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1. 发明专利

JPS59170675A Method and device for manufacturing gas of high purity by evaporation of freezing mixture liquid 失效
标题翻译：通过蒸发混合液体制备高纯度气体的方法和装置
公开(公告)号：JPS59170675A
公开(公告)日：1984-09-26
申请号：JP4304484
申请日：1984-03-08
申请人： Air Liquide
发明人： BURIYUGUROORU JIYAN RUNOO
IPC分类号： B01D3/18 , F17C9/02 , F25J3/08
CPC分类号： F25J3/08 , B01D3/18 , F17C9/02 , F17C2201/0109 , F17C2201/032 , F17C2205/0149 , F17C2205/0323 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2221/011 , F17C2221/012 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2223/0161 , F17C2223/033 , F17C2223/043 , F17C2225/0123 , F17C2227/0304 , F17C2227/039 , F17C2227/0393 , F17C2250/01 , F17C2250/061 , F17C2265/01 , F17C2265/012 , F17C2270/0518 , F25J2215/10 , F25J2215/44 , F25J2215/56 , F25J2215/58 , F25J2250/40 , F25J2290/62 , Y02E60/321 , Y10S62/903
摘要： The reservoir 1 contains in its lower part a purifying vessel 2 which contains a plate 9 having a bell means communicating with the reservoir and provided with an overflow pipe 12 through which liquid overflows into a bath having a constant level. When gas is drawn off from the top of the purifying vessel, liquid taken from the lower bath is vaporized in an exterior vaporizer 3 and the gas produced passes through the two baths in succession. In this way it is possible to obtain the gases having high purity devoid of particles of dust which are required for certain applications and in particular in the electronic component industry.

3. 发明专利

JP2010042990A Generation, distribution, and use of molecular fluorine within fabrication facility 审中-公开
标题翻译：生产，分配和在制造设施中使用分子荧光
公开(公告)号：JP2010042990A
公开(公告)日：2010-02-25
申请号：JP2009232895
申请日：2009-10-06
申请人： Fluorine On Call Ltd , フルオラインオンコール, リミテッド
发明人： SIEGELE STEPHEN H , SIEGELE FREDERICK J , JACKSON ROBERT
IPC分类号： C01B7/20 , B01D53/04 , C01B7/19 , C23C16/44 , F17C9/00
CPC分类号： B01D53/04 , B01D53/0407 , B01D53/0446 , B01D53/0454 , B01D2253/104 , B01D2256/26 , B01D2257/2047 , B01D2259/40084 , B01D2259/402 , C01B7/191 , C01B7/20 , C23C16/4405 , C25B1/24 , C25B1/245 , C25B15/02 , C25B15/08 , F17C9/00 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2265/01 , F17C2270/0518
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bulk distribution system as a fluorine storage tank on an extremely big job site. SOLUTION: An integrated solution to molecular fluorine generation and use at a fabrication facility is disclosed. The integrated solution and portions of the systems and methods include new aspects. Some embodiments of the method and system described herein can provide the ability to generate molecular fluorine at or near a process tool. Other embodiments of the system and method described herein can comprise a fluorine generator cabinet having multiple fluorine cells. The methods and systems are particularly useful for the fabrication of devices such as microelectronic devices, integrated microelectronic circuits, ceramic substrate-based devices, flat panel displays or other devices. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：在极大的工作现场提供作为氟储罐的散装分配系统。解决方案：公开了在制造设备中分子氟生成和使用的集成解决方案。综合解决方案以及系统和方法的一些部分包括新的方面。本文描述的方法和系统的一些实施方案可提供在工艺工具处或附近产生分子氟的能力。本文所述的系统和方法的其它实施例可以包括具有多个氟单元的氟发生器柜。所述方法和系统对于诸如微电子器件，集成微电子电路，基于陶瓷衬底的器件，平板显示器或其它器件的器件的制造特别有用。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2016530186A ガスタンクを充填するためのステーションおよび方法有权
标题翻译：用于填充气体容器站和方法
公开(公告)号：JP2016530186A
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：JP2016522694
申请日：2014-05-28
申请人：レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
发明人：アリーディエール、ローラン
IPC分类号： C01B3/00 , B01D53/04 , B01D53/047 , B01J4/00 , C01B3/56 , F17C5/06
CPC分类号： F17C5/06 , F17C5/007 , F17C2221/012 , F17C2223/0123 , F17C2223/033 , F17C2225/0123 , F17C2225/036 , F17C2227/0157 , F17C2227/0185 , F17C2227/0348 , F17C2227/0355 , F17C2227/0365 , F17C2227/0388 , F17C2227/043 , F17C2250/01 , F17C2260/046 , F17C2265/01 , F17C2265/015 , F17C2265/065 , F17C2270/0139 , Y02E60/321 , Y02E60/324 , Y02P90/45
摘要：少なくとも1つのバッファコンテナ(1、2)と、前記少なくとも1つのバッファコンテナ(1、2)に接続される流体回路(11、12、4、6)とを備える充填ステーション(100)を介して加圧水素によりタンク(8)を充填する方法であって、充填ステーション(100)の回路(11、12、4、6)は、少なくとも1つの水素ガス源(14)に接続される第1の端部(4)を備え、回路(11、12、4、6)は、充填されるべきタンク(8)に取り外し可能に接続されることを意図される移動管(6)に装着される第2の端部を備え、本方法は、少なくとも1つのバッファコンテナ(1、2)へ水素を移動させる前に、浄化部材(9、10)において源(14)によって供給される水素を浄化するステップを含み、充填ステーション(100)の回路(11、12、4、6)は、少なくとも1つのバッファコンテナ(1、2)を充填するために、加圧ガスを圧縮するための少なくとも1つの圧縮部材(7)をさらに備え、本方法は、本方法が、一方では、圧縮部材(7)の出口における圧縮ガスと、他方では、浄化部材(9、10)との間で熱エネルギーを移動させるステップ(16)を備えることを特徴とする。
摘要翻译：经由至少一个缓冲容器（1），填充站（100）和连接到至少一个缓冲容器中的所述流体回路（11,12,4,6）的加压水（1，2）用于填充由碘一箱（8）的方法，该填充站（100）（11,12,4,6）的电路，所述第一端连接至所述氢气源中的至少一个（14）包含（4），电路（11,12,4,6），移动第二管安装在（6），其意在被可拆卸地连接到所述箱（8）将被填充包括移动所述氢之前的端部，该方法中，至少一个缓冲容器（1）包括在所述清洁部件纯化由所述源（14）供给的氢的步骤（9，10）填充站（100）（11,12,4,6）的电路中，以便填充所述至少一个缓冲容器（1,2），以压缩所述加压气体还包括用于所述方法的至少一个压缩部件（7），该方法是，在一方面，在所述压缩部件（7）的出口处的压缩气体，在另一方面，清洁部件之间（9，10）在，其特征在于它包括步骤（16）来传输的热能。

