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1. 发明专利

JP5758861B2 熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置有权
公开(公告)号：JP5758861B2
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：JP2012216338
申请日：2012-09-28
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：徳冨照明 , 齋藤尚也 , 北野佳昇 , 張開鋒 , 渡辺正浩 , 廣瀬丈師
IPC分类号： G01Q60/02 , G01Q60/18 , G01Q60/54 , G01Q80/00 , G11B5/455
CPC分类号： G11B20/1816 , B82Y35/00 , G01Q60/08 , G11B5/455 , G11B2005/0021

3. 发明专利

JP2017036977A 物体内部検査装置审中-公开
标题翻译：里面的物体检测系统
公开(公告)号：JP2017036977A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：JP2015157729
申请日：2015-08-07
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：大録範行 , 芹川滋 , 望月秀樹 , 渡辺正浩 , 中尾敏之 , 光田浩樹
IPC分类号： G01N25/00 , G01N25/72
摘要：【課題】検査対象物が比較的小さくても得られた画像のぼけを補正し、物体内部の詳細な形状を得られる物体内部検査装置を提供する。【解決手段】電極102,102の溶接部103を外部から検査するサーモグラフィー接合検査装置は、赤外線カメラ112から得られた溶接部103付近の温度分布画像に加熱の周波数を元にロックイン処理を行い強度像と位相像を取得し、予め計算された前記被検査物内部の温度分布データ141と位相分布データ142を与え、前記強度像及び前記位相像に対して前記温度分布データ及び前記位相分布データに基づいた逆畳みこみ演算を施すことによって、接合部103の詳細形状を観察できる画像を取得する。【選択図】図1
摘要翻译：校正模糊测试对象的比较小，但得到的图像，对对象内部的检查装置获得的详细形状内的对象提供。用于检查焊接的电极102，102从外部的103甲热敏粘合检查装置，强度图像进行基于锁定在从红外线摄像头112获得的焊缝103附近处理所述加热的频率的温度分布图像并且获取相位图像，使温度分布数据141和其先前计算的检查对象内部的相位分布数据142，温度分布的数据的基础和所述相位分布数据到强度图像以及相位图像上通过施加操作凹痕反向倍是为了获得可观察到的关节部103的详细形状的图像。 1点域

4. 发明专利

JP2015132545A 接合性検査方法及び装置审中-公开
标题翻译：结合性能检测方法和结合性能检测装置
公开(公告)号：JP2015132545A
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：JP2014004216
申请日：2014-01-14
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：光田浩樹 , 吉武康裕 , 渡辺正浩 , 中尾敏之
IPC分类号： G01N25/72
摘要：【課題】複数の材料間の接合の状態を、接合部材の膜厚ムラ、表面粗さの影響を受けることなく高精度に検査を行うことを可能にし、かつ高速検査を可能にする接合性検査方法及び装置を提供する。【解決手段】複数の部材を接合して形成した試料104の複数の部材の接合部の接合性を検査する方法及びその装置において、試料104の表面に細く線状に成形したパルス状のレーザ光111を所定の時間照射して試料104を加熱し、細く成形したレーザ光111を照射して加熱した試料を赤外線カメラ105で加熱する所定の時間よりも長い時間撮像して試料表面の複数の熱画像を得、この得られた複数の熱画像から試料表面の熱分布の時間変化を検出し、この検出した試料表面の熱分布の時間変化から接合部の接合性を判定する。【選択図】図1A
摘要翻译：要解决的问题：为了提供能够高精度地检查多种材料之间的接合状态而不受粘合目标构件的膜厚度不均匀性和表面粗糙度的影响的接合性能检查方法和接合性能检查装置，并且实现高速检查。解决方案：提供一种检查通过将部件结合在一起形成的样品104的多个部件的接合部分的接合性能的方法及其装置。该方法包括：用形成为细线状的脉冲激光束111照射样品104的表面预定时间以加热样品104; 对被激光束111照射的样品104进行成像，该激光束111被形成薄并被加热，比使用红外相机105的加热预定时间更长的时间以获得样品104的表面的多个热图像; 从所获得的热图像中检测样品104的表面的热分布的时间变化; 以及根据检测到的样品104的表面的热分布的时间变化来确定接合部分的接合性能。

5. 发明专利

JP5745460B2 熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置有权
标题翻译：为热辅助磁头元件检查的方法和装置
公开(公告)号：JP5745460B2
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：JP2012116362
申请日：2012-05-22
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：張開鋒 , 廣瀬丈師 , 渡辺正浩 , 本間真司 , 徳冨照明 , 中込恒夫 , 中田俊彦 , 立▲崎▼ 武弘
IPC分类号： G11B5/31 , G11B5/02 , G01Q80/00 , G01Q60/54 , G01Q60/22 , G11B5/455
CPC分类号： G11B5/455 , G11B2005/0021

