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1. 发明专利

JP6207997B2 パターン形成装置およびパターン形成方法有权
公开(公告)号：JP6207997B2
公开(公告)日：2017-10-04
申请号：JP2013262351
申请日：2013-12-19
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：川越理史 , 増市幹雄 , 上野博之 , 正司和大 , 芝藤弥生 , 上野美佳
IPC分类号： B41F17/14 , H01L21/027 , H05K3/12 , B41F3/20
CPC分类号： B29C59/02 , B41F17/14 , B29C59/026

2. 发明专利

JP6055705B2 転写装置および転写方法有权
公开(公告)号：JP6055705B2
公开(公告)日：2016-12-27
申请号：JP2013067899
申请日：2013-03-28
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：芝藤弥生 , 川越理史 , 増市幹雄 , 上野博之 , 正司和大 , 上野美佳
IPC分类号： B41F1/16 , B44C1/17 , B41F17/14
CPC分类号： B32B37/0053 , B32B37/025 , B41F16/0053 , B41F16/006 , B41F16/008 , B32B38/1858 , Y10T156/1705

3. 发明专利

JP2016039278A 転写装置审中-公开
标题翻译：传输设备
公开(公告)号：JP2016039278A
公开(公告)日：2016-03-22
申请号：JP2014162159
申请日：2014-08-08
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：芝藤弥生
IPC分类号： H01L21/677 , H05K3/20
摘要：【課題】2枚の板状体を当接させる転写装置において、下側に位置する板状体の装置への搬入出の作業性を損なうことなく、板状体の位置ずれの原因となる撓みを抑制する。【解決手段】第1板状体の下面に局所的に当接して第1板状体を水平姿勢に支持する複数の下側支持手段33,34と、第2板状体を上方から保持して、第2板状体を第1板状体と対向させる上側保持手段21とを備え、下側支持手段の各々は、上端が第1板状体の下面に局所的に当接して第1板状体を支持する第1支持部331,341と、上端が第1支持部の上端と同一の高さに位置決めされて第1板状体の下面のうち第1支持部331,341が当接していない領域に当接する当接位置および上端が第2板状体下面から離間した離間位置の間を移動可能に構成された第2支持部332,342とを有する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：为了抑制导致管状体的位置偏移的偏转，而不损害位于下侧的管状体的可操作性，所述管状体用于使两个管状体彼此接触的转移装置。解决方案：传送装置包括多个下侧支撑装置33,34，用于通过局部地抵靠第一管状体的下表面来支撑处于水平位置的第一管状体，以及用于将第二管状体从第一管状体并且面向第二管状体到第一管状体。每个下侧支撑装置具有第一支撑部分331,341，用于通过将上端局部抵靠第一管状体的下表面邻接第一管状体，以及第二支撑部分332,342，其可移动地设置在邻接位置之间，端部定位在与第一支撑部分的上端相同的高度处，并且抵靠第一支撑部分331,341没有抵靠的第一管状体的下表面的区域，以及分隔位置，其中上部端部与第二管状体的下表面分离。选择的图示：图1

4. 发明专利

JP6208000B2 パターン形成装置およびパターン形成方法有权
公开(公告)号：JP6208000B2
公开(公告)日：2017-10-04
申请号：JP2013265205
申请日：2013-12-24
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：正司和大 , 川越理史 , 上野博之 , 芝藤弥生 , 増市幹雄 , 上野美佳
IPC分类号： B41F17/14 , H01L21/027 , H05K3/12 , B41F3/20

5. 发明专利

JP6178090B2 パターン形成方法およびパターン形成装置有权
公开(公告)号：JP6178090B2
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：JP2013066310
申请日：2013-03-27
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：上野博之 , 川越理史 , 増市幹雄 , 正司和大 , 芝藤弥生 , 上野美佳 , 谷口和隆
IPC分类号： H01L21/68 , B41F1/16 , B41F1/00 , B41F1/56 , B41F17/14 , B41F17/36 , B41M1/02 , B41F33/00

6. 发明专利

JP2016010922A 剥離装置、剥離方法およびパターン形成装置审中-公开
标题翻译：剥离装置，剥离方法和图案形成装置
公开(公告)号：JP2016010922A
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：JP2014134015
申请日：2014-06-30
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：上野博之 , 増市幹雄 , 正司和大 , 柳田隆明 , 芝藤弥生 , 川越理史 , 上野美佳
IPC分类号： B41F1/16 , B41F1/32 , B41F17/14
摘要：【課題】被処理層を介して互いに密着する第1板状体と第2板状体とを良好に剥離する技術を提供する。【解決手段】第1板状体を保持する保持手段と、第2板状体のうち第1板状体と密着する第1主面とは反対側の第2主面を保持する第1保持部を有し、第1保持部を保持手段から離間させることで第1保持部により保持される第2板状体の被保持部位を第1板状体から剥離させて第2板状体の剥離を剥離進行方向に進行させる第1剥離手段と、を備え、第1保持部は第2板状体の剥離の進行に応じて剥離進行方向に変位する。【選択図】図7
摘要翻译：要解决的问题：提供一种通过处理层彼此紧密接合的第一板状体和第二板状体优选彼此剥离的技术。解决方案：剥离装置包括：保持装置保持第一板状体; 以及第一剥离装置，其具有第一保持部，该第一保持部保持与第一板状主体接合的第一主面相对的第二主面，并且剥离第二板状体的保持部位其通过将第一保持部分与保持装置分离而从第一板状体第一保持部分保持，从而在剥离进给方向上进行第二板状体的剥离，其中第一保持部是根据第二板状体的剥离的进行，沿剥离进给方向移位。