5. 发明专利

JP2016529448A ガスタンクを充填するための方法およびステーション审中-公开
标题翻译：用于填充气体容器的方法和站
公开(公告)号：JP2016529448A
公开(公告)日：2016-09-23
申请号：JP2016522693
申请日：2014-05-28
申请人：レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
发明人：アリーディエール、ローラン
IPC分类号： F17C5/06
CPC分类号： F17C5/06 , F17C5/007 , F17C2221/012 , F17C2223/0123 , F17C2223/033 , F17C2225/0123 , F17C2225/036 , F17C2227/0157 , F17C2227/0185 , F17C2227/0348 , F17C2227/0355 , F17C2227/0365 , F17C2227/0388 , F17C2227/043 , F17C2250/01 , F17C2260/046 , F17C2265/01 , F17C2265/065 , F17C2270/0139 , Y02E60/321 , Y02P90/45
摘要：少なくとも1つのバッファコンテナ(1、2)と、前記少なくとも1つのバッファコンテナ(1、2)に接続される流体回路(11、12、4、6)とを備える充填ステーション(100)を介して加圧水素によりタンク(8)を充填するための方法であって、充填ステーション(100)の回路(11、12、4、6)は、少なくとも1つの水素ガス源(14)に接続される第1の端部(4)を備え、回路(11、12、4、6)は、充填されるべきタンク(8)に取り外し可能に接続されることを意図される移動管(6)に装着される第2の端部を備え、本方法は、冷熱源(5)と水素との間でフリゴリーを移動させることによってタンク(8)へ供給される水素を冷却するステップ(3)を含み、本方法は、少なくとも1つのバッファコンテナ(1、2)へ水素を移動させる前に、浄化部材(9、10)において源(14)によって供給される水素を浄化するステップを備えること、ならびに、浄化ステップの前および/または浄化ステップの期間中に前記冷熱源(5)から水素へフリゴリーを移動させるステップ(13)を備えることを特徴とする、方法。
摘要翻译：经由至少一个缓冲容器（1），填充站（100）和连接到至少一个缓冲容器中的所述流体回路（11,12,4,6）的加压水（1，2）用于填充由碘一箱（8）的方法，该填充站（100）（11,12,4,6）的电路中，第一连接至所述氢气源中的至少一个（14）包括端部部分（4），电路（11,12,4,6）首先安装在所述移动管被用于可移除地连接到容器（8）将被填充（6）包括第二端，该方法包括：（3），用于通过与氢气，该方法冷源（5）之间移动所述Furigori冷却供应到罐（8）中的氢，氢移动到至少一个缓冲容器（1）之前，扫描在清洁部件由源（14）供给的净化氢气（9，10）津市提供触发器，并且其特征在于它包括用于在（5）纯化步骤中，方法的前和/或纯化步骤从冷热源移动Furigori到氢的步骤（13）。

