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1. 发明专利

JP2013128117A Bidirectional gate valve and substrate processing system including the same 有权
标题翻译：双向门阀和底板加工系统，包括它们
公开(公告)号：JP2013128117A
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：JP2012275019
申请日：2012-12-17
申请人： New Power Plasma Co Ltd , ニューパワープラズマカンパニー,リミティッド
发明人： CHOI DAE-KYU
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677
CPC分类号： F16K3/00 , H01L21/67126
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bidirectional gate valve which enables the maintenance of a chamber included in a substrate processing system and the maintenance of the gate valve itself without stopping the entire operation of the substrate processing system, and to provide the substrate processing system including the bidirectional gate valve.SOLUTION: A substrate processing system comprises: a first chamber; a second chamber; a moving module; first driving means for operating a first operation body; second driving means for operating a second operation body; and third driving means for moving a pushful module between an operation position and a stand-by position. When the pushful module is moved to the operation position by the third driving means, the first operation body is operated by the first driving means and the second operation body is operated by the second driving means to selectively seal one of a first gate way and a second gate way.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种双向闸阀，其能够维持基板处理系统中包括的室和维护闸阀本身，而不停止基板处理系统的整个操作，并且提供基板处理系统包括双向闸阀。解决方案：一种基板处理系统，包括：第一室; 第二个房间移动模块用于操作第一操作体的第一驱动装置; 用于操作第二操作体的第二驱动装置; 以及用于在操作位置和待机位置之间移动推模块的第三驱动装置。当推动模块通过第三驱动装置移动到操作位置时，第一操作体由第一驱动装置操作，并且第二操作体由第二驱动装置操作以选择性地密封第一门方式和第二门的方式。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP2016098925A 電動弁审中-公开
标题翻译：电动阀
公开(公告)号：JP2016098925A
公开(公告)日：2016-05-30
申请号：JP2014237349
申请日：2014-11-25
申请人：株式会社テージーケー
发明人：高橋和司 , 湯浅智宏 , 大江勇人
IPC分类号： F16K31/50 , F25B41/06 , H02K7/14 , F16K31/04
CPC分类号： F16K31/048 , F16K3/00 , F16K3/0218 , F16K3/0254 , F25B41/062 , H02K37/00 , F25B2341/0653 , Y02B30/72
摘要：【課題】ステッピングモータ駆動式の電動弁において、簡易な構成にてステータの位置決め精度を向上させる。【解決手段】制御弁1は、弁体34に駆動力を伝達するためのシャフト60と、シャフト60の回転量を規制するためのストッパ機構と、ロータ31を内包する一方、ステータコイル33が同軸状に外挿されるキャン35と、を備える。ストッパ機構の作動によりシャフト60が停止されるときのステータコイル33とロータ31との回転方向の位置関係が、互いの磁極が正対する基準位置として設定される。ロータ31は、ストッパ機構の配置構成により基準位置にて停止されるように設けられる。ステータコイル33は、ボディ5との取付面に設けられた嵌合部と、キャン35への挿通部との位置関係によりボディ5に対する位置決めがなされ、基準位置にてロータ31と互いの磁極を正対させる。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供一种简单构造以提高定子的定位精度的步进电动机驱动型电动机。解决方案：控制阀1包括用于将驱动力传递到阀元件34的止动机构用于限制轴60的旋转量，以及包围转子31并且定子线圈33同轴并外部安装在其上的罐35。通过止动机构的操作使轴60停止时定子线圈33与转子31之间的旋转方向的位置关系被设定为使得它们的磁极在基准位置彼此面对。在止动机构的配置结构中，转子31被设置为停止在基准位置。定子线圈33根据设置在与本体5嵌合的安装面上的部分和通过罐35插入的部分之间的位置关系相对于主体5定位，然后其磁极面向转子31的磁极在参考位置。选择图：图4

3. 发明专利

JP5565452B2 Two-way gate valve and a substrate processing system having the same 有权
公开(公告)号：JP5565452B2
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：JP2012275019
申请日：2012-12-17
申请人：ニューパワープラズマカンパニー,リミティッド
发明人：崔大圭
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677
CPC分类号： F16K3/00 , H01L21/67126

4. 发明专利

JP2013534602A Step motor operation of the balanced flow control valve 有权
公开(公告)号：JP2013534602A
公开(公告)日：2013-09-05
申请号：JP2013519716
申请日：2011-07-08
申请人：マック・バルブス・インコーポレイテッド
发明人：ヤー、ポール・エー． , ウイリアムズ、ケビン・シー．
IPC分类号： F16K31/04 , F16K1/04 , F16K1/36 , F16K3/24 , F16K11/07
CPC分类号： F16K31/04 , F16K1/02 , F16K3/00 , F16K11/065 , F16K11/07 , Y10T137/86574 , Y10T137/86622 , Y10T137/8671
摘要：ボディの長手方向軸と同軸状に配向されたボディ孔を有するボディと、この孔内に延びる弁部材とを含む流量制御弁。弁部材が孔内に摺動可能に配置され、ボディの長手方向軸と同軸状に配向される。弁部材は、孔を有する非円形幾何学的成形ヘッドを含む。ドライブアダプタは、弁部材の幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容しかつ軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含む。ステップモータがドライブアダプタに接続され、このステップモータは、弁部材の孔に係合したシャフトを漸進的に回転する。弁部材の径の等しい第１及び第２ピストンが圧力バランスされた弁部材作動位置を提供する。

