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    • 1. 发明专利
    • ワイヤボンディング装置およびワイヤボンディング方法
    • 电线连接器件和线接法
    • JP2016119374A
    • 2016-06-30
    • JP2014257732
    • 2014-12-19
    • 富士通株式会社
    • 竹内 周一▲高▼橋 哲也山上 高豊中村 公保石川 直樹小林 弘
    • H01L21/607H01L21/60
    • H01L2224/73265H01L2224/78H01L2224/859
    • 【課題】接合対象物とワイヤとの接合状態に関する判定を的確に行う。 【解決手段】ワイヤボンディング装置10は、超音波振動を伴う圧着により接合対象物にワイヤを接合するボンディングヘッド20を含む。ワイヤボンディング装置10は、互いに異なる3つの方向から接合対象物にレーザ光を照射し、接合対象物で反射された反射光LY1に基づいて、接合対象物の該3つの方向における振動の状態を検出する振動検出部を含む。該3つの方向は、超音波振動の振動方向に沿った第1の方向、第1の方向と交差する第2の方向、および第1の方向および第2の方向によって定まる平面と交差する第3の方向を含む。ワイヤボンディング装置10は、振動検出部によって検出された接合対象物の振動の状態に基づいて、ワイヤと接合対象物との間の接合状態に関する判定を行う判定部53を含む。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:对接合物和线之间的接合状态进行正确的确定。解决方案:引线接合装置10包括用于通过压接然后超声波振动将导线接合到接合物上的接合头20。 引线接合装置10包括:振动检测部,其利用来自三个相互不同方向的激光束照射接合对象,并且基于在接合物上反射的反射光束LY1来检测接合物体的三个方向的振动状态 目的。 三个方向包括沿着超声波振动的振动方向的第一方向,与第一方向和第三方向交叉的第二方向与由第一方向和第二方向限定的面交叉。 引线接合装置10包括:判定部53,其基于由振动检测部检测出的接合物体的振动状态来进行线与接合对象之间的接合状态的判定。图1
    • 9. 发明专利
    • チップボンディング装置およびチップボンディング方法
    • 芯片接合装置和芯片接合方法
    • JP2016122726A
    • 2016-07-07
    • JP2014261770
    • 2014-12-25
    • 富士通株式会社
    • 中村 公保石川 直樹▲高▼橋 哲也
    • H05K3/34H01L21/60
    • H01L2224/73204H01L2224/75H01L2224/81H01L2224/83192
    • 【課題】ボンディング時における半導体チップの面内温度差を抑制する。 【解決手段】チップボンディング装置10は、中央部に熱源を備えず、外周部に熱源21d、21eを備える。熱源によって外周部が発熱する発熱面Shを有するヒータ部20と、ヒータ部20からの熱源によって加熱されるボンディングツール30を含む。ボンディングツール30は、中央部が発熱面Shの中央部に直接又は間接的に当接され、かつ、外周部が発熱面Shの外周部に直接又は間接的に当接された第1の面(入熱面)S1を有する。ボンディングツール30は、第1の面S1とは反対側に設けられ、ボンディング時にボンディング対象に当接される第2の面S2(チップ当接面)を有する。ボンディングツール30は、第1の面S1の中心部を囲む溝32を有する。 【選択図】図4
    • 要解决的问题:在接合时抑制半导体芯片的面内温度差。解决方案:芯片接合装置10包括:加热器部分20,其在中心部分上不具有热源,但具有热源21d 21e在外周部分上,并且包括外周部分由热源产生热量的发热表面Sh; 以及由加热器部20的热源加热的接合工具30.接合工具30包括:第一表面(热输入面)S1,其中心部分直接或间接地邻接在发热表面Sh的中心部分 ,其外周部直接或间接地抵接在发热面Sh的外周部。 接合工具30还包括设置在与第一表面S1相对的一侧的第二表面S2(芯片抵接表面),并且在接合时抵接在接合体上。 接合工具30还包括围绕第一表面S1的中心部分的凹槽32.选择的图示:图4