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    • 9. 发明专利
    • 内部温度センサ
    • 内部温度传感器
    • JP2015114291A
    • 2015-06-22
    • JP2013258686
    • 2013-12-13
    • オムロン株式会社
    • 中川 慎也清水 正男▲浜▼口 剛
    • G01K7/00
    • G01K13/002B81B1/00G01K1/08G01K17/00G01K17/20G01K7/00
    • 【課題】測定対象物の内部温度を、精度及び応答性が良い形で測定できる内部温度センサを提供する。 【解決手段】内部温度センサ20は、測定対象物の内部温度の測定時に、その一方の面を測定対象物の被測定面に接触させる基材21及び22と、基材の他方の面上に設けられた、MEMSプロセスにより製造された、第1測温部及び第2測温部を有し、第1測温部と第2測温部との間の温度差を検出するサーモパイル32が形成されている薄膜部を含み、薄膜部が、基材を介して流入する測定対象物からの熱を第2測温部に伝導する熱伝導性部材により第1測温部と基材との間に空間が存在し、且つ、薄膜部が基材に対して平行となるように支持された熱流束センサ30と、基材の熱伝導性部材と接触している部分の温度を測定するための温度センサ41とを備える。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种内部温度传感器,其能够以精确和优异的响应性测量测量对象的内部温度。解决方案:内部温度传感器20具有基底材料21和22,使其中的一个表面与测量对象接触 测量对象的内部温度时测量对象的表面;以及第一温度测量部分和第二温度测量部分,其设置在基底材料的另一个表面上并通过MEMS工艺制造,并且包括薄膜部分 其中形成用于检测第一温度测量部分和第二温度测量部分之间的温度差的热电堆32。 在第一温度测量部分和基材之间存在通过基底材料将薄膜部分从测量对象传递到第二温度测量部分的热传导部件的空间,并且包括热通量传感器30 以使薄膜部分平行于基材的方式支撑,以及用于测量与基材的传热部件接触的部分的温度的温度传感器41。