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1. 发明专利

JP2018096985A 光検出装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018096985A
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：JP2017233160
申请日：2017-12-05
申请人：パナソニックIPマネジメント株式会社
发明人：西脇青児 , 鳴海建治 , 足立安比古
IPC分类号： G01N21/17 , G01J9/00
CPC分类号： G01J5/0871 , G01B9/02 , G01B9/02041 , G01B9/02087 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0422 , G01J1/0437 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/14643
摘要：【課題】入射光のコヒーレンスに関する情報を、煩雑な操作を行うことなく取得する可能な光検出装置を提供する。【解決手段】光検出装置は、遮光膜9と、光結合層12と、光検出器10と、光学系17と、を備える。遮光膜は、複数の透光領域9aおよび複数の遮光領域9Aが少なくとも第1の方向に交互に配置されている。光結合層は、遮光膜に対向し、光を第1の方向に伝搬させるグレーティングを含む。光検出器は、撮像面に配列された複数の第1の光検出セル10aおよび複数の第2の光検出セル10Aを含む。光学系は、光結合層および光検出器の間に配置されている。光結合層において複数の透光領域および遮光領域の各々に対向する部分を透過した光の像は、それぞれ光学系によって拡大または縮小され、複数の第1および第2の光検出セルのうち対応する光検出セル上に形成される。【選択図】図8

2. 发明专利

JP2018063155A 形状測定装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018063155A
公开(公告)日：2018-04-19
申请号：JP2016201049
申请日：2016-10-12
申请人：株式会社キーエンス
发明人：大川陽平
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/24
CPC分类号： G06T7/60 , G01B9/0203 , G01B9/02041 , G01B9/02087 , G01B9/0209 , G01B11/24 , G01B11/2441 , G01B2290/35 , G06T2207/10141 , H04N5/2256
摘要：【課題】測定対象物の所望の箇所の計測値を迅速にかつ精度良く取得することが可能な形状測定装置を提供する。【解決手段】高さ画像生成部21は、測定対象物の第1の領域の高さ画像を計測高さ画像として表す計測高さ画像データ生成する。輝度画像生成部22は、測定対象物の第1の領域の輝度画像を計測輝度画像として表す計測輝度画像データを生成する。設定部31は、予め記憶された基準輝度画像における基準対象領域を設定する。特定部32は、計測輝度画像における第1の領域と基準輝度画像における第2の領域との相対的な位置関係に基づいて、計測高さ画像において基準対象領域に対応する計測対象領域を設定する。算出部33は、計測高さ画像データに基づいて、計測対象領域における測定対象物の高さに関する計測値を算出する。【選択図】図13

4. 发明专利

JPWO2014185133A1 面形状計測方法およびその装置有权
标题翻译：表面形状测量方法及装置
公开(公告)号：JPWO2014185133A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015516970
申请日：2014-03-10
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：松井　　繁 , 有吾小野田
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02068 , G01B9/02087 , G01B9/0209 , G01B9/04 , G01B11/0608 , G01B11/26
摘要：任意の被検査物体の面形状を非破壊・非接触・高精度・広傾斜角ダイナミックレンジで計測できる技術を提供する。二光束干渉計を用いた白色干渉法において、参照平面の面方位をその入射光軸に対して変化させられるよう構成し、被検査面上の任意の位置における局所面方位に対して、前記参照平面の面方位を相対的に変化させながら、前記被検査面からの反射光と前記参照平面からの反射光の干渉により生成されるインターフェログラムを複数取得し、それらから前記被検査面上の局所面方位を求めることにより前記被検査面の面形状を計測する。
摘要翻译：以提供用于任何目的是在表面形状被检查可以以非破坏性的，非接触，高精确度和宽的倾斜角的动态范围进行测量的技术。在使用双光束干涉仪，基准平面的平面取向，并适于白光干涉法，以相对于入射光光轴在所述检查表面上的任意位置而改变，以局部取向，所述参考而相对地改变所述平面的表面取向，从基准平面，并从检查的表面的反射光的反射光的干涉产生的干涉获得多个，从这些表面上的要被检查测量表面的表面形状，以通过获得的局部表面取向被检查。

