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1. 发明专利

JP2014222698A 電極埋め込み石英部材及びその製造方法有权
标题翻译：电极嵌入式微粒成员及其制造方法
公开(公告)号：JP2014222698A
公开(公告)日：2014-11-27
申请号：JP2013101311
申请日：2013-05-13
申请人：コバレントマテリアル株式会社 , Covalent Materials Corp
发明人： KATO SACHIKO , YASUMOTO YASUHIRO , MURAMATSU SHIGEKO , GOTO HIROYUKI
IPC分类号： H01L21/683
摘要：【課題】静電チャックやヒータ等の半導体処理用部材であって、電極が破断することなく、長時間安定的に使用可能な電極埋め込み石英部材及びその製造方法を提供する。【解決手段】第1の石英ガラス板1の一主面上に、スクリーン印刷により電極パターンを形成した後、第1の石英ガラス板1の電極形成面と第2の石英ガラス板2を接合し、電極3を構成する導電性材料の融点よりも低い温度で熱圧着することにより、石英ガラス板1,2の内部に、導電性材料からなる粉体が未焼結状態で密着した集合体からなる電極3が埋設されている電極埋め込み石英部材を製造する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种电极嵌入石英构件，其是用于静电卡盘，加热器等的半导体加工的构件，并且不会破坏电极并且可以长期稳定使用，并且方法制造电极嵌入式石英部件，其具有嵌入第一石英玻璃板1中的电极3和第二石英玻璃板2，将第一石英玻璃板1的电极形成面并且通过丝网印刷在第一石英玻璃板1的一个主表面上形成电极图案之后的第二石英玻璃板2，并且在低于构成电极3的导电材料的熔点的温度下通过热压接将它们接合，电极3包括以非烧结状态结合的导电材料的粉末聚集体。

2. 发明专利

JP2014222697A 電極埋め込み石英部材及びその製造方法有权
标题翻译：电极嵌入式微粒成员及其制造方法
公开(公告)号：JP2014222697A
公开(公告)日：2014-11-27
申请号：JP2013101310
申请日：2013-05-13
申请人：コバレントマテリアル株式会社 , Covalent Materials Corp
发明人： YASUMOTO YASUHIRO , MURAMATSU SHIGEKO , GOTO HIROYUKI
IPC分类号： H01L21/683
摘要：【課題】静電チャックやヒータ等の半導体処理用部材であって、内部電極の酸化や該部材の強度の低下等の不具合を生じることなく、内部電極への導通を確実に得ることができ、かつ、給電端子を任意の位置に設定することができる電極埋め込み石英部材及びその製造方法を提供する。【解決手段】石英ガラス板1,3,6の内部に、該石英ガラス板の一主面から異なる深さに配置された第1の電極7及び第2の電極2と、第1の電極7と第2の電極2に挟まれた柱状の通電体4とが埋設され、通電体4は、石英ガラス柱状体41の内部には貫通体43が埋設され、石英ガラス柱状体41の表面には導電性材料からなる被覆層42が形成され、天面及び底面がそれぞれ、第1の電極7及び第2の電極2と接合されている電極埋め込み石英部材を作製する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供作为用于静电卡盘，加热器等的半导体加工的部件的电极嵌入式石英部件，并且可以可靠地获得对内部电极的导通，而没有诸如内部电极的氧化的任何问题并且构件的强度降低，并且可以将设置在任意位置的馈电端子及其制造方法。本发明提供一种电极嵌入石英构件，使得第一电极7和第二电极2 布置在石英玻璃板的一个主表面和夹在第一电极7和第二电极2之间的柱状导电体4的不同深度处埋设在石英玻璃板1,3和6中; 导电体4具有嵌入石英玻璃柱体41内的贯通体43; 在石英玻璃柱体41的上表面上由导电材料形成涂层42; 并且顶表面和底表面与第一电极7和第二电极2接合。

3. 发明专利

JP2014057013A Electrostatic chuck 审中-公开
标题翻译：静电卡
公开(公告)号：JP2014057013A
公开(公告)日：2014-03-27
申请号：JP2012202162
申请日：2012-09-14
申请人： Covalent Materials Corp , コバレントマテリアル株式会社
发明人： MURAMATSU SHIGEKO , GOTO HIROYUKI , KOBAYASHI HIROAKI
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic chuck with a stronger attraction force, having an electrode pattern with excellent in-plane uniformity of an attraction force.SOLUTION: In the electrostatic chuck in the present invention, electrodes are embedded into a plate-like insulator of which at least one principal surface is an attraction surface. The electrodes constitute an electrode pattern in which positive electrodes and negative electrodes are alternately arranged. The positive electrodes and negative electrodes comprise: a linear trunk portion extending toward the peripheral edge direction from the center point of the attraction surface; and a linear branch portion branching off from the trunk portion. The branch portion is formed in a circular arc shape or a polygonal shape, along the peripheral edge of an arbitrary concentric circle or an arbitrary concentric polygon that is centered at the center point. The number of the branch portion extending from the trunk portion positioned on the peripheral edge of the arbitrary concentric circle is only one each for one of the electrodes.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有较强吸引力的静电卡盘，其电极图案具有优异的吸引力的面内均匀性。解决方案：在本发明的静电卡盘中，将电极嵌入板状绝缘子的至少一个主表面是吸引表面。电极构成交替配置正极和负极的电极图案。正极和负极包括：从吸引面的中心点向周缘方向延伸的线状主干部; 以及从躯干部分分支的直线分支部。分支部分沿着任意同心圆的圆周边缘或以中心点为中心的任意同心多边形形成圆弧形或多边形。从位于任意同心圆的周缘的主干部分延伸的分支部分的数量仅对于一个电极仅一个。