6. 发明专利

JPS61103100A Transporting cold energy 失效
标题翻译：运输冷能
公开(公告)号：JPS61103100A
公开(公告)日：1986-05-21
申请号：JP22367484
申请日：1984-10-24
申请人： Kawasaki Heavy Ind Ltd
发明人： KOKUBU YUICHI , NOSE HIRONORI , TOMITA TSUTOMU
IPC分类号： F17C9/04 , F25B15/00
CPC分类号： F25B15/00 , F17C9/04 , F17C2205/0323 , F17C2223/0161 , F17C2225/0123 , F17C2225/033 , F17C2265/01 , F17C2265/015 , Y02A30/277 , Y02B30/62
摘要： PURPOSE:To establish a low cost and improvement of safety for a transporting provision means by solving in the solution the gas medium heat-absorbed in the load and then returning and circulating the foregoing medium by a transporting means such as piping, etc. to the supplying place in the condition of normal temperature and low pressure. CONSTITUTION:The fluid medium transported to the receiving place is expanded by an expansion valve 6 to the condition of low temperature, low pressure, the cold energy is supplied to the load 7 such as a freezing warehouse, etc. to use it, and the gas medium generated due to heat absorption is solved in the solution of a gas absorption tank 8 to obtain the solution. The solution is transported through a transporting means such as a piping, etc. to a gas discharge tank 9 at the supplying place, the solution is heated within the gas discharge tank 9, the generated gas is supplied to a gas purification tank 10 to remove the water and is stored within a gas holder 1.
摘要翻译：目的：为了建立运输提供的低成本和提高安全性，通过在溶液中解决在负载中被吸收的气体介质，然后通过诸如管道等的输送装置将上述介质返回和循环到在正常温度和低压条件下供应地点。构成：运送到接收处的流体介质通过膨胀阀6膨胀到低温低压的状态，将冷能供给到诸如冷冻仓库等的负载7上，在气体吸收罐8的溶液中溶解由吸热而产生的气体介质，得到溶液。该溶液通过诸如管道等的输送装置输送到供给位置的排气槽9，在气体放出槽9内被加热，将生成的气体供给至气体净化槽10，从而除去水并储存在气体保持器1内。

7. 发明专利

JP2015130339A 水素貯蔵システムのパージ制御装置及び方法审中-公开
标题翻译：控制氢储存系统中的成矿装置和方法
公开(公告)号：JP2015130339A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：JP2014263273
申请日：2014-12-25
申请人：現代自動車株式会社 , 起亞自動車株式会社
发明人：沈志ヒョン , 金亨基 , 金相鉉 , 金昌浩
IPC分类号： H01M8/04
CPC分类号： H01M8/04201 , F17C11/005 , G05D21/02 , H01M8/04798 , F17C2250/032 , F17C2265/01 , F17C2270/0168 , Y10T137/0419 , Y10T137/4259
摘要：【課題】最適のパージタイミングを得る、水素貯蔵システムのパージ制御装置及び方法を提供する。【解決手段】水素純度を測定し、測定した水素純度によって可変的に水素パージを制御する。また、水素純度を算出する段階の前に、水素充填をしたか否かを判断する段階をさらに含み、水素充填をしたか否かを判断する段階で充填が終了したと判断すると、水素純度算出段階を行う。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种控制在氢存储系统中的清洗的装置和方法，其能够获得最佳的清洗时间。解决方案：在储氢系统中控制净化的方法中，测量氢纯度，氢取决于测量的氢气纯度可以调节清洗。该方法还包括在计算氢纯度的步骤之前确定是否已经进行氢气充电的步骤。如果在确定是否进行氢气充填的步骤中确定已经终止充电，则执行氢纯度计算步骤。

