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    • 4. 发明专利
    • 電流印加装置及び半導体素子の製造方法
    • 电流应用器件及制造半导体元件的方法
    • JP2015132478A
    • 2015-07-23
    • JP2014002477
    • 2014-01-09
    • 本田技研工業株式会社
    • 赤堀 重人斉藤 仁山岸 弘幸平山 心祐長谷川 聡志山路 陽子佐藤 浩一郎齋藤 真知絵
    • H01L21/66G01R31/26
    • G01R1/07364G01R1/0466G01R31/2601
    • 【課題】半導体素子に検査電流を印加する際に、接触部の突起と表面電極との電気的接触性を向上することができる電流印加装置と、これを用いて適正に検査された半導体素子を製造する方法を提供する。 【解決手段】電流印加装置1は、半導体素子22の表面電極22aに接触させて検査電流を印加するための複数の突起21を有する接触部2と、各突起21が被膜22bを貫通して表面電極22aに接触するように接触部2を半導体素子22に押し当てる押当て部3とを備える。接触部2は、湾曲形状に形成された面4上に複数の突起21を備え、押当て部3による押圧により湾曲形状の面4が平面状に変形される。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种电流施加装置,其中当向半导体元件施加检查电流时,能够改善接触部分的突起与表面电极之间的电接触特性; 以及通过使用该半导体元件制造正确检查的半导体元件的方法。电流施加装置1包括:接触部2,其具有多个突起21,用于通过与表面电极22a接触来施加检查电流 的半导体元件22; 以及将接触部2压靠在半导体元件22上的按压部3,以使每个突起21通过涂层22b与表面电极22a接触。 接触部2在形成为弯曲形状的表面4上具有多个突起21, 并且弯曲表面4通过按压部分3的压制而变形为平面形状。