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2. 发明专利

JP2018151310A 圧力センサー、圧力センサーの製造方法、圧力センサーモジュール、電子機器および移動体审中-公开
公开(公告)号：JP2018151310A
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：JP2017048847
申请日：2017-03-14
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：松澤勇介 , 田中信幸
IPC分类号： H01L29/84 , G01L9/00
CPC分类号： G01L19/04 , B81B3/0072 , B81B7/0038 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , G01L9/0052 , G01L9/0054 , G01L9/065 , G01L19/0076 , G01L19/0084 , G01L19/06 , G01L19/145
摘要：【課題】優れた圧力検出精度を発揮することのできる圧力センサー、圧力センサーの製造方法、圧力センサーモジュール、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】圧力センサーは、受圧により撓み変形するダイアフラムを有する基板と、前記基板の一方の面側に配置され、平面視で前記ダイアフラムを囲む側壁部と、空間を介して前記ダイアフラムに対向して配置され、前記空間を封止する封止層と、を有し、前記封止層は、前記空間に臨む貫通孔を有する第1シリコン層と、前記第1シリコン層に対して前記空間とは反対側に位置し、前記貫通孔を封止する酸化シリコン層と、前記酸化シリコン層に対して前記空間とは反対側に位置する第2シリコン層と、を有している。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2018032846A 過酷な媒体用途の半導体センサアセンブリ审中-公开
公开(公告)号：JP2018032846A
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：JP2017120532
申请日：2017-06-20
申请人：メレクシス・テクノロジーズ・ナムローゼフェンノートシャップ
发明人：ジアン・チェン , ローラン・オット
IPC分类号： H01L21/60 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18 , H01L23/12 , H01L29/84 , H01L23/28
CPC分类号： G01L9/0055 , G01L9/0042 , G01L19/0069 , G01L19/0084 , G01L19/06 , G01L19/0627 , G01L19/143 , H01L29/84 , H01L2224/05554 , H01L2224/06 , H01L2224/48137 , H01L2224/48145 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2924/181 , H01L2924/1815 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
摘要：【課題】水中又は適度な温度及び/若しくは圧力下での空気中で使用するための圧力センサを提供する。【解決手段】半導体センサアセンブリ30は、処理デバイス10’とセンサデバイス20であって、処理デバイスの第1のボンドパッド12とセンサデバイスの第2のボンドパッド21との間の信号接続を行うボンディングワイヤ34とを備える。処理デバイスは、第2の耐腐食性材料32により一部オーバーモールドされており、耐腐食性材料内の空洞に部分的に曝露される。センサデバイスは空洞内に存在し、処理デバイスとセンサデバイスとの間の信号接続を空洞内で物理的に行うことを可能にするために再配信層18が提供され、第2の耐腐食性材料は第1のボンドパッドを被覆する。【選択図】図13

4. 发明专利

JP6174791B2 圧力計測システムおよびその製造方法有权
公开(公告)号：JP6174791B2
公开(公告)日：2017-08-02
申请号：JP2016516984
申请日：2014-08-18
申请人：ローズマウントインコーポレイテッド
发明人：シューマッハ,マーク,スティーヴン , ブローデン,デイヴィッド,アンドリュー
IPC分类号： G01L19/14 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/06 , G01L19/0084 , G01L19/0636 , G01L19/0645 , G01L19/149 , Y10T29/49117