6. 发明专利

JP2015166747A 角度分解型のフーリエドメイン光干渉断層撮影法を遂行する方法及びシステム有权
标题翻译：用于执行角度分辨率类型的FOURIER域光学相干坐标的方法和系统
公开(公告)号：JP2015166747A
公开(公告)日：2015-09-24
申请号：JP2015123729
申请日：2015-06-19
申请人：ザジェネラルホスピタルコーポレイション
发明人：デジャルダン,エイドリアンイー. , バコック,ベンジャミンジェイ. , ターニー,ギリェルモジェイ. , ブーマ,ブレットイー.
IPC分类号： G01N21/17
CPC分类号： G01N21/4795 , A61B5/0066 , G01B9/02043 , G01B9/02087 , G01B9/02091 , A61B5/0073 , G01B2290/70 , G01N2021/4714
摘要：【課題】高度なスペックルの低減と付加的な形態の画像コントラストを実現する。【解決手段】本発明の代表的な実施例によれば、構成、装置、及び方法が提供される。具体的には、少なくとも1つの第1電磁波を受信することが可能であり、立体角内の少なくとも1つの第2電磁波をサンプルに対して転送することが可能である。第2電磁波は、第1電磁波と関連付けすることが可能である。複数の第3電磁波を第2電磁波と関連付けられたサンプルから受信することが可能であり、第3電磁波の少なくとも1つの部分は、立体角の外縁の外において提供されている。第3電磁波の各々と関連付けられた信号を同時に検出することが可能であり、これらの信号は、サンプル内の複数の深さにおけるサンプルの情報と関連付けられている。第3電磁波の中の少なくとも1つのものを使用することにより、第3電磁波の別のものを利用する必要性を伴うことなしに、サンプル内の複数の深さを判定することが可能である。【選択図】図7
摘要翻译：要解决的问题：减少高散斑并提供附加形式的图像对比度。解决方案：根据本发明的一个示例性实施例，提供了一种配置，装置和方法。具体地说，可以接收至少一个第一电磁波，并且至少一个立体角的第二电磁波可转移到样品。第二电磁波与第一电磁波相关联。可以从与第二电磁波相关联的样本接收多个第三电磁波，并且至少一部分第三电磁波设置在立体角的外边缘的外侧。与各个第三电磁波相关联的信号是同时可检测的，并且这些信号与样本中的多个深度中的样本信息相关联。通过使用第三电磁波中的至少一个，可以确定样本中的多个深度，而不必使用另外的第三电磁波。

7. 发明专利

JP5611259B2 光断層撮像装置及びその制御方法有权
标题翻译：所述光学断层成像装置及其控制方法
公开(公告)号：JP5611259B2
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：JP2012063897
申请日：2012-03-21
申请人：キヤノン株式会社
发明人：拓史吉田 , 拓史吉田
IPC分类号： A61B3/10 , A61B10/00 , G01N21/17
CPC分类号： G01B9/02044 , A61B3/102 , G01B9/0203 , G01B9/02078 , G01B9/02087 , G01B9/02091

8. 发明专利

JP2014092488A Measuring device and measuring method 审中-公开
标题翻译：测量装置和测量方法
公开(公告)号：JP2014092488A
公开(公告)日：2014-05-19
申请号：JP2012243851
申请日：2012-11-05
申请人： Canon Inc , キヤノン株式会社
发明人： UEMURA TAKANORI
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B9/02041 , G01B9/02004 , G01B9/02005 , G01B9/0203 , G01B9/02048 , G01B9/02078 , G01B9/02087 , G01B11/2433 , G01B11/2441 , G01B2290/70
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique advantageous for easily measuring a shape of an inspected object in a short time.SOLUTION: A measuring device comprises: an interference optical system for forming interference light of reference light and subject light from an inspected object; a detection part for acquiring an interference image; a storage part for storing shape data of the inspected object calculated on the basis of the interference image; a selection part for selecting one of measuring modes including a first measuring mode whose measurable range of a shape of the inspected object is a first range and a second measuring mode whose measurable range is a second range smaller than the first range; and a processing part for obtaining the shape of the inspected object. When the first measuring mode is selected, the processing part calculates the shape of the inspected object on the basis of the interference image acquired by the detection part in the first measuring mode, and stores the shape data in the storage part, and when the second measuring mode is selected, it obtains the shape of the inspected object using the shape data stored in the storage part and the interference image acquired by the detection part in the second measuring mode.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种有利于在短时间内容易地测量检查对象的形状的技术。解决方案：一种测量装置，包括：干涉光学系统，用于形成来自被检查物体的参考光和被摄体的干涉光; 用于获取干涉图像的检测部分; 存储部，其存储基于所述干涉图像计算出的被检查对象的形状数据; 选择部件，用于选择包括被检查物体的形状的可测量范围为第一范围的第一测量模式和可测量范围为小于第一范围的第二范围的第二测量模式的测量模式之一; 以及用于获得被检查物体的形状的处理部分。当选择第一测量模式时，处理部分基于在第一测量模式中由检测部件获取的干涉图像来计算检查对象的形状，并且将形状数据存储在存储部分中，并且当第二测量模式选择测量模式，使用存储在存储部分中的形状数据和由第二测量模式中的检测部分获取的干涉图像来获得被检查对象的形状。

