired spectrum and controlled directivity is provided. A light radiation device (100) according to the present invention includes: a light source (101); an optical waveguide (107); and a spectrum modulating member (104), the optical waveguide (107) guiding incident light from the light source (101) thereinto through a plane of incidence, causing the light to be reflected by sides of the optical waveguide (107), and emitting directivity-controlled light through a plane of emission, the spectrum modulating member (104) attenuating a spectrum in a particular band of wavelengths among the directivity-controlled light, the optical waveguide (107) becoming narrower from the plane of emission toward the plane of incidence, the spectrum modulating member (104) being provided toward the plane of emission of the optical waveguide (107).

10. 发明专利

JP2018063160A 検査装置および検査方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018063160A
公开(公告)日：2018-04-19
申请号：JP2016201153
申请日：2016-10-12
申请人：富士通株式会社
发明人：赤澤智信
IPC分类号： G01M11/00 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/94 , G01M11/33 , G01M11/35 , G01M11/37 , G01N21/896 , G01N21/952 , G01N2021/9511 , G06T2207/10152
摘要：【課題】計算機間の伝送試験の作業時間を削減する。【解決手段】検査システムは、検出装置20および判定装置30を有する。検出装置20は、導光部21、反射部22、導光部23、および出力部29を有する。導光部21および導光部23は、複数の光ファイバから出力された各光を計算機12のポート120へ透過させる。反射部22は、導光部21および導光部23を透過してポート120で反射した各光をさらに反射させる。出力部29は、光量を電気信号に変換する複数のPD260を含み、反射部22で反射した各光の光量をPDにより、各PDが配置された各位置における電気信号として判定装置30へ出力する。判定装置30は、出力部29から出力された各PDの位置における光量の分布に基づいて、コネクタ130とポート120との間のコンタミネーションの有無を判定する。【選択図】図5

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