4. 发明专利

JP2013077508A Planar heater 审中-公开
标题翻译：平面加热器
公开(公告)号：JP2013077508A
公开(公告)日：2013-04-25
申请号：JP2011217773
申请日：2011-09-30
申请人： Covalent Materials Corp , コバレントマテリアル株式会社
发明人： GOTO HIROYUKI , MURAMATSU SHIGEKO , KOBAYASHI HIROAKI
IPC分类号： H05B3/20 , H05B3/10 , H05B3/84
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a planar heater which forms non formation parts where a transparent conductive film is not formed on a formation surface of the transparent conductive film, partially changes the resistance on the transparent conductive film formation surface by using the non formation parts, and controls the temperature distribution in the surface.SOLUTION: In a planar heater 1, a transparent conductive film 3 is formed on at least one surface of a transparent substrate 2, and metal electrodes 4 for voltage application are disposed at both ends of the transparent substrate 3. Multiple non formation parts 3a where the transparent conductive film is not formed are formed on a formation surface of the transparent conductive film 3 where the transparent conductive film 3 is formed. This structure increases the apparent resistance of the transparent conductive film and controls a current flow and Joule heat generated thereby controlling the in-plane temperature distribution.
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种在透明导电膜的形成表面上形成没有形成透明导电膜的非形成部分的平面加热器，通过使用透明导电膜形成表面的电阻来部分地改变透明导电膜形成表面的电阻非形成部分，并控制表面的温度分布。解决方案：在平面加热器1中，在透明基板2的至少一个表面上形成透明导电膜3，并且在透明基板3的两端设置用于施加电压的金属电极4。在形成透明导电膜3的透明导电膜3的形成表面上形成未形成透明导电膜的部分3a。这种结构增加了透明导电膜的视在电阻并且控制电流和由此产生的焦耳热，从而控制面内温度分布。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2012204447A Electrostatic chuck 有权
标题翻译：静电卡
公开(公告)号：JP2012204447A
公开(公告)日：2012-10-22
申请号：JP2011065552
申请日：2011-03-24
申请人： Covalent Materials Corp , コバレントマテリアル株式会社
发明人： MURAYAMA HARUO , MURAMATSU SHIGEKO
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic chuck which exhibits excellent attraction/release response while ensuring the attraction power.SOLUTION: The electrostatic chuck has an electrode made of a conductive material and buried in a planar silica glass, and attracts a matter to be attracted by using one principal surface as a suction face. The distance between the electrode and the suction face is maximum in the center of the suction face, changes continuously from the center to the outer periphery of the suction face, and is minimum on the outer periphery of the suction face. Furthermore, surface roughness of the suction face is higher in the outer periphery of the suction face than in the central region thereof.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种在确保吸引力的同时具有优异的吸引/释放响应的静电卡盘。解决方案：静电卡盘具有由导电材料制成的电极并埋入平面石英玻璃中，并且通过使用一个主面作为吸力面来吸引要吸引的物体。吸力面的中心部分的电极和吸力面之间的距离最大，吸附面的中心与外周连续变化，吸附面的外周面最小。此外，吸附面的外表面的表面粗糙度比在其中心区域高。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2012138440A Electrostatic chuck and method of manufacturing the same 审中-公开
标题翻译：静电切割机及其制造方法
公开(公告)号：JP2012138440A
公开(公告)日：2012-07-19
申请号：JP2010289108
申请日：2010-12-27
申请人： Covalent Materials Corp , コバレントマテリアル株式会社
发明人： MURAYAMA HARUO , MURAMATSU SHIGEKO
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic chuck which can be used under certain circumstances and can be easily attached to or detached from a basis for fixing by improving the attraction method.SOLUTION: In the electrostatic chuck where an attraction electrode composed of a conductive material is embedded in a planar insulating material, the attraction electrode is formed independently on the surface side and the rear surface side of the planar insulating material. Preferably, the attraction electrode on the surface side has a bipolar structure, and the attraction electrode on the rear surface side has a monopolar structure. More preferably, the attraction electrode on the rear surface side is placed within a range occupying 5-40% of the total area of the main surface on the rear surface side of the electrostatic chuck, from the center of the rear surface toward the outer periphery thereof, in the direction of main surface on the rear surface side of the electrostatic chuck.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种静电卡盘，其可以在某些情况下使用并且可以通过改进吸引方法容易地附着或从固定的基础上拆下。解决方案：在由导电材料构成的吸引电极嵌入平面绝缘材料的静电卡盘中，吸引电极独立地形成在平面绝缘材料的表面侧和背面侧。优选地，表面侧的吸引电极具有双极结构，背面侧的吸引电极具有单极结构。更优选地，背面侧的吸引电极位于从静电卡盘的背面侧的主面的总面积的5-40％的范围内，从后表面的中心向外周在静电卡盘的背面侧的主表面方向上。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2012039011A Electrostatic chuck and manufacturing method of the same 有权
标题翻译：静电切割机及其制造方法
公开(公告)号：JP2012039011A
公开(公告)日：2012-02-23
申请号：JP2010179685
申请日：2010-08-10
申请人： Covalent Materials Corp , コバレントマテリアル株式会社
发明人： MURAYAMA HARUO , MURAMATSU SHIGEKO , KOBAYASHI HIROAKI
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for forming a feeding terminal of an electrostatic chuck which has no crack generation in an electrode and a dielectric layer near the feeding terminal.SOLUTION: An electrostatic chuck has an electrode made of a metal layer embedded in a plate-like insulation material one surface of which is an absorption face and the reverse surface of which has a terminal hole for inserting a terminal reaching the electrode. A feeding terminal A contacting the electrode and a feeding terminal B positioned a space away from the feeding terminal A are positioned in the terminal hole. The outer peripheral surfaces of the feeding terminals A and B are surrounded by conductive paste uniformly to fill the gap between the terminals and the terminal hole, and the surface area of the feeding terminal B on the side which does not face the feeding terminal A is larger than the area of the feeding terminal A on the side which faces the feeding terminal B.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种在馈电端子附近的电极和电介质层中形成不产生裂纹的静电卡盘的馈电端子的方法。解决方案：静电卡盘具有由金属层制成的电极，该金属层嵌入板状绝缘材料中，其一个表面是吸收面，并且其反面具有用于插入到达电极的端子的端子孔。接触电极的馈电端子A和位于远离馈电端子A的空间的馈电端子B定位在端子孔中。供电端子A和B的外周面均匀地被导电糊包围，以填充端子和端子孔之间的间隙，并且馈电端子B在不与馈电端子A相对的一侧上的表面积是大于馈送端子B侧的馈电端子A的面积。（C）2012年，JPO和INPIT