5. 发明专利

JP2016095267A 電子デバイス、物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体审中-公开
标题翻译：电子设备，物理量传感器，压力传感器，高精度计，电子设备和移动体
公开(公告)号：JP2016095267A
公开(公告)日：2016-05-26
申请号：JP2014232594
申请日：2014-11-17
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：田中信幸
IPC分类号： B81B3/00 , H01L29/84 , G01C5/06 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0054 , B81C1/00246 , G01L19/06 , G01L9/0042
摘要：【課題】優れた信頼性を有する電子デバイスおよび物理量センサーを提供すること、また、かかる電子デバイスを備える圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】本発明の物理量センサー1は、基板2と、基板2の一方の面側に配置されているピエゾ抵抗素子5と、基板2の一方の面側に基板2の平面視でピエゾ抵抗素子5を囲んで配置されている壁部と、壁部に対して基板2とは反対側に配置されていて空洞部Sを壁部とともに構成している被覆層641と、を備え、被覆層641は、平面視で互いに隣り合う2つの辺を含んで構成されている角部と、その2つの辺を繋いで配置されている補強部644、651と、を有する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种可靠性优异的电子设备和物理量传感器，并提供一种压力传感器，高度计，电子设备和包括这种电子设备的移动体。解决方案：一种物理量传感器1，本发明包括：基板2; 设置在基板2的一个面上的压阻元件5; 壁部，其设置在基板2的一面上，以更平整的视图包围基板2上的压阻元件5; 以及与壁部相对于壁部配置在与基板2相反的一侧的涂层641，与壁部一起形成空腔部S. 涂层641具有角部，每个角部以较平面的视图彼此相邻的两个侧面形成; 以及加强部件644,651，每个加强部件被跨过两侧桥接。选择的图示：图1

6. 发明专利

JP2015068800A 圧力センサー、電子機器および移動体审中-公开
标题翻译：压力传感器，电子设备和移动体
公开(公告)号：JP2015068800A
公开(公告)日：2015-04-13
申请号：JP2013205754
申请日：2013-09-30
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：今井英生
IPC分类号： G01L19/14
CPC分类号： G01L19/146 , G01L19/06
摘要：【課題】環境温度によらず、優れた精度を有する圧力センサーを提供すること。【解決手段】圧力センサー1は、圧力を検出して電気信号を発生するセンサーチップ3と、開口を有し、センサーチップ3が収納される内部空間28を備えるパッケージ2と、内部空間28にパッケージ3から突出しているフライングリード27とを有している。そして、センサーチップ3は、フライングリード27に接続している。また、センサーチップ3は、パッケージ2の内壁から離れて配置されている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供与环境温度无关的精度高的压力传感器。解决方案：压力传感器1包括用于检测压力并产生电信号的传感器芯片3，具有开口并具有内部的开口的包装2 传感器芯片3容纳的空间28和从封装3突出到内部空间28的飞行引线27.传感器芯片3连接到飞行引线27.传感器芯片3与内壁的包装2。

7. 发明专利

JP2013531235A Instrument for nuclear facilities 有权
公开(公告)号：JP2013531235A
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：JP2013514212
申请日：2011-05-31
申请人：ローズマウントインコーポレイテッド
发明人：シバース，ジェフリー・ディー , ノーバーグ，ダニエル・エイ
IPC分类号： G01L19/06 , G21C17/00
CPC分类号： G21C17/02 , G01L19/0084 , G01L19/06 , G01L19/0645 , G01L19/0681 , G21C17/10
摘要：原子力設備内で、計器（１００）は、プロセスフランジ（１０４、１０６）に接続されたセンサモジュール（１１０）を包含する。センサモジュール（１１０）は、支持導管ねじ部（１２２）を有する支持導管（１２０）を包含する。電子回路（１２６）は、コネクタ（１２８）のフィールド回路接点と位置合わせされたキー（１３３）を包含するコネクタ（１２８）に配線される。熱および原子力放射線遮蔽体（１３４）は、電子回路（１２６）を封入し、衝撃保護環（１３６）を包含する。コネクタ（１２８）は、衝撃保護環の内側に固定される。熱および原子力放射線遮蔽体（１３４）は、支持導管ねじ部（１２２）に回転可能に係合してプロセスフランジに対するキー（１３３）の位置合わせで回転される、遮蔽体ねじ部（２３７）を包含する。