6. 发明专利

JP5832374B2 走査プローブ顕微鏡のカンチレバー及びその製造方法、並びに熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置有权
标题翻译：悬臂和制造该扫描型探针显微镜的方法，检验方法和设备，用于热辅助磁头元件
公开(公告)号：JP5832374B2
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：JP2012116361
申请日：2012-05-22
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：張開鋒 , 廣瀬丈師 , 渡辺正浩 , 中込恒夫 , 本間真司 , 徳冨照明 , 中田俊彦 , 立▲崎▼ 武弘
IPC分类号： G11B5/455 , G01Q60/22 , G01Q60/54 , G01Q80/00 , G11B7/135 , G01Q70/08
CPC分类号： G01Q60/56 , B82Y20/00 , B82Y35/00 , G01Q60/06 , G01Q60/22 , G01Q60/50 , G11B5/314 , G11B5/3166 , G11B2005/0021 , G11B5/3173 , G11B5/3196

7. 发明专利

JP2015215292A 計測装置および計測方法审中-公开
标题翻译：测量装置和测量方法
公开(公告)号：JP2015215292A
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：JP2014099531
申请日：2014-05-13
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：中尾敏之 , 笠井啓晃 , 渡辺正浩 , 針山達雄 , 吉武康裕 , 下田勇一
IPC分类号： G02B26/12 , G02B26/10 , G01S17/08 , G01C3/06 , G01S7/481
摘要：【課題】レンズ界面などでの反射光や電気信号のクロストークによる計測結果の変動を補正することができる。【解決手段】光源44は、レーザ光を射出する。光検出器57は、光を検出し電気信号に変換する。走査部58は、被計測対象物21を走査するように、光源44から出力されるレーザ光を反射して射出し、被計測対象物21を走査したレーザ光の反射光を入射して、光検出器57に受光されるように反射する。非入射部材は、走査部58から射出される光源44のレーザ光の反射光が、所定期間、走査部58に入射されないように反射して、光検出器57に受光されないようにする。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：校正由于透镜边界等处的反射光引起的测量结果的波动或电信号的串扰。解决方案：光源44发射激光束。光电检测器57检测光并将其转换成电信号。扫描单元58将从光源44输出的激光束反射并发射，以扫描要测量的对象21，并且接收已扫描被测量物体21的激光束的反射光并将其反射回反射光使得其被光电检测器57接收。非入射部件反射从扫描单元58发射的光源44的激光束的反射光，使得其不进入扫描单元58 并且防止反射光被光电检测器57接收。

8. 发明专利

JP2015175629A 距離測定装置及び距離測定システム审中-公开
标题翻译：距离测量装置和距离测量系统
公开(公告)号：JP2015175629A
公开(公告)日：2015-10-05
申请号：JP2014050057
申请日：2014-03-13
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：服部竜己 , 下田勇一 , 吉武康裕 , 渡辺正浩 , 中尾敏之
IPC分类号： G01S17/08 , G01C7/06 , G01B11/30 , G01S17/87
摘要：【課題】赤外光による距離測定データと、可視光による色情報との合わせ込みの情報処理を削減でき、色付き点群データを即時に得ることができる技術を提供する。【解決手段】距離測定装置100は、光源部1からの赤外光を含む光を対象物50の点に照射して反射を含む光を入射する光学系101における光軸において波長選択ミラー4Aで赤外光と可視光とを分離する。距離測定装置100は、分離された赤外光を光検出器11,12で検出して距離測定の信号とし、分離された可視光を色センサ13で検出して色情報の信号とする。距離測定装置100は、対象物50の複数の対象点を走査するための旋回部15と、同じ対象点に関する、距離測定の信号、色情報の信号、及び走査の状態を表す信号を、同期して取得する集約器32とを有し、当該信号を用いて対象点との距離を計算し、色付き点群データを得る。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种减少信息处理的技术，其中基于可见光的红外光和颜色信息的距离测量数据匹配，并且可以及时获得着色点组数据。解决方案：距离测量装置100通过在光学系统101的光轴上的波长选择镜4A将红外光和可见光分离，该光学系统101将包括来自光源1的红外光的光照射到物体50的点，以便进入光包括反思。距离测量装置100检测分离的红外光作为光检测器11,12的距离测量的信号，并且通过颜色传感器13检测分离的可见光作为颜色信息的信号。距离测量装置100包括：旋转部15，用于扫描物体50的多个物镜; 以及聚合器32，其同步并获得距离测量的信号，颜色信息的信号和表示相对于相同目标点的扫描状态的信号。距离测量装置使用信号来计算与目标点的距离，以获得彩色点组数据。

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