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1. 发明专利

JP2017533831A 印刷による化学機械研磨パッド审中-公开
公开(公告)号：JP2017533831A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：JP2017520355
申请日：2015-10-16
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated , アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人：マヘンドラシー．オリラル， , マヘンドラシー．オリラル， , ティモシーマイケルソン， , ティモシーマイケルソン， , カシラマンクリシュナン， , カシラマンクリシュナン， , ラジーブバジャージ， , ラジーブバジャージ， , ナグビー．パティバンドラ， , ナグビー．パティバンドラ， , ダニエルレッドフィールド， , ダニエルレッドフィールド， , フレッドシー．レデカー， , フレッドシー．レデカー， , グレゴリーイー．メンク， , グレゴリーイー．メンク，
IPC分类号： B24B37/22 , H01L21/304
CPC分类号： B24B37/24 , B24B37/22 , B24B37/26 , B24D18/0045 , B33Y10/00 , B33Y80/00
摘要：研磨パッドの研磨層を製造する方法は、3Dプリンタによって複数の層を連続的に堆積することを含み、複数の研磨層の各層は、第1のノズルから基材と第2のノズルから添加剤を噴射すること、並びに基材と添加剤を固めて、凝固したパッド材料を形成することによって堆積される。【選択図】図3

2. 发明专利

JP2017533585A 付加製造プロセスにより製作される研磨パッド审中-公开
公开(公告)号：JP2017533585A
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：JP2017520496
申请日：2015-10-19
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated , アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人：ラジーブバジャージ， , ラジーブバジャージ， , ダニエルレッドフィールド， , ダニエルレッドフィールド， , マヘンドラシー．オリラル， , マヘンドラシー．オリラル， , ボイフー， , ボイフー， , アニルッドジャグディシュカンナ， , アニルッドジャグディシュカンナ， , ジェイソンジー．ファン， , ジェイソンジー．ファン， , マリオコルネホ， , マリオコルネホ， , アシュウィンチョカリンガム， , アシュウィンチョカリンガム， , マユフェリシアヤマムラ， , マユフェリシアヤマムラ， , ラーガバカキレディ， , ラーガバカキレディ， , アシャヴァニクマル， , アシャヴァニクマル， , ヴェンカタチャラムハリハラン， , ヴェンカタチャラムハリハラン， , グレゴリーイー．メンク， , グレゴリーイー．メンク， , フレッドシー．レデカー， , フレッドシー．レデカー， , ナグビー．パティバンドラ， , ナグビー．パティバンドラ， , ホウティーング， , ホウティーング， , ロブダヴェンポート， , ロブダヴェンポート， , アムリタンシュシンハ， , アムリタンシュシンハ，
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/24
CPC分类号： B24B37/26 , B24B37/205 , B24B37/22 , B24B37/24 , B24D18/0045 , B29C64/112 , B33Y80/00
摘要：本開示の実施形態は、調整可能な化学的、材料的及び構造的な特性を有する高度な研磨パッド、及びその研磨パッドを製造する新たな方法に関する。本開示の一又は複数の実施形態によれば、改良された特性を有する研磨パッドが、3次元(3D)印刷プロセスなどの付加製造プロセスにより製作され得ることが分かった。したがって、本開示の実施形態は、官能性ポリマー、官能性オリゴマー、反応性希釈剤、及び硬化剤を含む少なくとも2つの異なる材料から形成された個別的特性及び形状寸法を有する高度な研磨パッドを提供し得る。例えば、高度な研磨パッドは、少なくとも1つの樹脂前駆体組成物の自動連続堆積により、更にはその後に続く少なくとも1つの硬化ステップにより、複数のポリマー層から形成され得、各層は、少なくとも1つのポリマー組成物、及び/又は異なる組成物の領域を表し得る。【選択図】図3A