5. 发明专利

JP4296002B2 Vacuum valve 有权
公开(公告)号：JP4296002B2
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：JP2003033312
申请日：2003-02-12
申请人：バットホールディングアーゲー
发明人：トーマスブレカ
IPC分类号： F16K3/02 , F16K51/02 , F16K3/00
CPC分类号： F16K51/02 , F16K3/00

6. 发明专利

JP2018056554A 変圧器のバルブ制御ポートに取り付けるための双方向オイルフローアダプタ审中-公开
公开(公告)号：JP2018056554A
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：JP2017156692
申请日：2017-08-15
申请人：ゼネラルエレクトリックテクノロジーゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング , General Electric Technology GmbH
发明人：デビッド・ピーター・ロビンソン , アラン・マクレガー
IPC分类号： H01F27/14 , H01F41/00 , H01F27/00
CPC分类号： G01N33/2841 , F15D1/02 , F16K3/00 , G01N1/02 , G01N1/20 , H01F27/12 , H01F27/14 , H01F27/402
摘要：【課題】変圧器のハウジングの一部であるバルブ制御ポートに取り付けることができる、種々の目的のために利用可能な双方向オイルフローアダプタを提供する。【解決手段】システム100において、双方向オイルフローアダプタ115は、変圧器105から取得されたオイルサンプルを出力するように構成されたオイル出口ポート119と、オイルサンプルに第1のオイル流速を提供するように選択された第1の断面積を有する第1の導管116と、一定量のオイルの流入を受け入れるように構成されたオイル入口ポート138と、一定量のオイルに第2のオイル流速を提供するように選択される第2の導管117と、を含む、第2のオイル流速は、第1のオイル流速よりも高い。【選択図】図1

7. 发明专利

JP5893619B2 ステップモータ作動の平衡型流量制御弁有权
标题翻译：平衡流量控制阀的步进电机操作
公开(公告)号：JP5893619B2
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：JP2013519716
申请日：2011-07-08
申请人：マック・バルブス・インコーポレイテッド
发明人：ヤー、ポール・エー. , ウイリアムズ、ケビン・シー.
IPC分类号： F16K11/07 , F16K1/36 , F16K1/04 , F16K3/24 , F16K31/04
CPC分类号： F16K31/04 , F16K1/02 , F16K11/065 , F16K11/07 , F16K3/00 , Y10T137/86574 , Y10T137/86622 , Y10T137/8671

8. 发明专利

JP2015121322A サーボ弁有权
标题翻译： SERVOVALVE
公开(公告)号：JP2015121322A
公开(公告)日：2015-07-02
申请号：JP2014252558
申请日：2014-12-15
申请人：グッドリッチアクチュエーションシステムズエスアーエス
发明人：アルノードラシュヴァスネリ , ニコラブールデ
IPC分类号： F15B13/043
CPC分类号： F16K31/124 , F15B13/0436 , F15B13/0438 , F16K3/00 , F15B13/16
摘要：【課題】油圧流を制御するための電気油圧サーボ弁を提供する。【解決手段】電気油圧サーボ弁は、電気トルクモータ、油圧ブロックに入る油圧油の流れを制御するように配置された可撓性部材および剛性ビーム(4)、ならびに差圧に応答して軸方向運動のために油圧ブロック内に摺動装着されたスプール(8)を概して備える。トルクモータは、剛性ビーム(4)に連結され、電気入力に応答してビーム(4)および可撓性部材を偏向するために可動である、駆動部材を含む。本開示によれば、フィードバックバネ(10’)は、スプール(8)の運動に応答して復帰力を伝送するように、ビーム(4)に直接連結される。フィードバックバネ(10’)は、スプール(8)に固定的に取り付けられ、油圧ブロック内のスプール(8)の半径方向変位を吸収するように配置された、一体型バネ部材である。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于控制液压流量的电动液压伺服阀。解决方案：电动液压伺服阀通常包括：电动力矩电动机; 柔性构件和刚性梁（4），其设置成控制进入液压块的液压油的流动; 以及可滑动地附接到液压块中的轴（8），以响应于压差而产生轴向运动。扭矩电动机包括耦合到刚性梁（4）的驱动构件，并且其可移动以响应于电输入而偏转梁（4）和柔性构件。根据本公开，反馈弹簧（10'）直接联接到梁（4），以便响应于线轴（8）的运动而传递返回力。反馈弹簧（10'）是固定地附接到阀芯（8）并被设置成吸收阀芯（8）在液压块内的径向位移的整体弹簧构件。

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