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1. 发明专利

JP6796970B2 マスク材走行ユニット有权
公开(公告)号：JP6796970B2
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：JP2016166236
申请日：2016-08-26
申请人：株式会社アルバック
发明人：中尾裕利 , 佐藤誠一 , 坂内雄也 , 高橋誠 , 清水豪
IPC分类号： C23C14/04 , C23C16/04 , C23C16/54 , C23C14/56

2. 发明专利

JPWO2019082868A1 基板処理装置、支持ピン审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019082868A1
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：JP2018039265
申请日：2018-10-23
申请人：株式会社アルバック
发明人：佐藤雄亮 , 清水豪 , 吉田大介 , 湯山明 , 高橋誠
IPC分类号： H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/50
摘要：本発明の基板処理装置は、基板を処理する装置であって、チャンバ内にて前記基板の表面を処理する処理室と、前記処理室に隣接し、前記基板を移動するとともに、前記基板を支持する後背室と、前記処理室と前記後背室との境界位置に配置されたマスクと、基板を処理する時に、前記基板と前記マスクとを密着させるように、前記基板を前記マスクに向けて押圧可能に支持し、前記基板と前記マスクとの変形に追従して前記基板の裏面に作用する押圧力を調整可能に設定する支持機構と、を有する。

3. 发明专利

JP6509696B2 真空処理装置有权
公开(公告)号：JP6509696B2
公开(公告)日：2019-05-08
申请号：JP2015185914
申请日：2015-09-18
申请人：株式会社アルバック
发明人：高橋誠 , 清水豪 , 中尾裕利 , 佐藤誠一 , 坂内雄也
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/04

4. 发明专利

JP6084440B2 基板処理装置のアライメント機構有权
标题翻译：该基板处理装置的对齐机构
公开(公告)号：JP6084440B2
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：JP2012252341
申请日：2012-11-16
申请人：株式会社アルバック
发明人：吉田大介 , 東條賢治 , 進藤孝明 , 佐藤重光 , 清水豪 , 高橋誠 , 江口洋
IPC分类号： H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/24

5. 发明专利

JP6722298B2 成膜装置、マスクフレーム、アライメント方法有权
公开(公告)号：JP6722298B2
公开(公告)日：2020-07-15
申请号：JP2018553171
申请日：2018-06-05
申请人：株式会社アルバック
发明人：高橋誠 , 清水豪 , 吉田大介 , 湯山明 , 佐藤雄亮
IPC分类号： H05B33/10 , H01L51/50 , C23C14/54

6. 发明专利

JP6799147B2 基板処理装置有权
公开(公告)号：JP6799147B2
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：JP2019516025
申请日：2018-10-23
申请人：株式会社アルバック
发明人：佐藤雄亮 , 清水豪 , 吉田大介 , 湯山明 , 高橋誠
IPC分类号： H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/50

7. 发明专利

JP2017057485A 真空処理装置有权
公开(公告)号：JP2017057485A
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：JP2015185914
申请日：2015-09-18
申请人：株式会社アルバック
发明人：高橋誠 , 清水豪 , 中尾裕利 , 佐藤誠一 , 坂内雄也
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/04
摘要：【課題】簡単に取り出し、取り付けができる構成を持つマスク材走行ユニットを有する真空処理装置の提供。【解決手段】シート状の基材Swが走行される方向をX軸方向、幅方向をY軸方向とし、マスク材走行ユニットMuが、シート状の基材の部分Sw1に対してその下側に位置するシート状のマスク材Smの部分Sm1を平行に走行させるガイド手段8a,8bと、所定の張力を加えつつシート状のマスク材をシート状の基材に同期させて走行させる駆動手段8c,8dと、ガイド手段と駆動手段とを支持する支持体Msとを有し、支持体は、枠材を組み付けた枠組み6を有し、Y軸方向一側に位置する枠組みの下枠部6bの部分に、X軸方向に間隔を置いて複数本の支柱65が下方に向けて突設され、各支柱を介して、シート状の基材の部分とその下側のシート状のマスク材の部分とが平行になる起立姿勢で支持体が真空チャンバ1a内に設置されるように構成した真空処理装置。【選択図】図1

8. 发明专利

JP6742513B2 スパッタリング装置有权
公开(公告)号：JP6742513B2
公开(公告)日：2020-08-19
申请号：JP2019516003
申请日：2018-10-04
申请人：株式会社アルバック
发明人：吉田大介 , 清水豪 , 高橋誠 , 湯山明 , 佐藤雄亮
IPC分类号： C23C14/04 , H01L21/677 , H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/34

9. 发明专利

JPWO2019070031A1 スパッタリング装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019070031A1
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：JP2018037229
申请日：2018-10-04
申请人：株式会社アルバック
发明人：吉田大介 , 清水豪 , 高橋誠 , 湯山明 , 佐藤雄亮
IPC分类号： C23C14/04 , H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/34
摘要：本発明のスパッタリング装置(1)は、チャンバ内でスパッタリングにより成膜する基板(S)に対し、略垂直保持されたマスクフレーム(F)を交換可能とするマスク交換手段(100)を有する。マスク交換手段は、複数のマスクフレームを面平行状態に複数ストック可能とする密閉可能なストック室(50)と、複数ストックされたマスクフレームをチャンバ(4)内の成膜位置となるマスク室(43)まで搬送する搬送手段(60)と、を有する。ストック室には、マスクフレームのマスク面と略直交方向に前後移動可能とするストック支持部(51、52、53、54)と、ストック支持部にストックされたマスクフレームから選択して面方向に駆動可能とする駆動支持部(55、65)と、駆動支持部によりマスクフレームが移動される際にマスクフレーム上端を傾かないように支持可能とする搬送上支持部(56、66)と、が設けられる。

10. 发明专利

JP2018031066A マスク材走行ユニット审中-公开
公开(公告)号：JP2018031066A
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：JP2016166236
申请日：2016-08-26
申请人：株式会社アルバック
发明人：中尾裕利 , 佐藤誠一 , 坂内雄也 , 高橋誠 , 清水豪
IPC分类号： C23C14/04 , C23C16/04 , C23C16/54 , C23C14/56
摘要：【課題】シート状マスク材の蛇行を補正できる機構を備えるマスク材走行ユニットの提供。【解決手段】シート状基材のSw走行方向をX軸方向、シート状基材の幅方向をY軸方向、シート状基材とシート状マスク材Smとの対面方向をZ軸方向、シート状基材からシート状マスク材に向かう方向をZ軸方向下方とし、シート状基材の部分のZ軸方向下方に配置され、所定位置を回転中心として下枠部に対して駆動手段を取り付けた相対回転自在な首振り手段7を有する支持体Msを備え、支持体の上部にX軸方向に間隔を存して設けられてシート状基材に対してその下側に位置するシート状マスク材の部分を平行に走行させるX軸方向前後一対のガイド手段8a,8bと、支持体の下部に設けられてX軸方向に間隔を存して設けられ所定の張力を加えつつシート状マスク材をシート状基材に同期させ走行させるX軸方向前後一対の駆動手段8c,8dを備えるマスク材走行ユニットMu。【選択図】図1

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