4. 发明专利

JP2012232411A Grinding wheel for fine trimming, use of the same, and method and device for producing the same 有权
标题翻译：用于精细研磨的研磨轮，其使用及其制造方法和装置
公开(公告)号：JP2012232411A
公开(公告)日：2012-11-29
申请号：JP2012195107
申请日：2012-09-05
申请人： Saint-Gobain Abrasifs Technologie Et Services , サン−ゴバンアブラジフテクノロジエセルビス
发明人： LAVAIRE FLAVIEN
IPC分类号： B24D5/04 , B24D18/00 , B30B11/00
CPC分类号： B24D5/12 , B24D13/08 , B24D18/0009 , B24D18/0045
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a disk-shaped grinding wheel for trimming and arbitrary separation.SOLUTION: The grinding wheel (1) has at least a central axis X, a central fixing region F, and at least one peripheral work zone Z extending to the outside of the central fixing zone in relation to the central axis. The grinding wheel includes at least one layer (3, 5) formed of abrasive grains and two layers (2, 6) which do not contain any abrasive grains surrounding the wheel. The grinding wheel is characterized in that the work zone Z has a thickness of less than 4 mm, preferably lower than or equal to 3.2 mm.
摘要翻译：要解决的问题：提供用于修整和任意分离的盘形砂轮。解决方案：砂轮（1）至少具有中心轴线X，中心固定区域F以及相对于中心轴线延伸到中心固定区域外部的至少一个周边工作区域Z。砂轮包括由磨粒形成的至少一层（3,5）和不包含围绕砂轮的任何磨粒的两层（2,6）。砂轮的特征在于，工作区域Z的厚度小于4mm，优选地低于或等于3.2mm。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2009528174A Grinding disc and grinding wheel to hold it 审中-公开
公开(公告)号：JP2009528174A
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：JP2008556710
申请日：2007-02-28
申请人：ルーカス−エルツェットフェアイニクテシュライフ−ウントフレスヴェルクツォイクファブリケンゲーエムベーハーウントツェーオー.カーゲー
发明人：クルーグ，ゲオルク
IPC分类号： B24D13/14
CPC分类号： B24D13/08 , B24D11/008 , B24D13/16 , B24D18/0045
摘要：本発明は、中央に開口を有する円形ホイールの形状から逸脱した形状を少なくとも部分的に有すると共に互いに角度αで配設される少なくとも２つの環状部分４，５，６，７，２４，２５，２６，２７，３４，３５，３６，３７，４４，４５，４６，４７を備える、特に回転駆動可能な研削砥石８に設けられる研削ディスク１に関する。係る研削ディスクを含む研削砥石８は、少なくとも１つの支持部材２を有すると共に少なくとも２つの上記研削ディスク１を含む。前記研削ディスク１は、部分的に重なり合うと共に、互いに一緒になって環状の形状を形成する。研削ディスク１を製造するための細長い材料又は一枚の材料用のパターン１４，３２が使用されている場合には、前記研削ディスク１は、互いに隣接すると共に互いに１８０度オフセットするように同一方向において隣同士に配列される。

6. 发明专利

JPS59118374A Abrasive material and manufacture thereof 失效
标题翻译：研磨材料及其制造
公开(公告)号：JPS59118374A
公开(公告)日：1984-07-09
申请号：JP23208482
申请日：1982-12-24
申请人： Kanai Hiroyuki
发明人： TAKIGAWA HISAYUKI
IPC分类号： B24D11/00 , B24D3/20 , B24D18/00 , B29C59/00 , B29C65/00 , B29C67/20
CPC分类号： B29C44/5663 , B24D18/0045
摘要： PURPOSE:To manufacture easily the grinding material of good quality, which has high elasticity and cushioning property, by a method wherein the gaps of entangled fibers are filled with resin expandable bodies uniformly. CONSTITUTION:Natural or chemical fiber webs 2 are laminated on an open-cell foamed body sheet layer 3 and the fibers of the webs 2 are buried perfectly substantially into the foamed body sheet 3 by punching by a needle punch machine 5 under the condition of punching depth of more than 10mm. and punching number of more than 50P/cm in order to form an integral base material 8 in which the fibers are entangled and complicated mutually in the foamed construction 7. Subsequently, a synthetic resin binder 23, such as phenol, epoxy, urethane or the like, containing abrasive grains 22 is impregnated into the base material 8 in an impregnating bath 9 or is sprayed thereon while the base materials 8 are rolled into a roll or punched and laminated into a predetermined from when the binder 23 is wet still to obtain the abrasive material 19 having high elasticity and cushioning property by drying and heat-treating after compressing them to a desired density.
摘要翻译：目的：通过其中缠结纤维的间隙均匀地填充有树脂可膨胀体的方法，容易地制造具有高弹性和缓冲性的高质量的研磨材料。构成：将天然或化学纤维网2层合在开孔泡沫体层3上，并且在冲压条件下通过针刺机5冲压将网2的纤维基本上完全埋入发泡体片3中深度大于10mm。冲孔数大于50P / cm 2，以形成一体的基材8，其中纤维在发泡结构7中相互缠结和相互复合。随后，合成树脂粘合剂23如苯酚，环氧树脂，含有磨粒22的氨基甲酸乙酯等在浸渍浴9中浸渍到基材8中，或者在将基材8卷成辊或冲压成层压成预定时，从粘合剂23变湿通过干燥和热处理将其压缩至所需的密度，获得具有高弹性和缓冲性能的研磨材料19。