8. 发明专利

JP2007162787A Washing method of vessel valve, filling method of halogen based liquefied gas, returning method of high pressure gas vessel, washing tool, and washing agent 有权
标题翻译：瓦斯阀的洗涤方法，基于卤化物的液化气的填充方法，高压气体储存罐的回流方法，洗涤工具和洗涤剂
公开(公告)号：JP2007162787A
公开(公告)日：2007-06-28
申请号：JP2005358149
申请日：2005-12-12
申请人： Tsurumi Soda Co Ltd , 鶴見曹達株式会社
发明人： TOMARU MASAHIDE
IPC分类号： F17C13/04
CPC分类号： F17C13/04 , F17C2205/0323 , F17C2221/037 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2265/01
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a washing method of a vessel valve and its washing tool capable of easily and positively washing halogen based liquefied gas adhered to the inside of a vessel valve attached to a high pressure gas vessel for filling halogen based liquefied gas soluble in an organic solvent therein. SOLUTION: After filling the halogen based liquefied gas in the high pressure gas vessel or after the halogen based liquefied gas inside the high pressure gas vessel is consumed, with the vessel valve closed, the organic solvent is supplied to the inside of the vessel valve from a gas takeout port and the halogen based liquefied gas adhered on the inside of the vessel valve is washed. Further, by supplying the organic solvent into the vessel valve by jetting by a jetting agent, the halogen based liquefied gas adhered on the inside of the vessel valve is washed. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：解决的问题：提供容器阀及其洗涤工具的洗涤方法，其能够容易且积极地洗涤附着在附着于用于填充卤素的高压气体容器的容器阀的内部的卤素类液化气体可溶于其中的有机溶剂的液化气体。
解决方案：在高压气体容器中填充卤素基液化气体之后，或者在高压气体容器内的卤素基液化气体被消耗之后，在容器阀关闭的情况下，将有机溶剂供应到洗涤从气体取出口的容器阀和附着在容器阀内部的卤素液化气体。此外，通过由喷射剂喷射而将有机溶剂供给到容器阀中，清洗附着在容器阀内部的卤素系液化气。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2006501118A Generation of molecular fluorine in the manufacturing facility, distribution, and use 审中-公开
公开(公告)号：JP2006501118A
公开(公告)日：2006-01-12
申请号：JP2003547672
申请日：2002-11-26
申请人：フルオラインオンコール, リミテッド
发明人：ステファンエイチ．シーゲル， , フレデリックジェイ．シーゲル， , ロバートジャクソン，
IPC分类号： C01B7/20 , B01D53/04 , B01J7/00 , C01B7/19 , C23C16/44 , F17C9/00 , H01L21/304
CPC分类号： B01D53/04 , B01D53/0407 , B01D53/0446 , B01D53/0454 , B01D2253/104 , B01D2256/26 , B01D2257/2047 , B01D2259/40084 , B01D2259/402 , C01B7/191 , C01B7/20 , C23C16/4405 , C25B1/24 , C25B1/245 , C25B15/02 , C25B15/08 , F17C9/00 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2265/01 , F17C2270/0518
摘要：製造設備における分子フッ素生成と使用に対する統合した解決が、開示される。この統合した解決、およびシステムの一部分、および方法は、新規な局面を含む。本明細書に記載される方法およびシステムのいくつかの実施形態は、製造ツールにおいて、またはその近傍において、分子フッ素を生成する能力を提供し得る。本明細書に記載のシステムおよび方法のその他の実施形態は、複数のフッ素セルを有するフッ素発生器キャビネットを含み得る。この方法およびシステムは、ミクロ電気デバイス、集積ミクロ電子回路、セラミック基板を基礎にしたデバイス、フラットパネルディスプレイ、または他のデバイスのようなデバイスの製造に有用である。１つの特定の実施形態において、Ｆ
２が、製造設備における現場で発生し得、そしてプロセスツールの堆積チャンバーを清掃するのに使用される。

10. 发明专利

JP2018179243A 液化ガス供給予備システムおよび液化ガス予備供給方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018179243A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017083209
申请日：2017-04-19
申请人：レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
发明人：永田大祐 , 廣瀬献児 , 西康治 , 富田伸二
IPC分类号： F17C9/02
CPC分类号： F17C9/02 , F17C2221/011 , F17C2221/014 , F17C2221/033 , F17C2223/0161 , F17C2223/033 , F17C2225/0123 , F17C2227/0135 , F17C2227/0304 , F17C2227/0309 , F17C2227/0311 , F17C2227/0323 , F17C2227/0393 , F17C2250/03 , F17C2250/043 , F17C2250/0439 , F17C2250/0443 , F17C2250/0636 , F17C2265/01 , F17C2265/022 , F17C2265/06 , F17C2265/07 , F17C2270/0134
摘要：【課題】少ない消費電力で、液化ガスの供給を連続的に実施する液化ガス供給予備システムを提供する。【解決手段】液化ガス供給予備システム1は、液化ガスポンプ13から送られた液化ガスを周辺環境温度より低い第1の温度のガスへ状態遷移させる蒸発器12と、第1の温度のガスを、熱媒体で第1の温度より高い第2の温度へ昇温させる熱交換部16と、第2の温度のガスを、電気ヒータで第2の温度より高い第3の温度へ昇温させる加温部14と、加温部14で生じたガスをメイン配管へ送る予備ガス供給配管と、メイン配管または予備ガス供給配管の内圧を測定する圧力計20と、電気ヒータおよび/または液化ガスポンプ13に電力を供給する発電機15と、圧力計20で測定された圧力が閾値以下になった場合に発電機15を稼働するように制御する発電機制御部31とを備える。【選択図】図1

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