8. 发明专利

JP2011014641A Electrostatic chuck 有权
标题翻译：静电卡
公开(公告)号：JP2011014641A
公开(公告)日：2011-01-20
申请号：JP2009155898
申请日：2009-06-30
申请人： Covalent Materials Corp , コバレントマテリアル株式会社
发明人： MURAYAMA HARUO , MURAMATSU SHIGEKO , KOBAYASHI HIROAKI , ONO KEITA , KONDO NORIO
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic chuck constituted by a simple structure and exhibiting a high chucking force.SOLUTION: An electrostatic chuck Z includes: a base material 1 comprising silica glass; a dielectric layer 3 comprising silica glass formed on one main surface of the base material 1; and an electrode part 2 embedded between the dielectric layer 3 and the base material 1 and including strip electrodes 2a arranged in a predetermined electrode pattern. A thickness dimension (a) of each electrode 2a is formed to be 0.2 μm or more and 1.0 μm or less, and a thickness dimension d of the dielectric layer 3 is formed to be 40 μm or more and 100 μm or less. A width dimension b of each electrode 2a is formed to be 100 μm or more and 330 μm or less when the thickness dimension d of the dielectric layer 3 is 40 μm or more and 75 μm or less, and is formed to be 200 μm or more and 430 μm or less when the thickness dimension d of the dielectric layer 3 is 75 μm or more and 100 μm or less. A gap c between the electrodes 2a adjacent to each other is formed to be 80 μm or more and 300 μm or less.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种由简单的结构构成并具有高的夹持力的静电卡盘。解决方案：静电吸盘Z包括：基材1，包括石英玻璃; 包括形成在基材1的一个主表面上的二氧化硅玻璃的介电层3; 以及埋设在电介质层3和基材1之间的电极部分2，并且包括以预定的电极图案排列的带状电极2a。每个电极2a的厚度尺寸（a）形成为0.2μm以上且1.0μm以下，并且电介质层3的厚度尺寸d形成为40μm以上且100μm以下。当电介质层3的厚度尺寸d为40μm以上且75μm以下时，各电极2a的宽度尺寸b形成为100μm以上且330μm以下，形成为200μm以上当电介质层3的厚度尺寸d为75μm以上且100μm以下时，为430μm以下。彼此相邻的电极2a之间的间隙c形成为80μm以上且300μm以下。

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