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1. 发明专利

JP5455694B2 A charged particle beam apparatus 有权
公开(公告)号：JP5455694B2
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：JP2010026057
申请日：2010-02-09
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：吉延星野 , 茂川俣 , 英作於保
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/223 , H01J2237/24495 , H01J2237/2809

2. 发明专利

JP4292066B2 Electron scanning microscope 有权
公开(公告)号：JP4292066B2
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：JP2003407914
申请日：2003-12-05
申请人：株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：茂川俣 , 吉延星野
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/22 , H01J37/28

3. 发明专利

JPWO2015050157A1 荷電粒子線装置及びその補正フィルタ設定方法有权
公开(公告)号：JPWO2015050157A1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：JP2015540519
申请日：2014-10-01
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：真佐志渡辺 , 真佐志渡辺 , 千葉　寛幸 , 寛幸千葉 , 吉延星野 , 吉延星野 , 川俣　茂 , 茂川俣
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/22 , H01J2237/24495
摘要：荷電粒子線で試料の同じ領域を、検出部の帯域幅の範囲内の第1の速度と前記帯域幅の上限を超える第2の速度で走査し、第1の速度で走査して得た第1の検出信号を周波数解析して得た第1の振幅スペクトルを異なる撮像条件について取得した第1の振幅スペクトルに重畳し、重畳後の第1の振幅スペクトルと第2の検出信号に対応する第2の振幅スペクトルとを用いて検出部の周波数特性を表す劣化関数を算出し、重畳後の振幅スペクトルが前記振幅条件を満たさない間、撮像条件を変更して第1の処理部の処理に戻る一方、重畳後の振幅スペクトルが振幅条件を満たす場合、既に算出された前記劣化関数の逆関数に基づいて荷電粒子線装置の検出部の補正フィルタを算出して設定する。

4. 发明专利

JP4376754B2 Charged particle beam apparatus and a sample image observation method 有权
公开(公告)号：JP4376754B2
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：JP2004323704
申请日：2004-11-08
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：茂川俣 , 敬員野口
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/28

5. 发明专利

JPWO2010084860A1 電子顕微鏡有权
公开(公告)号：JPWO2010084860A1
公开(公告)日：2012-07-19
申请号：JP2010547487
申请日：2010-01-19
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：吉延星野 , 吉延星野 , 川俣　茂 , 茂川俣
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/18 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/244
摘要：本発明の電子顕微鏡は、反射電子検出素子(9)を有する反射電子検出器と、バイアス電極(11)と試料台(12)とを有する低真空二次電子検出器と、前記各検出器の検出信号を切り替える信号切替器(14)を備える。観察条件メモリ(20)には、前記各検出器ごとに最適な観察条件が記憶されている。CPU(19)は、前記各検出器の切替に応じて観察条件メモリ(20)に記憶された観察条件を呼び出し、呼び出した観察条件となるように、電子顕微鏡の状態を設定する。画像処理装置(22)は、前記各検出器の切替に応じて得られた複数の検出信号をそれぞれ二次元画像信号に変換し、それぞれの二次元画像信号の画質を評価する。画質優先モードでは、CPU(19)は、画像処理装置(22)の評価結果に基づいて、評価値が高い検出器に切替えて画像表示する。これにより、複数の検出器を持つ電子顕微鏡において、検出器の選択と検出器ごとの最適な観察条件の設定が容易な電子顕微鏡を提供することができるようになった。

6. 发明专利

JP4801451B2 Control apparatus and method for controlling the electron gun to be used in the scanning electron microscope, etc. 有权
公开(公告)号：JP4801451B2
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：JP2006011127
申请日：2006-01-19
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：浩之小室 , 茂川俣
IPC分类号： H01J37/248 , H01J37/04

7. 发明专利

JP5372020B2 electronic microscope 有权
公开(公告)号：JP5372020B2
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：JP2010547487
申请日：2010-01-19
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：吉延星野 , 茂川俣
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/18 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/244
摘要： An electron microscope according to the present invention includes: a backscattered electron detector provided with a backscattered electron detecting element (9); a low-vacuum secondary electron detector provided with a bias electrode (11) and a specimen stage (12); and a signal switch (14) that switches signals detected by the detectors. Optimal observation conditions are stored in an observation condition memory (20) for each of the detectors. A CPU (19) calls observation conditions stored in the observation condition memory (20) on the basis of the switching of the detectors, and sets conditions of the electron microscope to the called observation conditions. An image processing device (22) converts a plurality of the detected signals obtained on the basis of the switching of the detectors into two-dimensional image signals and evaluates the qualities of images of the two-dimensional image signals. In an image quality prioritized mode, the CPU (19) selects a detector causing an evaluated value to be highest on the basis of the results of the evaluation performed by the image processing device (22) and causes an image to be displayed. In the electron microscope that includes the plurality of detectors, a detector can easily be selected, and the optimal observation conditions for the detectors can easily be set.

8. 发明专利

JP5350123B2 How charged particle beam apparatus and image display 有权
公开(公告)号：JP5350123B2
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：JP2009185396
申请日：2009-08-10
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：達也平戸 , 浩之小室 , 茂川俣
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/22
CPC分类号： H01J37/28 , A61B6/022 , G02B27/2207 , G02B27/2214 , H01J37/1478 , H01J37/153 , H01J2237/2611
摘要： According to the present invention, in a charged particle beam device having a charged particle source, an objective lens for focusing a primary-charged particle beam emitted from the charged particle source, a scan deflector for scanning the primary-charged particle beam on a sample, and a detector for detecting signal particles generated from the sample under scanning of the primary-charged particle beam, whereby a sample image is obtained by using the signal particles of the detector, the charged particle beam device comprises a deflector for deflecting an angle of irradiation of the primary-charged particle beam onto the sample, first and second independent power supplies for passing currents to the deflector, and a switch for switching over voltages applied from the two power supplies in unit of one line or one frame of scanning of the primary-charged particle beam.

9. 发明专利

JP5400756B2 A charged particle beam apparatus and the observation image generating method 有权
公开(公告)号：JP5400756B2
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：JP2010292980
申请日：2010-12-28
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：洋憲板橋 , 吉延星野 , 茂川俣
IPC分类号： H01J37/22 , G06T5/00 , H01J37/28

10. 发明专利

JP5335827B2 Correction method of the charged particle beam apparatus and the detection signal 有权
公开(公告)号：JP5335827B2
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：JP2011000210
申请日：2011-01-04
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：誠人神尾 , 真佐志渡辺 , 吉延星野 , 茂川俣
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/28
CPC分类号： H04N5/217 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/24495 , H01J2237/24592
摘要： A charged particle beam device of the present invention has a signal processing function of acquiring a secondary signal obtained when a charged particle beam is caused to scan at a low speed not subjected to a band limitation of an electrical signal path, and a secondary signal obtained when a charged particle beam is caused to scan at a high speed subjected to the band limitation of the electrical signal path, calculating a degradation function (H-1(s)) between the plurality of secondary signals, and using an inverse function thereof as a correction filter; and a function of updating a parameter of the correction filter to an optimal value as needed or at given timing. Accordingly, the charged particle beam device can perform optimum image restoration even when a detector or an amplifier circuit that constitutes the electrical signal path degrades with time.

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