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1. 发明专利

JPWO2012063926A1 搬送装置及び搬送熱処理システム有权
公开(公告)号：JPWO2012063926A1
公开(公告)日：2014-05-12
申请号：JP2012542984
申请日：2011-11-10
申请人：株式会社Ihi , 株式会社Ihi , 株式会社Ihi機械システム
发明人：勝俣　和彦 , 和彦勝俣
IPC分类号： C21D1/00 , C21D1/62 , F27D3/06
CPC分类号： C21D1/74 , C21D9/0062 , F27B5/04 , F27B5/12 , F27B5/13
摘要：本発明は、被処理物(X)を載置する載置部と、熱処理装置(200)の内部に敷設されるガイド(400)に摺動可能に嵌合される嵌合部(1c)と、を有し、前記被処理物を前記載置部上に載置して前記熱処理装置の内部に搬送可能な搬送トレー(1)と;前記搬送トレー(1)の水平面内の姿勢を前記ガイドの延在方向に合わせて調節する姿勢調節手段(2b)と;この姿勢調節手段(2)によって姿勢が調節された前記搬送トレー(1)を前記熱処理装置(200)の内部に搬入する及び外部に搬出する搬入出手段と;を備える搬送装置である。

2. 发明专利

JP2012047445A Retort furnace for heat treating metal workpiece 有权
标题翻译：热处理金属工具的回火炉
公开(公告)号：JP2012047445A
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：JP2011232493
申请日：2011-10-24
申请人： Ipsen Co Ltd , Ipsen株式会社
发明人： SARRES ROLF , SCHWALL HEINZ
IPC分类号： F27B5/04 , F27B5/06 , F27D7/04 , F27D9/00 , F27D11/02
CPC分类号： C21D9/0043 , C21D1/74 , F16K1/2007 , F27B5/06 , F27B5/12 , F27D5/0056 , F27D7/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To increase practical value and availability of retort furnaces (I.1, II.1, III.1) for heat treatment of metal workpieces, using tubular retorts (I.3, II.3, III.3) surrounded by furnace housings (I.2, II.2, III.2).SOLUTION: According to a first variant, the weight of a batch is to be decoupled from the retort (I.3). According to a second variant, a second circulation device (II.18.2) is to be arranged for heating elements (II.6) of the retort (II.3). According to a third variant, a bottom (III.9) of the retort (III.3) is to be equipped with a second bottom (III.9.1) and/or adjusting flaps (III.20, III.21).
摘要翻译：要解决的问题：为了提高用于热处理金属工件的蒸馏炉（I.1，II.1，III.1）的实用价值和可用性，使用管状蒸馏器（I.3，II.3，III .3）由炉壳围绕（I.2，II.2，III.2）。解决方案：根据第一种变型，批料的重量应与蒸馏器脱水（I.3）。根据第二变型，第二循环装置（II.18.2）将被布置用于蒸煮器（II.3）的加热元件（II.6）。根据第三种变型，蒸馏器（III.3）的底部（III.9）将配备有第二底部（III.9.1）和/或调节翼片（III.20，III.21）。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP5433664B2 Retort furnace for the heat treatment of metal processed goods 有权
公开(公告)号：JP5433664B2
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：JP2011232494
申请日：2011-10-24
申请人： Ipsen株式会社
发明人：サラス、ロルフ , シュバル、ハインツ
IPC分类号： F27B5/04 , C21D1/00 , C21D1/74 , F27B5/16 , F27D7/02 , F27D7/06 , F27D9/00
CPC分类号： C21D9/0043 , C21D1/74 , F16K1/2007 , F27B5/06 , F27B5/12 , F27D5/0056 , F27D7/00

4. 发明专利

JP2011528782A Retort furnace for the heat treatment of metal processed goods 有权
公开(公告)号：JP2011528782A
公开(公告)日：2011-11-24
申请号：JP2011519035
申请日：2009-07-13
申请人： Ipsen株式会社
发明人：サラス、ロルフ , シュバル、ハインツ
IPC分类号： F27B5/06 , F27B5/04 , F27D7/04 , F27D9/00 , F27D11/02
CPC分类号： C21D9/0043 , C21D1/74 , F16K1/2007 , F27B5/06 , F27B5/12 , F27D5/0056 , F27D7/00
摘要：【課題】炉ハウジング（Ｉ．２，ＩＩ．２，ＩＩＩ．２）によって取り囲まれた筒状レトルト（Ｉ．３，ＩＩ．３，ＩＩＩ．３）を用いる金属加工品の熱処理のためのレトルト炉（Ｉ．１，ＩＩ．１，ＩＩＩ．１）の実際的な価値を増加させ、かつ使用可能性を増加させる。
【解決手段】第１の変形形態に従って装入物の重量がレトルト（Ｉ．３）に加わらないようにし、第２の変形形態に従って第２の循環装置（ＩＩ．１８．２）をレトルト（ＩＩ．３）の加熱素子（ＩＩ．６）に対して配置し、第３の変形形態に従ってレトルト（ＩＩＩ．３）の底部（ＩＩＩ．９）に第２の底部（ＩＩＩ．９．１）及び／または調整弁（ＩＩＩ．２０，ＩＩＩ．２１）を設ける。
【選択図】図９

