专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP6799147B2 基板処理装置有权
公开(公告)号：JP6799147B2
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：JP2019516025
申请日：2018-10-23
申请人：株式会社アルバック
发明人：佐藤雄亮 , 清水豪 , 吉田大介 , 湯山明 , 高橋誠
IPC分类号： H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/50

2. 发明专利

JP6703532B2 ゲートバルブ有权
公开(公告)号：JP6703532B2
公开(公告)日：2020-06-03
申请号：JP2017525275
申请日：2016-06-15
申请人：コニカミノルタ株式会社 , 株式会社アルバック
发明人：高橋伸明 , 赤木清 , 清水豪 , 佐藤善勝
IPC分类号： C23C14/56 , C23C16/54 , F16K51/02

3. 发明专利

JP2017057485A 真空処理装置有权
公开(公告)号：JP2017057485A
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：JP2015185914
申请日：2015-09-18
申请人：株式会社アルバック
发明人：高橋誠 , 清水豪 , 中尾裕利 , 佐藤誠一 , 坂内雄也
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/04
摘要：【課題】簡単に取り出し、取り付けができる構成を持つマスク材走行ユニットを有する真空処理装置の提供。【解決手段】シート状の基材Swが走行される方向をX軸方向、幅方向をY軸方向とし、マスク材走行ユニットMuが、シート状の基材の部分Sw1に対してその下側に位置するシート状のマスク材Smの部分Sm1を平行に走行させるガイド手段8a,8bと、所定の張力を加えつつシート状のマスク材をシート状の基材に同期させて走行させる駆動手段8c,8dと、ガイド手段と駆動手段とを支持する支持体Msとを有し、支持体は、枠材を組み付けた枠組み6を有し、Y軸方向一側に位置する枠組みの下枠部6bの部分に、X軸方向に間隔を置いて複数本の支柱65が下方に向けて突設され、各支柱を介して、シート状の基材の部分とその下側のシート状のマスク材の部分とが平行になる起立姿勢で支持体が真空チャンバ1a内に設置されるように構成した真空処理装置。【選択図】図1

4. 发明专利

JP6742513B2 スパッタリング装置有权
公开(公告)号：JP6742513B2
公开(公告)日：2020-08-19
申请号：JP2019516003
申请日：2018-10-04
申请人：株式会社アルバック
发明人：吉田大介 , 清水豪 , 高橋誠 , 湯山明 , 佐藤雄亮
IPC分类号： C23C14/04 , H01L21/677 , H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/34

5. 发明专利

JPWO2019070031A1 スパッタリング装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019070031A1
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：JP2018037229
申请日：2018-10-04
申请人：株式会社アルバック
发明人：吉田大介 , 清水豪 , 高橋誠 , 湯山明 , 佐藤雄亮
IPC分类号： C23C14/04 , H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/34
摘要：本発明のスパッタリング装置(1)は、チャンバ内でスパッタリングにより成膜する基板(S)に対し、略垂直保持されたマスクフレーム(F)を交換可能とするマスク交換手段(100)を有する。マスク交換手段は、複数のマスクフレームを面平行状態に複数ストック可能とする密閉可能なストック室(50)と、複数ストックされたマスクフレームをチャンバ(4)内の成膜位置となるマスク室(43)まで搬送する搬送手段(60)と、を有する。ストック室には、マスクフレームのマスク面と略直交方向に前後移動可能とするストック支持部(51、52、53、54)と、ストック支持部にストックされたマスクフレームから選択して面方向に駆動可能とする駆動支持部(55、65)と、駆動支持部によりマスクフレームが移動される際にマスクフレーム上端を傾かないように支持可能とする搬送上支持部(56、66)と、が設けられる。