7. 发明专利

JP6450238B2 剥離装置有权
公开(公告)号：JP6450238B2
公开(公告)日：2019-01-09
申请号：JP2015071020
申请日：2015-03-31
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：上野美佳 , 芝藤弥生 , 柳田隆明 , 正司和大
IPC分类号： H01L21/683 , H05K3/20 , B65H41/00

8. 发明专利

JP6131077B2 転写剥離装置、転写剥離方法およびパターン形成システム有权
公开(公告)号：JP6131077B2
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：JP2013063859
申请日：2013-03-26
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：川越理史 , 増市幹雄 , 上野博之 , 正司和大 , 芝藤弥生 , 上野美佳
IPC分类号： B41F1/16 , B41F1/32 , B41M1/34 , B41M1/02 , B41F17/14

9. 发明专利

JP2016190698A 剥離装置审中-公开
标题翻译：污染设备
公开(公告)号：JP2016190698A
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：JP2015071020
申请日：2015-03-31
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：上野美佳 , 芝藤弥生 , 柳田隆明 , 正司和大
IPC分类号： B65H41/00
摘要：【課題】互いに貼り合わされた2枚の板状体を剥離させる剥離装置において、大型の板状体についても剥離を良好に実行することのできる技術を提供する。【解決手段】保持手段30の保持面310に開口部314が設けられ、開口部314に対し第1板状体を支持する支持部材が配設される。剥離の進行を規制するローラ部材401は、軸方向に離隔して複数設けられている。ローラ部材401の各々が形成する当接ニップが軸方向において互いに離隔し、当接ニップの剥離方向における後端部の位置が剥離方向において等しく、保持面310の開口部314は、軸方向において隣り合う2つの当接ニップ間のギャップ部に対応する位置に設けられる。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于剥离两个相互卡住的板状体的剥离装置的技术，即使在大的板状体的情况下也能够很好地剥离。解决方案：开口部314布置在保持表面 310，以及用于相对于开口部314支撑第一板状体的支撑部件。用于调节剥离进行的多个辊构件401沿轴向分开设置。由相应的辊构件401形成的基台夹在轴向上相互分离。接合爪的后端部的剥离方向的位置在剥离方向上相同。保持表面310的开口部分314被布置在与轴向相邻的两个邻接胶条之间的间隙部分相对应的位置。选择的图示：图2

10. 发明专利

JP2016132227A 転写装置および転写方法审中-公开
标题翻译：传输设备和传输方法
公开(公告)号：JP2016132227A
公开(公告)日：2016-07-25
申请号：JP2015010018
申请日：2015-01-22
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：正司和大 , 芝藤弥生
IPC分类号： B41F1/00 , B41F1/16 , B41F17/14
摘要：【課題】2枚の板状体を当接させる転写装置および転写方法において、板状体の撓みに起因する位置ずれを抑えて、2つの板状体を位置精度よく当接させる。【解決手段】第1板状体SBと第2板状体BLとを当接させる。第2板状体BLの下面に対し離当接可能に構成された支持部材441の上端を、第2板状体BLの下面のうちローラ部材431が最初に当接する部分よりも第2板状体BLの中心側の部分に当接させて、第2板状体BLを下方から支持する。支持部材441が第2板状体BLを支持した状態でローラ部材431が第2板状体BLに当接して第2板状体BLを第1板状体SBに押し付け、ローラ部材431が、第2板状体BLを第1板状体SBに押し付けながら第2板状体BLの下面に沿って移動する。【選択図】図8
摘要翻译：要解决的问题：为了使两个板状体以优选的位置精度彼此接触，同时抑制由于转印装置中的板状物体的偏转引起的位置偏差，以及用于使两片板状体的转印方法，使第一板状体SB和第二板状体BL彼此接触。构成为使得第二板状体BL的下表面分离接触的支撑部件441的上端与第二板状体BL的中心侧的一部分接触，而不是与第二板状体BL的下表面中的辊构件431首先接触并且从下侧支撑第二板状体BL的部分。当支撑件441支撑第二板状体BL时，辊构件431与第二板状体BL接触并将第二板状体BL推抵第一板状体SB和辊构件431 沿着第二板状体BL的下表面移动，同时将第二板状体BL推到第一板状体SB上。图8

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