5. 发明专利

JP5411230B2 Retort furnace for the heat treatment of metal processed goods 有权
公开(公告)号：JP5411230B2
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：JP2011232493
申请日：2011-10-24
申请人： Ipsen株式会社
发明人：サラス、ロルフ , シュバル、ハインツ
IPC分类号： F27B5/04 , F27B5/06 , F27D7/04 , F27D9/00 , F27D11/02
CPC分类号： C21D9/0043 , C21D1/74 , F16K1/2007 , F27B5/06 , F27B5/12 , F27D5/0056 , F27D7/00

6. 发明专利

JP2006506818A Device and the substrate manufacturing method for vacuum processing a substrate that is larger of two-dimensionally 审中-公开
公开(公告)号：JP2006506818A
公开(公告)日：2006-02-23
申请号：JP2004552336
申请日：2003-11-12
申请人：ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト
发明人：エリヤークービ，ムスタファ , オースターマン，ライナー , ビューヒェル，アルトゥーア
IPC分类号： H01L21/677 , B65G1/00 , C23C14/56 , C23C16/54 , F27B17/00 , F27D3/00 , F27D3/06 , H01L21/00 , H01L21/205
CPC分类号： H01L21/67178 , C23C14/566 , C23C14/568 , C23C16/54 , F27B5/04 , F27B5/12 , F27B17/0025 , F27D3/0084 , F27D3/06 , F27D2003/0065 , H01L21/67017 , H01L21/67201 , H01L21/67236 , H01L21/67742 , H01L21/67745 , H01L21/67748 , H01L21/67754 , H01L21/67766 , H01L21/67772 , H01L21/67781 , Y10S414/139
摘要：多段階基板真空処理を簡素化し、柔軟性を改善するために、ロードロックおよび処理タワーＬＬＰＴ１はロードロック装置ＬＬＡならびに処理装置ＰＭＡを含む。運搬装置ＴＡにおいて、ロードロック装置ＬＬＡは一方では外部雰囲気ＡＴと、他方では真空雰囲気Ｖと連通する。プロセスモジュール装置ＰＭＡおよび運搬装置ＴＡ間の基板のハンドリングは開放部を介して行われる。

7. 发明专利

JP2005311306A Vertical-type heat treating apparatus and workpiece transfer method 审中-公开
标题翻译：垂直式热处理装置和工件传输方法
公开(公告)号：JP2005311306A
公开(公告)日：2005-11-04
申请号：JP2005055271
申请日：2005-03-01
申请人： Tokyo Electron Ltd , 東京エレクトロン株式会社
发明人： ASARI SATOSHI , MIHARA KATSUHIKO , KIKUCHI HIROSHI
IPC分类号： B65G49/07 , F27B5/04 , F27B5/12 , F27B5/13 , F27B17/00 , F27D3/12 , H01L21/22 , H01L21/31 , H01L21/324 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/683 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67757 , F27B5/04 , F27B5/12 , F27B5/13 , F27B17/0025 , H01L21/67781 , H01L21/68707
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten the transfer time, increase the number of pieces treated and improve the throughput, in such a way that a plurality of workpieces can be transferred by each holder, having a ring-shaped support plate. SOLUTION: The apparatus comprises a lid 6 for shutting a furnace opening 4 of a heat treating furnace 3 tightly; a holder 9 for holding the plurality of workpieces w, arranged on the lid 6 via a ring-shaped support plate 15 at a designated interval; a lifting mechanism 11 which carries the holder 9 in/out, into/from the heat treating furnace 3; and a transfer mechanism 21, having a plurality of substrate support fixture 20 at a designated interval which transfers the workpieces w between a storing container 16 storing the plurality of workpieces w at a designated interval and the holder 9. Furthermore, the apparatus prepares a mechanism 28 for gripping from the above that gripps the workpiece w under each substrate supporting fixture 20 of the transferring mechanism 21, and the mechanism 28 for gripping from the above has a fixed latch 30, which is arranged at an end portion of the substrate support fixture 20, latching the front-end portion of the workpiece w, and a movable latch 31, which is arranged at a rear end side of the substrate supporting fixture 20, latching the rear-end portion of the workpiece w, in a manner that it can be installed and removed. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：为了缩短传送时间，增加处理的片数，提高生产量，使得可以通过具有环形支撑板的每个保持器传送多个工件。解决方案：该装置包括用于紧密地关闭热处理炉3的炉口4的盖6; 用于以指定间隔经由环形支撑板15布置在盖6上的多个工件w的保持件9; 提升机构11，其将保持器9输入/输出到热处理炉3内; 以及传送机构21，其具有指定间隔的多个基板支撑固定件20，该多个基板支撑固定件20以指定的间隔将存储有多个工件w的存储容器16之间的工件w与保持器9传送。此外，该装置准备机构 28，用于从上方夹持，夹持在传送机构21的每个基板支撑固定件20下方的工件w，并且用于从上述夹持的机构28具有固定的闩锁30，该锁定件30布置在基板支撑夹具的端部如图20所示，锁定工件w的前端部分，以及设置在基板支撑固定件20的后端侧的可移动的闩锁31，以使其工件w的后端部分可以安装和删除。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

