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2. 发明专利

JP2016135504A パターニング方法、およびパターニング加工物品审中-公开
标题翻译：绘图方法和绘图工作
公开(公告)号：JP2016135504A
公开(公告)日：2016-07-28
申请号：JP2015011778
申请日：2015-01-23
申请人：日本電産サンキョー株式会社
发明人：青山良次 , 村松健次 , 森本哲也
IPC分类号： B32B7/02 , B32B15/08 , B23K26/50 , B23K26/18
摘要：【課題】透光性部材に形成した膜をレーザビームによってパターニングする場合でも、残った膜にピンホールが発生しにくいパターニング方法、およびパターニング加工物品を提供すること。【解決手段】透光性部材2の第1面21に形成した膜3をレーザビームL1によってパターニングしてパターニング加工物品1を形成する。その際、膜3を除去した位置からレーザビームL1が透光性部材2の第1面21から入射し、第2面22に向かう。第2面22には、弾性部材50が配置されており、透光性部材2の第2面22と弾性部材50の一方面51との間には空気層が介在しない。このため、弾性部材50は、第2面22でのレーザビームL1の反射を抑制する反射抑制体4(反射抑制層5)として機能する。従って、レーザビームL1が第2面22に到達した場合でも、レーザビームL1は、第2面22で反射しにくく、弾性部材50に入射する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种即使当通过激光束对形成在半透明部件中的膜图案化的图案形成工件时，也能够在残留的膜上难以产生针孔的图案化方法。解决方案：形成在半透明部件2的第一表面21由激光束L1构图以形成图案形成工件1.在这种情况下，从去除膜3的位置开始，激光束L1从半透明部件2的第一表面21进入朝向第二表面22移动。弹性构件50设置在第二表面22上，并且在透光构件2的第二表面22和弹性构件50的一个表面51之间没有空气层。因此，弹性构件构件50用作用于抑制第二表面22上的激光束L1的反射的反射抑制器4（反射抑制层5）。因此，即使当激光束L1到达第二表面22时，激光束L1是困难的 t被反射，并进入弹性构件50。选择图：图1

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