专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明专利

JP2015511055A 粒子分光計のための分析装置有权
标题翻译：分析粒子光谱仪
公开(公告)号：JP2015511055A
公开(公告)日：2015-04-13
申请号：JP2014560888
申请日：2012-03-06
申请人：ヴィゲー・シエンタ・アーベー
发明人：ビョルン・ヴァンベリ
IPC分类号： H01J49/48 , G01N23/20
CPC分类号： H01J49/48 , G01N23/2273 , G01N2223/085 , H01J37/05 , H01J49/0031 , H01J49/06 , H01J49/061 , H01J49/484 , H01J2237/0535
摘要：本発明は、粒子放出試料(11)から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーター、例えば粒子のエネルギー、開始方向、開始位置、又はスピンに関するパラメーターを決定するための方法に関する。上記の方法は、荷電粒子のビームをレンズシステム(13)によって測定領域の入口へ導くステップと、測定領域内で上記の少なくとも一つのパラメーターの指標となる粒子の位置を検出するステップと、を備える。さらに、上記の方法は、粒子ビームが測定領域に入射する前に、同じ座標方向に少なくとも二回粒子ビームを偏向させるステップを備える。それによって、測定領域(3)の入口(8)における粒子ビームの位置及び方向の両方は、試料(11)の物理的な操作の必要性をある程度除くように制御されることが可能である。次に、これによって、エネルギー測定におけるエネルギー分解能を改善できるように、試料が効率的に冷却されることが可能になる。
摘要翻译：本发明中，至少一个与从所述粒子排放的样品（11）发射的带电粒子的参数，例如，颗粒的能量，启动方向，开始位置，或用于确定旋转相关的参数的方法。上述方法包括通过透镜系统（13），从而导致测量区的入口带电粒子的束的步骤中，测量区域的步骤，以检测粒子的位置是指示上述至少一个参数的，所述。此外，粒子束入射到测量区域之前上述方法中，包括偏转的步骤至少两次在同一粒子束坐标方向。从而，无论是位置和在（3）可以被控制在一定程度上测量区域的入口（8）所述粒子束的方向消除对样品（11）的物理操纵的需要。然后，因此，如能改善在能源计量能量分辨率，可以进行采样被高效地冷却。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式