8. 发明专利

JP2009103602A Pressure sensor 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：JP2009103602A
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：JP2007276242
申请日：2007-10-24
申请人： Denso Corp , 株式会社デンソー
发明人： AZEYANAGI SUSUMU
IPC分类号： G01L9/00 , G01L19/00
CPC分类号： G01L19/06 , G01L19/0627
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure sensor, while inhibiting generation of air bubbles, capable of implementing correct pressure detection. SOLUTION: In the pressure sensor, rather than a channel into which the pressure of a pressure medium is introduced is not filled with gel-like material 42, but is basically filled with protective oil 41 so that a structure is obtained, where a surface of protective oil 41 is covered with gel-like material 42 for preventing leakage of protective oil 41. Hence, even if a gel-like material 42 comes into contact with a first lower case 11 to generate air bubbles, because of the small area of the contact part, influence on pressure transmission is hardly produced; whereas, even if air bubbles are generated, because they can be generated at distant locations from the pressure transmission channels, influence on pressure transmission can be made less. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供压力传感器，同时抑制气泡的产生，能够实现正确的压力检测。解决方案：在压力传感器中，不是将压力介质的压力引入其中的通道不填充凝胶状材料42，而是基本上填充有保护油41，从而获得结构，其中保护油41的表面被凝胶状材料42覆盖，以防止保护油41的泄漏。因此，即使凝胶状材料42与第一下壳体11接触而产生气泡，因为小接触部分的面积几乎不产生对压力传递的影响; 而即使产生气泡，因为它们可以在距离压力传递通道的远处产生，所以可以减小对压力传递的影响。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2004514130A Transducer package assembly for use in sensing unit to receive a large g-forces 审中-公开
公开(公告)号：JP2004514130A
公开(公告)日：2004-05-13
申请号：JP2002542835
申请日：2001-11-14
申请人：ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
发明人：エスピノザ，フランク・エフ , シグレネク，ラインハート , ストラットン，トーマス・ジー , ベンダー，テレンス・ディー , ボディン，ジョエル・ジェイ , マリソン，エドガー・アール
IPC分类号： G01L19/14 , G01L9/00 , G01L19/04 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/02 , G01L19/06 , G01L19/141 , G01L19/147 , G01L19/149 , H01L2224/48091 , Y10T29/49103 , H01L2924/00014
摘要：大きな加速力を受ける感知ユニット内に使用されるトランスデューサパッケージ組立体（１０）は、空洞（２４）を備えたベース（１２）を有する。圧力感応性の半導体ダイス（１６）は、それが空洞（２４）内に収納されるが空洞（２４）の表面から離れるような形状を有する大きなバックプレート（１４）に接着される。ベース（１２）に固定された平坦なカバーはダイス（１６）よりも大きいがバックプレート（１４）よりも小さい穴（５４）を有し、細いワイヤ（５８）はダイス（１６）からカバー（１８）上の電気接続部（６０）へ延びる。粘性流体（７０）はバックプレート（１４）と空洞（２４）との間の空間及びバックプレート（１４）とカバー（１８）との間の空間を満たし、測定すべき圧力を圧力感応性ダイス（１６）へ伝達する。粘性流体（７０）は、加速力から圧力感応性ダイス（１６）及びバックプレート（１４）を緩和しながら、空洞（２４）に関するバックプレート（１４）の運動に抵抗するのに十分大きな粘度を有する。

10. 发明专利

KR20210033944A KR20210033944A - Electrostatic discharge resistance pressure sensor 审中-公开
公开(公告)号：KR20210033944A
公开(公告)日：2021-03-29
申请号：KR1020207035709A
申请日：2019-05-29
申请人： 드와이어 인스투르먼쓰 인코포레이티드
发明人： 닐 사이버슨 , 제이슨 베리
IPC分类号： G01L19/06 , B81B3/00 , B81B7/02 , G01L9/00 , G01L19/00 , G01L19/04 , G01L19/14
CPC分类号： G01L19/0084 , G01L19/06 , B81B3/00 , B81B7/02 , G01L19/0046 , G01L19/04 , G01L19/142 , G01L9/0052
摘要： 압력 센서는 하우징, 하우징 이내에 한정된 압력 챔버, 및 압력 변환체를 포함한다. 압력 센서는 압력 챔버를 밀봉하고 압력 챔버 내 압력 변환체를 지지하는 헤더를 또한 포함한다. 복수의 핀은 헤더 내 각각의 개구부를 통해 연장된다. 센서 핀은 압력 챔버 내 압력 변환체에 전기적으로 연결되는 제1 단부 및 압력 챔버 외부의 센서 전자 장치에 전기적으로 연결되는 제2 단부를 갖는다. 핀은 헤더로부터 전기적으로 절연된다. 헤더는 헤더로부터 적어도 하나의 핀의 전기적 절연이 헤더로부터 나머지 핀의 전기적 절연 미만이도록 구성된다.

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