9. 发明专利

JP2013064747A Method and system for performing fourier domain optical coherence tomography of angle resolution type 审中-公开
标题翻译：用于执行角度分辨率类型的FOURIER域光学相干坐标的方法和系统
公开(公告)号：JP2013064747A
公开(公告)日：2013-04-11
申请号：JP2012248356
申请日：2012-11-12
申请人： General Hospital Corp , ザジェネラルホスピタルコーポレイション
发明人： ADRIEN E DESJARDINS , BENJAMIN J VAKOC , GUILLERMO J TEARNEY , BRETT E BOUMA
IPC分类号： G01N21/17
CPC分类号： G01N21/4795 , A61B5/0066 , A61B5/0073 , G01B9/02043 , G01B9/02087 , G01B9/02091 , G01B2290/70 , G01N2021/4714
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease high speckle and to provide image contrast of an additional form in an imaging environment of optical coherence tomography.SOLUTION: At least one first electromagnetic wave is receivable, and at least one second electromagnetic wave in a solid angle is transferable to a sample. The second electromagnetic wave is associable with the first electromagnetic wave. A plurality of third electromagnetic waves are receivable from the sample associated with the second electromagnetic wave, and at least a part of the third electromagnetic waves is provided outside an outer edge of the solid angle. Signals associated with the respective third electromagnetic waves are simultaneously detectable, and the signals are associated with sample information in a plurality of depths in the sample. By using at least one of the third electromagnetic waves, the plurality of depths in the sample are determinable without necessity to use another third electromagnetic wave.
摘要翻译：要解决的问题：减少高散斑，并在光学相干断层成像的成像环境中提供附加形式的图像对比度。解决方案：可接收至少一个第一电磁波，并且至少一个立体角的第二电磁波可转移到样品。第二电磁波与第一电磁波相关联。可以从与第二电磁波相关联的样本接收多个第三电磁波，并且至少一部分第三电磁波设置在立体角的外边缘的外侧。与各个第三电磁波相关联的信号可同时检测，并且信号与样本中的多个深度中的样本信息相关联。通过使用第三电磁波中的至少一个，可以确定样本中的多个深度，而不必使用另一第三电磁波。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

10. 发明专利

JP2009523564A Fourier domain optical coherence tomography apparatus 有权
公开(公告)号：JP2009523564A
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：JP2008551452
申请日：2007-01-19
申请人：オプトビュー,インコーポレーテッド
发明人：ウェイ，ジェイ , チャオ，ヨンファ
IPC分类号： A61B3/12 , A61B3/10 , G01N21/17
CPC分类号： G01B9/02044 , G01B9/02068 , G01B9/02087 , G01B9/02091 , G01J3/02 , G01J3/0289 , G01J3/45 , G01J3/4537
摘要：フーリエドメイン光コヒーレンス断層撮影（ＯＣＴ）装置が提供される。本発明によるＯＣＴ撮影装置は自動位置合わせプロセスを行なうことができる。自動位置合わせプロセスでは、撮影装置の分光計の少なくとも一つの光学部品を自動的に調整することにより、分光計を撮影セッション中に調整する。自動位置合わせプロセスの他に、ＯＣＴスペクトルをバックグランドスペクトルに関して、そしてノイズ特性に関して正規化することにより、更に正確かつ明瞭なＯＣＴ画像を実現する。

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