7. 发明专利

JP6283957B2 研磨ヘッドの製造方法及び研磨ヘッド、並びに研磨装置有权
公开(公告)号：JP6283957B2
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：JP2015084098
申请日：2015-04-16
申请人：信越半導体株式会社
发明人：大関正彬 , 佐藤三千登
IPC分类号： H01L21/304 , B24B41/06 , B24B37/30
CPC分类号： B24B37/26 , B24B37/24 , B24B37/30 , B24B41/06 , B24D18/0045

8. 发明专利

JP2010028113A Multilayer chemical mechanical polishing pad manufacturing process 有权
标题翻译：多层化学机械抛光垫制造工艺
公开(公告)号：JP2010028113A
公开(公告)日：2010-02-04
申请号：JP2009163556
申请日：2009-07-10
申请人： Rohm & Haas Electronic Materials Cmp Holdings Inc , ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズシーエムピーホウルディングスインコーポレイテッド
发明人： JENSEN MICHELLE , NOWLAND JOHN GIFFORD , HARDING BRENDA , CORDER CAROL
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/00
CPC分类号： B24B37/22 , B24D18/0045 , B24D18/0072 , Y10T156/1092
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a process of manufacturing an elastic multilayer chemical mechanical polishing pad that resists internal breakdown (i.e., delamination) during use. SOLUTION: The process of manufacturing a multilayer chemical mechanical polishing pad comprises: providing a polishing layer, providing a subpad layer, optionally providing additional layers, providing an unset reactive hot melt adhesive, applying the unset reactive hot melt adhesive in a pattern on a surface of at least one of the layers, applying one of the other layers over the pattern of unset reactive hot melt adhesive, pressing the two layers together with the unset reactive hot melt adhesive interposed therebetween, allowing the unset reactive hot melt adhesive to set to form a reactive hot melt adhesive bond between the two layers. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种制造弹性多层化学机械抛光垫的方法，其在使用过程中抵抗内部破裂（即分层）。解决方案：制造多层化学机械抛光垫的过程包括：提供抛光层，提供子垫层，任选地提供附加层，提供未固化的反应性热熔粘合剂，将未固化的反应性热熔粘合剂以图案在至少一个层的表面上，将其它层之一涂覆在未固化的反应性热熔粘合剂的图案上，将两层与未设置的反应性热熔粘合剂一起压在其间，使未固化的反应热熔粘合剂设置在两层之间形成反应性热熔粘合剂。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2009528924A Grinding wheel for fine trimming, use of the grinding wheel, as well as its manufacturing method and apparatus 有权
公开(公告)号：JP2009528924A
公开(公告)日：2009-08-13
申请号：JP2008557804
申请日：2007-03-01
申请人：サン−ゴバンアブラジフテクノロジエセルビス
发明人：ラベル，フラビアン
IPC分类号： B24D3/00
CPC分类号： B24D5/12 , B24D13/08 , B24D18/0009 , B24D18/0045
摘要：本発明は、ディスクの形をした、トリミングのための、任意に分離のための研削砥石（１）に関し、この研削砥石は、中心軸Ｘと、中心固定帯域Ｆと、中心軸に関して中心固定帯域の外側に延在している少なくとも１つの周辺作業帯域Ｚとを有しており、また、この研削砥石は、研磨材粒子から形成された少なくとも１つの層（３，５）及び砥石を取り囲んだ研磨材粒子を含有していない２つの層（２，６）を含んでいる。本発明の研削砥石は、その作業帯域Ｚが合計して４ｍｍ未満、好ましくは３．２ｍｍよりも小さいかもしくはそれに等しい厚さを有することを特徴としている。

10. 发明专利

JP3549923B2 Holder for polishing disk tool 失效
公开(公告)号：JP3549923B2
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：JP16121394
申请日：1994-07-13
申请人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー
发明人：忠次郎志賀
IPC分类号： A46B7/10 , B24D13/08 , B24D13/20 , B24D18/00
CPC分类号： B24D18/0045 , B24D13/08 , B24D13/20

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