6. 发明专利

JPWO2016204203A1 ゲートバルブ审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016204203A1
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：JP2017525275
申请日：2016-06-15
申请人：コニカミノルタ株式会社 , 株式会社アルバック
发明人：高橋伸明 , 赤木清 , 清水豪 , 佐藤善勝
IPC分类号： F16K51/02 , C23C14/56 , C23C16/54
CPC分类号： C23C14/56 , F16K1/34 , F16K51/02
摘要：開弁時に基材を弁体から好適に剥がすことが可能なゲートバルブを提供する。ゲートバルブ(30A)は、可撓性を有する帯状の基材(2)が搬送されるチャンバーにおける基材(2)の出入口に設けられ、出入口を開閉するバルブであって、基材(2)の一面側に設けられる弁座(31A)と、基材(2)の他面側に設けられる弁体(32A)と、を備え、弁体(32A)は、可撓性部材であり、弁体(32A)は、弁座(31A)に着座することによって、当該弁体(32A)と弁座(31A)とで基材(2)を挟み込んだ状態で閉弁し、弁体(32A)が弁座(31A)から離座して開弁する際に、弁体(32A)のうち着座状態で基材(2)の他面と当接する部位が、弁体(31A)の離座方向とは異なる方向にも移動する。

7. 发明专利

JP2018031066A マスク材走行ユニット审中-公开
公开(公告)号：JP2018031066A
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：JP2016166236
申请日：2016-08-26
申请人：株式会社アルバック
发明人：中尾裕利 , 佐藤誠一 , 坂内雄也 , 高橋誠 , 清水豪
IPC分类号： C23C14/04 , C23C16/04 , C23C16/54 , C23C14/56
摘要：【課題】シート状マスク材の蛇行を補正できる機構を備えるマスク材走行ユニットの提供。【解決手段】シート状基材のSw走行方向をX軸方向、シート状基材の幅方向をY軸方向、シート状基材とシート状マスク材Smとの対面方向をZ軸方向、シート状基材からシート状マスク材に向かう方向をZ軸方向下方とし、シート状基材の部分のZ軸方向下方に配置され、所定位置を回転中心として下枠部に対して駆動手段を取り付けた相対回転自在な首振り手段7を有する支持体Msを備え、支持体の上部にX軸方向に間隔を存して設けられてシート状基材に対してその下側に位置するシート状マスク材の部分を平行に走行させるX軸方向前後一対のガイド手段8a,8bと、支持体の下部に設けられてX軸方向に間隔を存して設けられ所定の張力を加えつつシート状マスク材をシート状基材に同期させ走行させるX軸方向前後一対の駆動手段8c,8dを備えるマスク材走行ユニットMu。【選択図】図1

8. 发明专利

JP6722298B2 成膜装置、マスクフレーム、アライメント方法有权
公开(公告)号：JP6722298B2
公开(公告)日：2020-07-15
申请号：JP2018553171
申请日：2018-06-05
申请人：株式会社アルバック
发明人：高橋誠 , 清水豪 , 吉田大介 , 湯山明 , 佐藤雄亮
IPC分类号： H05B33/10 , H01L51/50 , C23C14/54

9. 发明专利

JPWO2016204204A1 パターン成膜装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016204204A1
公开(公告)日：2018-03-29
申请号：JP2017525276
申请日：2016-06-15
申请人：コニカミノルタ株式会社 , 株式会社アルバック
发明人：高橋伸明 , 赤木清 , 清水豪 , 佐藤善勝
IPC分类号： C23C14/54 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/04 , C23C14/56
摘要：可撓性を有する帯状の基材を間欠搬送する際に、パターン加工位置において基材に設けられた基材マーカーを好適に検出することが可能なパターン成膜装置を提供する。パターン成膜装置(1)は、基材(2)に加工領域ごとに設けられた基材マーカーを撮影する第一の撮影部(15)と、パターン加工位置において基材マーカーを撮影する第二の撮影部(16a),(16b)と、を有する薄膜形成部(10X),(10Y)を備え、制御部は、第一の撮影部(15)の検出結果に基づいて、パターン加工位置までの搬送距離を算出し、搬送距離に基づいて駆動ローラ(12)を制御することによって、基材マーカーに対応する加工領域をパターン加工位置まで搬送し、第二の撮影部(16a),(16b)の検出結果に基づいて材料出射部(17)及びマスク(18)を制御することによって、加工領域に膜パターン加工を行う。

10. 发明专利

JP6796970B2 マスク材走行ユニット有权
公开(公告)号：JP6796970B2
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：JP2016166236
申请日：2016-08-26
申请人：株式会社アルバック
发明人：中尾裕利 , 佐藤誠一 , 坂内雄也 , 高橋誠 , 清水豪
IPC分类号： C23C14/04 , C23C16/04 , C23C16/54 , C23C14/56

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式