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    • 3. 发明专利
    • 基板ホルダ及びこれを用いた全面成膜基板の製造方法
    • 用于使用所述衬底保持器和其制造整个表面成膜基板的方法
    • JPWO2014098200A1
    • 2017-01-12
    • JP2014553214
    • 2013-12-19
    • 旭硝子株式会社
    • 英明 宮澤英明 宮澤赤尾 安彦安彦 赤尾健輔 藤井健輔 藤井悟 高木悟 高木藤原 晃男晃男 藤原
    • C23C14/50H01L21/683
    • C23C14/50C03C27/10
    • 全面成膜基板の生産性を良好にする基板ホルダ、及び該基板ホルダを用いたた全面成膜基板の製造方法の提供。第一の主面が全面成膜される基板を保持する基板ホルダであって、前記基板の主面よりも小面積の主面を有する板状部材であるユニット基体と、前記ユニット基体の第一の主面に固定され、前記基板の第二の主面に対して付着する剥離性表面を有する密着層と、から構成されるホルダユニットと、前記ユニット基体の主面よりも大面積のユニット固定面を有し、前記ユニット固定面と前記ユニット基体の第二の主面とが対面する向きで、複数個の前記ホルダユニットが前記ユニット固定面に固定された、キャリアと、を備える基板ホルダ、及びこれを用いた全面成膜基板の製造方法。
    • 衬底保持器,以改善整个成膜基板的生产率,并提供一种用于生产整个表面薄膜使用衬底保持器形成基板的方法。 衬底保持器中的第一主表面,以保持衬底,其被完全沉积,单元基板是具有比所述基板的所述主表面的面积小的主表面上的板状部件,第一单元基座 它被固定到主表面上,并具有释放表面的接触层粘附到所述衬底的所述第二主表面,并且所述单元构成的保持器单元比所述单元基座的主表面固定的大面积 具有表面,第二主表面和面对面单元固定表面和所述单元基板的取向,多个保持器单元的被固定到单元固定面,该衬底保持器包括载体,以及, 及其制造使用相同的整个沉积基底的方法。