8. 发明专利

JP5700323B2 金属熱処理炉有权
标题翻译：金属热处理炉
公开(公告)号：JP5700323B2
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：JP2009136824
申请日：2009-06-08
申请人：独立行政法人物質・材料研究機構
发明人：小林敏治 , 原田広史 , 田崎潤 , 杉田薫 , 菊池捷範
IPC分类号： C21D1/00 , F27B5/02 , F27B5/16 , F27D11/06 , F27D9/00
CPC分类号： F27B5/02 , C21D1/40 , C21D1/62 , C21D9/0018 , C21D9/0062 , C22F1/10 , F27B5/04 , F27B5/12 , F27B5/14 , F27D15/02 , F27D9/00 , H05B6/101 , H05B6/36 , H05B6/44 , C22F1/002 , Y02P10/253

9. 发明专利

JP5470471B2 Transport equipment and transport heat treatment system 有权
公开(公告)号：JP5470471B2
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：JP2012542984
申请日：2011-11-10
申请人：株式会社Ihi , 株式会社Ihi機械システム
发明人：和彦勝俣
IPC分类号： C21D1/00 , C21D1/62 , F27D3/06
CPC分类号： C21D1/74 , C21D9/0062 , F27B5/04 , F27B5/12 , F27B5/13

10. 发明专利

JP2012063130A Retort furnace for heat treatment of metal workpiece 有权
标题翻译：金属工件热处理回炉炉
公开(公告)号：JP2012063130A
公开(公告)日：2012-03-29
申请号：JP2011232494
申请日：2011-10-24
申请人： Ipsen Co Ltd , Ipsen株式会社
发明人： SARRES ROLF , SCHWALL HEINZ
IPC分类号： F27B5/04 , C21D1/00 , C21D1/74 , F27B5/16 , F27D7/02 , F27D7/06 , F27D9/00
CPC分类号： C21D9/0043 , C21D1/74 , F16K1/2007 , F27B5/06 , F27B5/12 , F27D5/0056 , F27D7/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To increase practical value and availability of retort furnaces (I.1, II.1, III.1) for heat treatment of metal workpieces using tubular retorts (I.3, II.3, III.3) surrounded by furnace housings (I.2, II.2, III.2).SOLUTION: According to a first variant, a weight of a charged material is decoupled from the retort (I.3), according to a second variant, a second circulation device (II.18.2) is arranged for a heating element (II.6) of the retort (II.3), and according to a third variant, a bottom (III.9) of the retort (III.3) includes a second bottom (III.9.1) and/or adjusting flaps valves (III.20, III.21).
摘要翻译：要解决的问题：提高使用管状蒸馏器对金属工件进行热处理的蒸馏炉（I.1，II.1，III.1）的实用价值和可用性（I.3，II.3，III。 3）由炉壳围绕（I.2，II.2，III.2）。解决方案：根据第一变型，根据第二变型，带电材料的重量与蒸馏器（I.3）分离，第二循环装置（II.18.2）被布置用于加热元件（ II.3）和根据第三变型，蒸馏器（III.3）的底部（III.9）包括第二底部（III.9.1）和/或调节翼片阀（III.20，III.21）。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

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