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    • 9. 发明专利
    • SiC半導体デバイス及びその製造方法
    • 硅碳化硅半导体器件及其制造方法
    • JP2015065315A
    • 2015-04-09
    • JP2013198551
    • 2013-09-25
    • 新日鐵住金株式会社
    • 小山田 哲哉田中 ▲将▼元宇野 智裕小池 淳一須藤 祐司
    • H01L21/28
    • 【課題】SiC基板に対する接触抵抗が低くて、密着性に優れ、尚且つ、高温環境や大電力条件において動作可能なSiC半導体デバイス、及びその製造方法を提供する。 【解決手段】SiC基板上にNbを成膜し、熱処理して得られたNb電極と、Cu、Ni、Pd、及びAuからなる群から選ばれたいずれか1種又は2種以上からなる金属電極とを備えたSiC半導体デバイスであって、前記Nb電極が、NbとSiを含んだ厚さ0.06μm以上0.5μm以下のNbシリサイド層、NbとCを含んだ厚さ0.06μm以上0.5μm以下のNbカーバイド層、及び厚さ0.01μm以上0.5μm以下のNb層を有するSiC半導体デバイスであり、また、所定の熱処理によって上記SiC半導体デバイスを製造するSiC半導体デバイスの製造方法である。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种与SiC基板接触电阻低的SiC半导体器件,附着性优异,甚至在高温环境或高功率条件下也可操作; 以及制造这种SiC半导体器件的方法。解决方案:一种SiC半导体器件包括:SiC衬底; 通过在SiC衬底上形成Nb膜并对其进行热处理而制造的Nb电极; 以及由选自Cu,Ni,Pd和Au的任何一种或多种金属制成的金属电极。 在SiC半导体器件中,Nb电极具有含Nb和Si的Nb硅化物层,其厚度为0.06-0.5μm; 包含Nb和C并且具有0.06-0.5μm厚度的Nb碳化物层; 和Nb层,其厚度为0.01-0.5μm。 一种制造SiC半导体器件的方法包括:通过预定的热处理制造SiC半导体器件的步骤。